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濺射靶材貨物名稱、商品歸類及其對(duì)出口管制之影響

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摘要:進(jìn)出口稅則“濺射靶材”品名和相應(yīng)稅則號(hào)列的設(shè)立,是我國“濺射靶材”行業(yè)發(fā)展的重要標(biāo)志,而“濺射靶材”行業(yè)發(fā)展也推動(dòng)著商品歸類的新認(rèn)知、新思路。本文就其“濺射靶材”的商品歸類及其對(duì)出口許可、出口管制的影響作一深入探討。

關(guān)鍵詞:濺射靶材商品歸類出口管制

前言

國務(wù)院關(guān)稅稅則委員會(huì)于2011年12月9日發(fā)布了《關(guān)于2012年關(guān)稅實(shí)施方案的通知》(稅委會(huì)〔2011〕27號(hào))(以下簡稱《2012年關(guān)稅實(shí)施方案》),該《2012年關(guān)稅實(shí)施方案》設(shè)立了“帶背板的濺射靶材組件”這一稅則品名,并為該品名設(shè)定了8486.9091這一獨(dú)立的8位稅列號(hào)列,這一做法適應(yīng)了我國高性能濺射靶材行業(yè)的發(fā)展需要。從此,我國濺射靶材行業(yè)及產(chǎn)品有了統(tǒng)一的“國際貿(mào)易通行語言”,為其順利出口走向國際市場(chǎng)奠定了基礎(chǔ)。同時(shí),隨著加工技術(shù)的成熟、加工工藝的提升,在進(jìn)出口貿(mào)易實(shí)踐中,濺射靶材的商品歸類也在出現(xiàn)令人欣喜的新變化。有的執(zhí)法部門適應(yīng)此變化,作出有利于企業(yè)發(fā)展、行業(yè)進(jìn)步的舉措;有的卻與新的變化格格不入并視為洪水猛獸,僵硬地執(zhí)法,造成難以挽回的重大損失。

一、濺射靶材行業(yè)發(fā)展:技術(shù)更新下的高性能濺射靶材

濺射靶材(英文名稱:Target,簡稱靶材)要求較傳統(tǒng)材料行業(yè)高,一般要求如,尺寸、平整度、純度、各項(xiàng)雜質(zhì)含量、密度、N/O/C/S、晶粒尺寸與缺陷控制;較高要求或特殊要求包含:表面粗糙度、電阻值、晶粒尺寸均勻性、成分與組織均勻性、異物(氧化物)含量與尺寸、導(dǎo)磁率、超高密度與超細(xì)晶粒等等。磁控濺射鍍膜是一種新型的物理氣相鍍膜方式,就是用電子槍系統(tǒng)把電子發(fā)射并聚焦在被鍍的材料上,使其被濺射出來的原子遵循動(dòng)量轉(zhuǎn)換原理以較高的動(dòng)能脫離材料飛向基片淀積成膜。這種被鍍的材料就叫濺射靶材。靶材的原材料有金屬,合金,陶瓷化合物等。

靶材于20世紀(jì)70年代率先在國外起步,我國直至2003年才開始引進(jìn)國外相關(guān)技術(shù)與設(shè)備。作為顛覆傳統(tǒng)高污染電鍍行業(yè)的新興朝陽產(chǎn)業(yè),靶材行業(yè)雖發(fā)展迅速,但初期國內(nèi)僅能試制成功單一金屬靶材,二元及多元金屬靶材的技術(shù)瓶頸始終未能突破。在此一背景下,國內(nèi)靶材出現(xiàn)了多極分化,有的企業(yè)通過引進(jìn)技術(shù)、技術(shù)攻關(guān),投入大量人力物力,克服了各項(xiàng)技術(shù)瓶頸,實(shí)現(xiàn)了一體化的靶材,還有的企業(yè)技術(shù)不過關(guān),仍然生產(chǎn)并出口技術(shù)含量低的單金屬裸靶,以及傳統(tǒng)的“帶背板的濺射靶材組件”。

