超純水（UPW）是半導(dǎo)體制造過(guò)程中不可或缺的關(guān)鍵材料，其純度直接影響芯片的良率與性能。隨著集成電路技術(shù)節(jié)點(diǎn)不斷微縮，對(duì)超純水中顆粒物的控制與檢測(cè)要求也日益嚴(yán)格。

lighthouse液體粒子計(jì)數(shù)器

PART.1
超純水在半導(dǎo)體制造中的重要性

半導(dǎo)體晶圓制造過(guò)程中，每平方厘米硅片需消耗10–20升超純水，用于清洗、蝕刻、光刻等關(guān)鍵工藝。超純水須達(dá)到亞ppb（十億分之一）甚至亞ppt（萬(wàn)億分之一）級(jí)別的純度，任何微量污染物都可能導(dǎo)致器件失效，如橋接、短路、光刻膠損傷、CMP劃痕等缺陷。

PART.2
超純水系統(tǒng)的多級(jí)凈化流程

超純水系統(tǒng)通過(guò)多階段處理確保水質(zhì)符合半導(dǎo)體工藝要求：

預(yù)處理：去除大顆粒、氯、有機(jī)物，保護(hù)下游設(shè)備。

反滲透（RO）：去除95%以上的離子、有機(jī)物和微生物。

電去離子（EDI）：連續(xù)去離子，電阻率可達(dá)16 MΩ·cm。

紫外線氧化：185 nm UV分解TOC，254 nm UV殺菌。

脫氣處理：去除溶解氣體，提升電阻率，防止氧化和腐蝕。

混合床離子交換：進(jìn)一步去除殘留離子，目標(biāo)電阻率18.2 MΩ·cm。

超濾（UF）與最終過(guò)濾：去除<50 nm的顆粒，確保無(wú)納米級(jí)污染物。

分配與循環(huán)系統(tǒng)：采用高純材料（如PVDF、PFA），保持高流速循環(huán)，防止滯留污染。

PART.3
顆粒物檢測(cè)的重要性與方法

為什么需要檢測(cè)納米級(jí)顆粒？

即使50 nm的顆粒也可粘附于晶圓表面，導(dǎo)致柵極損傷、圖形缺陷或漏電。

5 nm以下技術(shù)節(jié)點(diǎn)要求實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)更小尺寸的顆粒物。

推薦檢測(cè)方式：

在線液體顆粒計(jì)數(shù)器（LPC）：如Vertex 50，具備50 nm檢測(cè)靈敏度，符合半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)UPW中的顆粒數(shù)量。

多級(jí)監(jiān)測(cè)點(diǎn)：系統(tǒng)應(yīng)在0.5 μm、0.2 μm、0.1 μm、0.05 μm等多個(gè)尺寸閾值設(shè)置實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)點(diǎn)。

lighthouse液體粒子計(jì)數(shù)器

過(guò)程控制與實(shí)時(shí)監(jiān)控：

LPC系統(tǒng)可24/7監(jiān)測(cè)水質(zhì)，一旦超標(biāo)立即報(bào)警，便于快速響應(yīng)。

實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)支持質(zhì)量決策，避免批量污染，節(jié)省成本并保障產(chǎn)品性能。

Vertex50是一款市場(chǎng)上較為小巧的50納米液體顆粒計(jì)數(shù)器，配備3.5英寸TFT觸摸屏，操作界面簡(jiǎn)潔直觀。該設(shè)備由Lighthouse 公司基于先進(jìn)技術(shù)制造，提供兩年保修與全球技術(shù)支持。

液體粒子計(jì)數(shù)器Vertex50

lighthouse液體粒子計(jì)數(shù)器

Vertex50支持行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的RS-485 MODBUS及4-20mA通信協(xié)議，可無(wú)縫集成至設(shè)備監(jiān)控系統(tǒng)，也可作為獨(dú)立設(shè)備使用。通過(guò)內(nèi)置以太網(wǎng)TCP/IP接口，它還能夠輕松接入標(biāo)準(zhǔn)企業(yè)以太局域網(wǎng)，實(shí)現(xiàn)靈活組網(wǎng)。

在抗干擾能力方面，采用Lighthouse先進(jìn)的光電探測(cè)器技術(shù)，Vertex50能將光信號(hào)噪聲與伽馬射線干擾降低20倍，顯著提升測(cè)量的穩(wěn)定性與可靠性。

設(shè)備具備早期檢測(cè)功能，不依賴計(jì)數(shù)減法技術(shù)，誤報(bào)率處于行業(yè)較低水平。Vertex50在探測(cè)到顆粒后立即上報(bào)，無(wú)需等待計(jì)數(shù)達(dá)到設(shè)定閾值，從而大幅提升響應(yīng)速度。

