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美荷兩國同時發(fā)聲,對中國獨(dú)立研發(fā)的光刻機(jī)技術(shù)給予了強(qiáng)烈批評

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半導(dǎo)體行業(yè)現(xiàn)在是全球焦點(diǎn),芯片制造離不開光刻機(jī)這種關(guān)鍵設(shè)備,它負(fù)責(zé)在硅片上刻畫電路圖案。

一紙禁令,一場圍堵,美荷兩國以為能將中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)扼殺在搖籃中,這兩個國家可以說是步步緊逼,不僅禁運(yùn)先進(jìn)設(shè)備,甚至妄圖讓已售設(shè)備淪為“廢鐵”。

當(dāng)所有人都以為咱們將被困住時,一場絕地反擊悄然上演!



一張?jiān)绞赵骄o的網(wǎng)

首先得明白,這場針對中國半導(dǎo)體的限制,絕不是荷蘭一時興起的單方面行動,背后藏著的是美國。

而荷蘭,正是被推到臺前的重要角色。



在美國國會的聽證會上,官員們反復(fù)強(qiáng)調(diào)這關(guān)乎“國家安全”,將技術(shù)競爭上升到了戰(zhàn)略對抗的高度。

這種論調(diào)之下,美國與荷蘭的步調(diào)顯得異常一致,一場精密的協(xié)同行動就此展開。

整個封鎖體系的設(shè)計(jì),堪稱層層加碼,動態(tài)升級。



第一步,就是硬件。

2023年3月,荷蘭首次對外宣布了新的出口管制意向,沒過幾個月,同年6月30日,詳細(xì)規(guī)則出臺,并于9月1日正式生效。

目標(biāo)非常明確,就是全球光刻機(jī)巨頭ASML生產(chǎn)的先進(jìn)深紫外(DUV)浸沒式光刻系統(tǒng)。

這些機(jī)器,正是制造中高端芯片的關(guān)鍵。

與此同時,美國的實(shí)體清單也在同步加長,把更多的中國供應(yīng)商圈了進(jìn)去。



但事情沒那么簡單,除了禁運(yùn)新設(shè)備,他們還將目標(biāo)放在了那些已經(jīng)在中國產(chǎn)線里運(yùn)轉(zhuǎn)的機(jī)器。

2023年10月,美國將管制范圍擴(kuò)大到了相關(guān)的軟件和技術(shù)服務(wù)。

到了2024年4月,壓力進(jìn)一步給到荷蘭,要求其停止為已經(jīng)在中國境內(nèi)的敏感設(shè)備提供維修服務(wù)。

這招非常狠,意圖就是讓這些價值不菲的設(shè)備隨著時間推移,慢慢變成一堆無法運(yùn)轉(zhuǎn)的“廢鐵”。

荷蘭政府甚至一度撤銷了部分已經(jīng)發(fā)放的對華出口許可證。



西方智庫的報(bào)告和官員的言論,開始巧妙地質(zhì)疑中國技術(shù)突破的“自主性”,頻頻暗示可能存在“逆向工程”,或是拿知識產(chǎn)權(quán)和專利體系說事。

他們這么做的目的,就是要在規(guī)則和道義上,將封鎖行為徹底合法化。



被逼出來的“爭氣機(jī)”

面對這種極限施壓,中國內(nèi)部發(fā)生的變化,可以說是被硬生生“逼”出來的。

外部的壓力越大,內(nèi)部自力更生的呼聲就越高。

這種應(yīng)激反應(yīng),成了一劑強(qiáng)效催化劑,迫使中國從一個單純的“世界工廠”和“最大買家”,轉(zhuǎn)向構(gòu)建一個完整的、獨(dú)立的半導(dǎo)體生態(tài)。

標(biāo)志性的成果,就是上海微電子裝備集團(tuán)(SMEE)的亮相。



這家公司,長期以來就是中國光刻機(jī)研發(fā)的希望所在。

早在2010年代,國家層面的巨額資金就已經(jīng)開始涌入,推動本土企業(yè)去攻克那些被“卡脖子”的技術(shù)難關(guān)。

經(jīng)過數(shù)十年磨一劍,SMEE的研發(fā)團(tuán)隊(duì)投入了數(shù)十億元人民幣,規(guī)模達(dá)到數(shù)百人,并與頂尖高校緊密合作。