除了無背板結(jié)構(gòu)單金屬裸靶外,無論是“帶背板的濺射靶材組件”,還是“靶材和背板一體化的濺射靶材”都是鍍膜設(shè)備的專用陰極,待鍍膜工件為設(shè)備陽極。鍍膜機(jī)工作原理為:在真空環(huán)境中,借助強(qiáng)電場(chǎng)對(duì)氬原子進(jìn)行電離與加速,使其成為高動(dòng)能粒子,這些粒子轟擊靶材表面,促使靶材表面氣化(行業(yè)內(nèi)簡稱“粒子加速”);汽化后的原子在磁場(chǎng)作用下精準(zhǔn)沉積到工件表面,形成微米級(jí)厚度的薄膜。

靶材為專用設(shè)備定制零件,需根據(jù)特定鍍膜設(shè)備要求生產(chǎn),目前主要應(yīng)用于三大類專用鍍膜設(shè)備:1.半導(dǎo)體和集成電路鍍膜機(jī);2.光刻機(jī)鍍膜用設(shè)備;3.粒子加速器鍍膜機(jī)。其中,粒子加速器鍍膜機(jī)涵蓋范圍較廣,既包含電泳設(shè)備(低端),也涵蓋半導(dǎo)體和集成電路鍍膜機(jī)、光刻機(jī)鍍膜用設(shè)備,還包括更高端的粒子射頻儀;其名稱直觀體現(xiàn)了靶材的核心工作原理。

二、靶材的商品歸類

根據(jù)以上描述,依據(jù)技術(shù)含量、生產(chǎn)工藝、加工程度等的不同,靶材的商品歸類分別如下:

(一)單金屬裸靶。裸靶原材料通常為高純金屬或金屬合金,而單金屬裸靶是由單一金屬制成的靶材半制成品,無背板結(jié)構(gòu),不具備與濺射機(jī)配合的連接孔、定位突起或卡環(huán)、卡口等結(jié)構(gòu)。單金屬裸靶不具有直接裝配于濺射機(jī)的功能,根據(jù)《2012年關(guān)稅實(shí)施方案》,“單金屬裸靶無背板結(jié)構(gòu)按原材料歸類”,即如果原材料是鉻的,按《中華人民共和國進(jìn)出口稅則》(以下簡稱《稅則》)第81章品目8112鉻制品歸類,歸入該品目8112稅號(hào)的鉻制品是需要辦理出口許可證的。

(二)帶背板的濺射靶材組件。該種靶材由裸靶和支撐背板兩部分組成,背板與裸靶通過焊接連接為一體。裸靶原材料通常為高純金屬或金屬合金,通過特殊的熱機(jī)械處理和精密機(jī)械加工制造而成,背板通常帶有與濺射機(jī)配合的連接孔、定位突起或卡環(huán)、卡口等結(jié)構(gòu)。因?yàn)樵摪胁木邆淞松鲜黾庸ぬ卣鳎梢灾苯友b配于濺射機(jī)作為設(shè)備陰極使用,為此,《2012年關(guān)稅實(shí)施方案》為這一新產(chǎn)品確定了品名“帶背板的濺射靶材組件”、設(shè)立了稅則號(hào)列“8486.9091”,并出臺(tái)了本國子目注釋,見《2012年關(guān)稅實(shí)施方案》附件8“進(jìn)出口稅則稅目調(diào)整表”。

(三)靶材和背板一體化的濺射靶材。既不同于單金屬裸靶,也不同于帶背板的濺射靶材組件,靶材和背板一體化的濺射靶材是在帶背板的濺射靶材組件基礎(chǔ)上技術(shù)升級(jí),是由單一材料構(gòu)成的裸靶、背板、裝配同質(zhì)一體化結(jié)構(gòu)的物理氣相沉積設(shè)備的陰極部分。該狀態(tài)已具備定位突起、卡環(huán)、連接螺紋等安裝支撐結(jié)構(gòu),已具備設(shè)備零件特征。因而,在有的企業(yè)的積極努力下,爭取到了對(duì)企業(yè)有利的、且符合行業(yè)發(fā)展規(guī)律和產(chǎn)品特性的稅則號(hào)列8486.9099。

三、靶材歸入稅則號(hào)列8486.90的法律依據(jù)