經(jīng)實(shí)際驗(yàn)證，Vertex50能夠在計(jì)數(shù)發(fā)生后120秒內(nèi)恢復(fù)至基線計(jì)數(shù)水平，有效縮短清理時(shí)間，提高運(yùn)行效率。

PART.4
超純水分類與工藝適用性

根據(jù)晶圓線寬不同，超純水分為多個(gè)等級(jí)（如E-1至E-4），對(duì)應(yīng)不同的顆?？刂埔蟆＠纾?/p>

E-1.3級(jí)：適用于0.065–0.022 μm工藝，要求顆?？刂茦O為嚴(yán)格；

E-4級(jí)：適用于電鍍等對(duì)水質(zhì)要求較低的場(chǎng)合。

PART.5
結(jié)論

超純水系統(tǒng)是半導(dǎo)體制造的“血脈”，其水質(zhì)直接關(guān)系到芯片的成品率與可靠性。隨著技術(shù)節(jié)點(diǎn)不斷推進(jìn)，對(duì)超純水中納米級(jí)顆粒的檢測(cè)與控制將成為提升良率和保障設(shè)備性能的關(guān)鍵。投資高靈敏度顆粒計(jì)數(shù)器和建立全流程實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，是現(xiàn)代化晶圓廠不可或缺的質(zhì)量保障手段。

Lighthouse&北京中邦興業(yè)LH

Lighthouse Worldwide Solutions自1982年成立以來(lái)，始終是全球?qū)崟r(shí)污染監(jiān)測(cè)系統(tǒng)和空氣顆粒計(jì)數(shù)器領(lǐng)域的領(lǐng)導(dǎo)者。憑借卓越的軟件設(shè)計(jì)能力、強(qiáng)大的數(shù)據(jù)集成技術(shù)以及廣泛的全球支持網(wǎng)絡(luò)，我們?yōu)榭蛻籼峁┬袠I(yè)領(lǐng)先的污染監(jiān)測(cè)解決方案。這些創(chuàng)新方案幫助客戶通過(guò)持續(xù)監(jiān)測(cè)可能影響產(chǎn)品質(zhì)量的環(huán)境因素，確保生產(chǎn)始終維持高效穩(wěn)定的狀態(tài)。

目前，Lighthouse的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)和空氣顆粒計(jì)數(shù)器已成為基因泰克（Genentech）、巴克斯特（Baxter）、輝瑞（Pfizer）、拜耳（Bayer）、諾和諾德（Novo Nordisk）、SPACE X、特斯拉（Tesla）、希捷（Seagate）、臺(tái)積電（TSMC）、三星（Samsung）、洛克希德·馬?。↙ockheed Martin）、微芯科技（Microchip Technology）、美敦力（Medtronic）、3M、波士頓科學(xué)（Boston Scientific） 等國(guó)際知名企業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)配置。我們提供業(yè)內(nèi)最全面的污染監(jiān)測(cè)產(chǎn)品線，涵蓋空氣顆粒計(jì)數(shù)器、微生物采樣器、液體顆粒計(jì)數(shù)器以及遙感傳感器等全套解決方案。這些產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于全球半導(dǎo)體制造、制藥生產(chǎn)、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、生物技術(shù)、航空航天及國(guó)防工業(yè)等關(guān)鍵領(lǐng)域。

中邦

北京中邦興業(yè)科技有限公司作為美國(guó)Lighthouse在中國(guó)區(qū)的授權(quán)一級(jí)代理服務(wù)商，雙方已建立長(zhǎng)達(dá)十余年的深度戰(zhàn)略合作關(guān)系。作為L(zhǎng)ighthouse官方認(rèn)證的一級(jí)代理商，中邦興業(yè)大量現(xiàn)貨儲(chǔ)備，憑借完整的倉(cāng)儲(chǔ)物流體系可快速響應(yīng)全國(guó)客戶需求。

公司堅(jiān)持原廠直采模式，所有設(shè)備及配件均通過(guò)Lighthouse集團(tuán)工廠直接供貨，從源頭保障產(chǎn)品品質(zhì)與供應(yīng)可靠性。區(qū)別于普通代理商，中邦興業(yè)推出了由擁有潔凈室認(rèn)證工程師組成的專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)，嚴(yán)格執(zhí)行安裝前雙重校驗(yàn)流程，并構(gòu)建了覆蓋設(shè)備全生命周期的服務(wù)體系，包括安裝調(diào)試、技術(shù)培訓(xùn)、故障排查、儀器改造維修等增值服務(wù)。