終于在2023年初,他們成功推出了一款名為SSA600系列的深紫外光刻機(jī)。



這款設(shè)備,雖然還無法與ASML最頂尖的產(chǎn)品媲美,但其戰(zhàn)略意義極其重大。

它支持28納米制程工藝,采用了193納米波長的激光源和數(shù)值孔徑為1.35的浸沒式鏡頭。

這些參數(shù)意味著,中國在端芯片制造領(lǐng)域,實(shí)現(xiàn)了從0到1的關(guān)鍵跨越。

它的性能指標(biāo)也相當(dāng)扎實(shí),處理晶圓的效率超過每小時100片,并且通過了長時間運(yùn)行的穩(wěn)定性測試。

對于滿足國內(nèi)絕大部分中端芯片的需求來說,這已經(jīng)足夠了。



像中芯國際這樣的國內(nèi)芯片制造大廠,也已經(jīng)對它進(jìn)行了產(chǎn)線兼容性測試。

這一突破,讓中國在應(yīng)對技術(shù)圍堵時,手里第一次有了實(shí)質(zhì)性的底牌。

更重要的是,中國的雄心不止于一臺光刻機(jī)。

視野放得更寬,目標(biāo)是建立一個完整的產(chǎn)業(yè)鏈閉環(huán)。

從光刻膠到掩膜版,這些過去嚴(yán)重依賴進(jìn)口的配套材料和環(huán)節(jié),也都在加速國產(chǎn)化的進(jìn)程。

與此同時,超過300家中國企業(yè),還在積極探索如納米壓印等其他可能繞開現(xiàn)有技術(shù)路徑的先進(jìn)光刻技術(shù)。

這幾乎是一場“全民總動員”式的沖刺。



甚至有計(jì)劃利用現(xiàn)有的DUV設(shè)備,通過多重曝光等技術(shù)手段,去嘗試沖擊更先進(jìn)的7納米節(jié)點(diǎn)。

這種不把雞蛋放在一個籃子里的策略,清晰地表明了中國“去依附”的決心有多么堅(jiān)定。

今年年初,還有消息稱哈爾濱工業(yè)大學(xué)在光刻機(jī)的核心部件研發(fā)上取得了新的進(jìn)展。



誰動了誰的奶酪

地緣政治的算盤打得再精,也繞不開一個最基本的經(jīng)濟(jì)規(guī)律:市場。

而這,恰恰是封鎖策略最脆弱的阿喀琉斯之踵。

旨在維護(hù)技術(shù)霸權(quán)的圍堵,因?yàn)樗鲆暳酥袊鳛槿蜃畲笙M(fèi)市場的巨大引力,最終觸發(fā)了對發(fā)起者自身的經(jīng)濟(jì)反噬。

中國是全球最大的半導(dǎo)體消費(fèi)市場,這是個無法回避的事實(shí)。

而荷蘭的ASML,作為全球光刻機(jī)領(lǐng)域的絕對霸主,其DUV市場份額超過70%,在整個高端市場的總份額更是高達(dá)90%左右。這樣兩方,本是天作之合。



當(dāng)政治凌駕于商業(yè)之上,后果立竿見影。

出口管制直接導(dǎo)致了ASML對華銷售額的顯著下降,有數(shù)據(jù)顯示其年銷售量一度因此滑落了20%。

這種真金白銀的損失,讓夾在中間的荷蘭倍感煎熬。

阿姆斯特丹的處境變得非常尷尬,一邊是盟友美國的政治高壓,另一邊是無法割舍的巨大商業(yè)利益。

這種兩難,生動地體現(xiàn)在一些傳聞中。



有消息推測,荷蘭曾試圖擺脫美國的影響,私下表達(dá)了希望自主決策的意愿,甚至邀請中方進(jìn)行談判。

這場傳聞中的談判,其背后的邏輯更是耐人尋味。

據(jù)說,荷方提出的條件是,可以討論恢復(fù)供應(yīng)部分設(shè)備,但前提是中國必須承諾停止自主研發(fā)光刻機(jī)。

不過,他們顯然低估了中國的決心。



在經(jīng)歷了長達(dá)幾十年的技術(shù)圍堵,尤其是在1990年代就已經(jīng)嘗過被封鎖的滋味后,技術(shù)自主權(quán)在中國看來,早已是不可交易的核心利益。

這一回合的交鋒,恰恰印證了封鎖悖論的核心:外部壓力越大,內(nèi)部自研的決心就越不可動搖。

當(dāng)中國自己的光刻機(jī)開始進(jìn)入市場,即便技術(shù)尚有差距,但其低于進(jìn)口產(chǎn)品的定價,已經(jīng)吸引了不少國內(nèi)中小型芯片代工廠的目光。

封鎖方手中最重要的談判籌碼“技術(shù)壟斷”,正在慢慢失效。



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