靶材是鍍膜設(shè)備的專用陰極,待鍍膜工件為設(shè)備陽極。鍍膜機(jī)工作原理為:在真空環(huán)境中,借助強(qiáng)電場(chǎng)對(duì)氬原子進(jìn)行電離與加速,使其成為高動(dòng)能粒子,這些粒子轟擊靶材表面,促使靶材表面氣化(行業(yè)內(nèi)簡稱“粒子加速”);汽化后的原子在磁場(chǎng)作用下精準(zhǔn)沉積到工件表面,形成微米級(jí)厚度的薄膜。

根據(jù)《關(guān)稅法》第九條,關(guān)稅稅目由稅則號(hào)列和目錄條文等組成。關(guān)稅稅目適用規(guī)則包括歸類規(guī)則等。進(jìn)出口貨物的商品歸類,應(yīng)當(dāng)按照《稅則》規(guī)定的目錄條文和歸類總規(guī)則、類注、章注、子目注釋、本國子目注釋,以及其他歸類注釋確定,并歸入相應(yīng)的稅則號(hào)列。據(jù)此,就支持靶材歸入稅則號(hào)列8486.90的相關(guān)依據(jù),我們逐一作列明并分析:

(一)《稅則》規(guī)定的目錄條文。如前所述,《2012年關(guān)稅實(shí)施方案》已將《稅則》進(jìn)行調(diào)整,增列了稅目:稅則號(hào)列為“8486.9091”,目錄條文為“帶背板的濺射靶材組件”。因而,帶背板的濺射靶材組件歸入稅則號(hào)列8486.9091。

此外,引用《稅則》以下目錄條文:

38.24之目錄條文:“38.24 鑄模及鑄芯用粘合劑;其他稅目未列名的化學(xué)工業(yè)及其相關(guān)工業(yè)的化學(xué)產(chǎn)品及配制品(包括由天然產(chǎn)品混合組成的)?!?/p>

84.86之目錄條文:“專用于或主要用于制造半導(dǎo)體單晶柱或晶圓、半導(dǎo)體器件、集成電路或平板顯示器的機(jī)器及裝置;本章注釋十一(三)規(guī)定的機(jī)器及裝置;零件及附件?!?/p>

(二)歸類總規(guī)則。歸類總規(guī)則在《稅則》中明文列明,其分為規(guī)則一、規(guī)則二、規(guī)則三、規(guī)則四、規(guī)則五、規(guī)則六,從規(guī)則一到規(guī)則六依次適用。貨品在《稅則》目錄上的歸類,應(yīng)遵循這六項(xiàng)原則。其中,規(guī)則一規(guī)定:“類、章及分章的標(biāo)題,僅為查找方便而設(shè);具有法律效力的歸類,應(yīng)按稅目條文和有關(guān)類注或章注確定,如稅目、類注或章注無其他規(guī)定,按以下規(guī)則確定?!彼Q“以下規(guī)則”指規(guī)則二至規(guī)則六。

1.帶背板的濺射靶材組件。因歸類總規(guī)則本身為《稅則》的一部分,因而,與上述(一)形成印證:目錄條文為“帶背板的濺射靶材組件”有明文規(guī)定的,依此規(guī)定確定,稅號(hào)為“8486.9091”。

2.靶材和背板一體化的濺射靶材。因目錄條文無明文規(guī)定,于是依次看規(guī)則二至規(guī)則五,均不能適用,而根據(jù)規(guī)則六“貨品在某一稅目項(xiàng)下各子目的法定歸類,應(yīng)按子目條文或有關(guān)的子目注釋以及以上各條規(guī)則來確定,但子目的比較只能在同一數(shù)級(jí)上進(jìn)行。除本稅則目錄條文另有規(guī)定的以外,有關(guān)的類注、章注也適用于本規(guī)則”,靶材和背板一體化的濺射靶材應(yīng)當(dāng)歸入稅則號(hào)列“8486.9099”。

(三)類注、章注。靶材涉及在《稅則》第六類“化學(xué)工業(yè)及其相關(guān)工業(yè)的產(chǎn)品”之第三十八章“雜項(xiàng)化學(xué)產(chǎn)品”、第十六類“機(jī)器、機(jī)械器具、電氣設(shè)備及其零件;錄音機(jī)及放聲機(jī)、電視圖像、聲音的錄制和重放設(shè)備及其零件、附件”之第八十四章“核反應(yīng)堆、鍋爐、機(jī)器、機(jī)械器具及其零件”。

1.歸入品目3842。其根據(jù)是《稅則》第六類類注三:“由兩種或兩種以上單獨(dú)成分配套的貨品,其部分或全部成分屬于本類范圍以內(nèi),混合后則構(gòu)成第六類或第七類的貨品,應(yīng)按混合后產(chǎn)品歸入相應(yīng)的稅目,但其組成成分必須同時(shí)符合下列條件:(一)其包裝形式足以表明這些成分不需經(jīng)過改裝就可一起使用的;(二)一起進(jìn)口或出口的;(三)這些成分的屬性及相互比例足以表明是相互配用的?!?/p>

2.歸入品目8486。其根據(jù)是《稅則》第十六類注二:“除本類注釋一、第八十四章注釋一及第八十五章注釋一另有規(guī)定的以外,機(jī)器零件(不屬于稅目84.84、85.44、85.45、85.46或85.47所列物品的零件)應(yīng)按下列規(guī)定歸類:(一)凡在第八十四章、第八十五章的稅目(稅目84.09、84.31、84.48、84.66、84.73、84.87、85.03、85.22、85.29、85.38及85.48除外)列名的貨品,均應(yīng)歸入該兩章的相應(yīng)稅目;……”而“帶背板的濺射靶材組件”在品目8486項(xiàng)下有明文規(guī)定。

此外,其根據(jù)還有,《稅則》第八十四章章注第十一第(四)項(xiàng):“除第十六類注釋一和第八十四章注釋一另有規(guī)定的以外,符合稅目84.86規(guī)定的機(jī)器及裝置應(yīng)歸入該稅目而不歸入本目錄的其他稅目?!?/p>

(四)子目注釋。涉靶材的沒有子目注釋。

(五)本國子目注釋。涉靶材的本國子目注釋如下:“濺射靶材組件由裸靶和支撐背板兩部分組成,背板與裸靶通過焊接連接為一體。裸靶原材料通常為高純金屬或金屬合金,通過特殊的熱機(jī)械處理和精密機(jī)械加工制造而成,背板通常帶有與濺射機(jī)配合的連接孔、定位突起或卡環(huán)、卡口等結(jié)構(gòu)。單金屬裸靶無背板結(jié)構(gòu)按原材料歸類。”

(六)其他歸類注釋:《進(jìn)出口稅則商品與品目注釋》。

《進(jìn)出口稅則商品與品目注釋》第十六類總注釋第二部分:

“零件(本類注釋二)一般來說,除上述第一部分所列不歸入本類的貨品以外,凡明顯專用于或主要用于某種機(jī)器或裝置(包括品目84.79或85.43所列物品),或同一品目所列同類機(jī)器或裝置的零件,均應(yīng)與有關(guān)機(jī)器或裝置一并歸類?!薄皺C(jī)器零件不論是否制成成品,即可使用,均應(yīng)歸入本類?!?/p>

《進(jìn)出口稅則商品與品目注釋》第十六類之84.86品目注釋二“制造半導(dǎo)體器件或集成電路用的機(jī)器及裝置”之(一)3:

“3.物理氣相沉積(PVD)設(shè)備,用以將汽化固體物所得到的各種薄膜加以沉積。例如:(1)蒸發(fā)設(shè)備,通過加熱源材料產(chǎn)生薄膜。(2)濺射設(shè)備,利用離子對(duì)源材料(靶材)進(jìn)行轟擊產(chǎn)生薄膜?!?/p>

靶材所使用到的設(shè)備就是上述所稱之“物理氣相沉積(PVD)設(shè)備”,其具體運(yùn)用就是“濺射設(shè)備,利用離子對(duì)源材料(靶材)進(jìn)行轟擊產(chǎn)生薄膜?!?/p>

《進(jìn)出口稅則商品與品目注釋》第十六類之84.86品目注釋“五、零件及附件”:

“除零件的歸類總原則另有規(guī)定的以外(參見第十六類總注釋),本品目包括本品目所列機(jī)器及裝置的零件及附件。因此,歸入本品目的零件及附件主要包括專用于或主要用于本品目所列機(jī)器及裝置的工件或工具夾具及其他專用配件?!?/p>

四、企業(yè)出口貨物實(shí)踐中靶材商品歸類之不同申報(bào)

靶材為專用設(shè)備定制零件,需根據(jù)特定鍍膜設(shè)備要求生產(chǎn),企業(yè)在出口靶材過程中,由于各企業(yè)技術(shù)能力不同,客戶定制要求不同,運(yùn)用設(shè)備不同,因而,申報(bào)的商品歸類也不同,目前主要應(yīng)用于三大類專用鍍膜設(shè)備,視其不同而不同:

(一)運(yùn)用于半導(dǎo)體和集成電路鍍膜機(jī),歸入的稅則號(hào)列為848690:靶材作為陰極參與導(dǎo)電鍍膜,主要用于芯片內(nèi)部互連線路、平板顯示、太陽能電池及信息存儲(chǔ)等場(chǎng)景。這一歸類使用的比較多,應(yīng)用也比較廣泛,其主要依據(jù)見上文第二部分。

(二)運(yùn)用于光刻機(jī)鍍膜用設(shè)備,歸入的稅則號(hào)列為847990:靶材作為陰極參與鍍膜,形成的薄膜可實(shí)現(xiàn)光的反射或透過,最終達(dá)成曝光及圖案轉(zhuǎn)移功能。

(三)運(yùn)用于粒子加速器鍍膜機(jī),歸入的稅則號(hào)列為854390):該類設(shè)備涵蓋范圍較廣,既包含電泳設(shè)備(低端),也涵蓋半導(dǎo)體和集成電路鍍膜機(jī)、光刻機(jī)鍍膜用設(shè)備,還包括更高端的粒子射頻儀;其名稱直觀體現(xiàn)了靶材的核心工作原理。我國企業(yè)有申報(bào)此稅則號(hào)列。此外,20多年前美國海關(guān)就對(duì)靶材進(jìn)行歸類裁定,將其歸入8543稅號(hào)。

五、靶材商品歸類與出口許可證及出口管制出口許可證之關(guān)系

由于無論是《2012年關(guān)稅實(shí)施方案》,還是《稅則》,甚至海關(guān)商品歸類執(zhí)法實(shí)踐,將靶材之稅則號(hào)列歸入子目8486.90,因而,對(duì)于出口許可及出口管制都會(huì)帶來一定的影響,從依法行政的角度,就是貫徹法律、行政法規(guī)的規(guī)定,遵守出口許可證、出口管制出口許可證的自身規(guī)律,該申請(qǐng)辦理就申請(qǐng)辦理,不屬于出口許可管理、出口管制的物項(xiàng)就不用申請(qǐng)辦理出口許可證、兩用物項(xiàng)和技術(shù)進(jìn)口許可證。

(一)出口許可證

根據(jù)《貨物出口許可證管理辦法》,“國家實(shí)行統(tǒng)一的貨物出口許可證制度。國家對(duì)限制出口的貨物實(shí)行出口許可證管理?!薄吧虅?wù)部會(huì)同海關(guān)總署制定、調(diào)整和發(fā)布年度《出口許可證管理貨物目錄》?!币蚨?,對(duì)于出口許可證管理,我國實(shí)行的是目錄管理,在目錄外的,不實(shí)行出口許可證管理。我國每年度都由商務(wù)部、海關(guān)總署發(fā)布《出口許可證管理貨物目錄》,在該目錄里,有明確的貨物種類、海關(guān)商品編號(hào)、貨物名稱、計(jì)量單位。例如金屬鉻,在《出口許可證管理貨物目錄》里有三項(xiàng),一是商品編號(hào)為8112210000的未鍛軋鉻、鉻粉末,二是商品編號(hào)為8112220000的鉻廢碎料,三是商品編號(hào)為8112290000的其他鉻及其制品。雖然“出口許可證管理范圍以貨物種類及貨物名稱為準(zhǔn),海關(guān)商品編號(hào)供通關(guān)申報(bào)參考?!钡窃凇冻隹谠S可證管理貨物目錄》商品編號(hào)與貨物名稱是一一對(duì)應(yīng)關(guān)系:歸入的商品編號(hào)準(zhǔn)確地反映了該貨物的實(shí)際狀態(tài),反過來亦然,

例如,商品編號(hào)為8112210000的未鍛軋鉻、鉻粉末就是這樣的一一對(duì)應(yīng)關(guān)系。凡貨物名稱不在該目錄里的或是商品編號(hào)不在該目錄里的,均不屬于出口許可證管理范圍。進(jìn)一步地,由上述三項(xiàng)鉻制成了靶材,即經(jīng)過進(jìn)一步加工變成了設(shè)備的陰極,這里靶材已列入法定的稅則號(hào)列,有具體的貨物名稱,歸入子目8486.90,該稅則號(hào)列以及該稅則號(hào)列對(duì)應(yīng)的貨物名稱均不在《出口許可證管理貨物目錄》內(nèi),因而,無需辦理出口許可證。

(二)兩用物項(xiàng)和技術(shù)出口許可證

兩用物項(xiàng)和技術(shù)出口許可證屬于出口管制類別的出口許可證,不同于上述(一)出口許可證。根據(jù)《兩用物項(xiàng)出口管制條例》,“國務(wù)院商務(wù)主管部門依據(jù)出口管制法和本條例的規(guī)定,根據(jù)兩用物項(xiàng)出口管制政策,按照規(guī)定程序會(huì)同國家有關(guān)部門制定、調(diào)整兩用物項(xiàng)出口管制清單,并及時(shí)公布。”“國家對(duì)兩用物項(xiàng)的出口實(shí)行許可制度。出口兩用物項(xiàng)出口管制清單所列兩用物項(xiàng)或者實(shí)施臨時(shí)管制的兩用物項(xiàng),出口經(jīng)營者應(yīng)當(dāng)向國務(wù)院商務(wù)主管部門申請(qǐng)?jiān)S可?!备鶕?jù)《出口管制法》,我國對(duì)于兩用物項(xiàng)實(shí)行出口許可制度,如在兩用物項(xiàng)出口管制清單內(nèi)的,一律須申請(qǐng)辦理兩用物項(xiàng)和技術(shù)出口許可證。

如金屬釔及其制品,根據(jù)2025年4月4日實(shí)施的商務(wù)部、海關(guān)總署公告2025年第18號(hào)(公布對(duì)部分中重稀土相關(guān)物項(xiàng)實(shí)施出口管制的決定),其中第七條“釔相關(guān)物項(xiàng)管制”第(一)項(xiàng)是“1C908.a金屬釔、含釔的合金及相關(guān)制品”,具體包括:“1.金屬釔(參考海關(guān)商品編號(hào):2805301700)。2.含釔的合金:a.釔鋁合金;b.釔鎂合金;c.釔鎳合金;d.釔銅合金;e.釔鐵合金。3.含釔的靶材(參考海關(guān)商品編號(hào):3824999922、8486909110):a.釔靶;b.釔鋁合金靶;c.釔鋯合金靶。”該公告將含釔的靶材列入管制范圍,并將其歸類為子目848690項(xiàng)下的商品編號(hào)。這一方面說明,兩用物項(xiàng)管制清單為國家實(shí)行兩用物項(xiàng)管制之法律依據(jù),即以清單為準(zhǔn),不在清單內(nèi)的(除臨時(shí)管制、《出口管制法》第十二條第三款規(guī)定以外),不實(shí)行管制;另一方面也說明,將靶材商品歸類確定為子目8486.90項(xiàng)下是有法律依據(jù)的,主管部門也予以認(rèn)可。

結(jié)束語

進(jìn)出口貨物的商品歸類,應(yīng)當(dāng)按照《進(jìn)出口稅則》規(guī)定的目錄條文和歸類總規(guī)則、類注、章注、子目注釋、本國子目注釋,以及其他歸類注釋確定,并歸入相應(yīng)的稅則號(hào)列。在進(jìn)出口貿(mào)易中,商品歸類是十分復(fù)雜的話題,爭議也最多,有時(shí)是公說公有理,婆說婆有理。對(duì)此,海關(guān)妥當(dāng)而合適的做法是依法辦事,聽取企業(yè)意見,正視企業(yè)呼聲,認(rèn)真接納行業(yè)發(fā)展,與企業(yè)一同推動(dòng)商品歸類的調(diào)整與變化。而不是一味地,從自己的角度去給不認(rèn)同、不服從海關(guān)的企業(yè)下違法的結(jié)論甚至冠以走私的罪名。


本文作者:上海蘭迪(深圳)律師事務(wù)所主任 孫國東律師



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