芯東西（公眾號：aichip001）
作者 ZeR0
編輯 漠影

芯東西11月11日報道，11月6日，江蘇蘇州激光直寫光刻機(jī)上市公司蘇大維格發(fā)公告宣布，擬以自有或自籌資金5.1億元收購江蘇半導(dǎo)體光掩模缺陷檢測設(shè)備企業(yè)常州維普51%股權(quán)。

交易完成后，常州維普成為公司控股子公司，納入蘇大維格合并報表范圍。常州維普（標(biāo)的公司）主要財務(wù)指標(biāo)占蘇大維格主要財務(wù)指標(biāo)比例如下：

現(xiàn)階段，常州維普產(chǎn)品研發(fā)及客戶交付、驗(yàn)收工作開展順利，在手訂單充足，其創(chuàng)始股東承諾2025年度到2027年度累計(jì)凈利潤（以扣除非經(jīng)常性損益前后孰低原則確定）合計(jì)不低于2.4億元。

本次交易不構(gòu)成《上市公司重大資產(chǎn)重組管理辦法》規(guī)定的重大資產(chǎn)重組，不構(gòu)成重組上市，無需取得有關(guān)部門批準(zhǔn)。

蘇大維格成立于2001年10月，在高端智能裝備領(lǐng)域研發(fā)、生產(chǎn)和銷售各類激光直寫光刻機(jī)和納米壓印光刻機(jī)，其中以激光直寫光刻機(jī)為主。激光直寫光刻機(jī)是用于生產(chǎn)制造光掩模的核心設(shè)備之一，主要為美國應(yīng)用材料和瑞典邁康尼等美歐企業(yè)所壟斷，國產(chǎn)化率極低。

需注意的是，激光直寫光刻機(jī)與用于芯片制造的光刻機(jī)不是一個概念，主要用在光電子材料與器件、新型顯示等微納加工行業(yè)。

常州維普是江蘇省專精特新“小巨人”企業(yè)，是國內(nèi)極少數(shù)在半導(dǎo)體光掩模缺陷檢測設(shè)備領(lǐng)域已實(shí)現(xiàn)規(guī)?；慨a(chǎn)的企業(yè)，技術(shù)、產(chǎn)品和核心算法系正向自研開發(fā)，擁有自主知識產(chǎn)權(quán)，主要核心零部件實(shí)現(xiàn)了國產(chǎn)化和自主可控，產(chǎn)品已進(jìn)入國內(nèi)頭部晶圓廠和國內(nèi)外頭部掩膜版廠商的量產(chǎn)線。

其主營業(yè)務(wù)為光掩模（又稱掩模、（光刻）掩膜版，光罩等）缺陷檢測設(shè)備（收入主要構(gòu)成）和晶圓缺陷檢測設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，兩者均屬于半導(dǎo)體量檢測的核心設(shè)備。

該公司最近一年又一期的合并口徑主要財務(wù)指標(biāo)如下：

現(xiàn)階段，常州維普業(yè)務(wù)快速發(fā)展，訂單增長較快，并保持了較好的經(jīng)營性現(xiàn)金流、較強(qiáng)的資產(chǎn)流動性和較高的盈利能力。

2025年1至10月，常州維普實(shí)現(xiàn)營收超過1.14億元，實(shí)現(xiàn)凈利潤超過5100萬元，經(jīng)營活動現(xiàn)金流超過5500萬元（以上數(shù)據(jù)由常州維普提供）。

截至2025年10月31日，常州維普在手訂單約2.5億元，合同負(fù)債超過1億元（客戶按一定比例預(yù)付的合同價款），賬上貨幣資金及銀行理財約1.4億元，有息負(fù)債約800萬元。

根據(jù)容誠會計(jì)師事務(wù)所（特殊普通合伙）出具的《盈利預(yù)測審核報告》，常州維普2025年全年?duì)I收預(yù)測數(shù)為1.37億元，歸母凈利潤預(yù)測數(shù)為6057.80萬元。

常州維普部分股東深創(chuàng)新資本、紅土一號與蘇大維格持股5%以上股東轉(zhuǎn)型升級基金皆為深圳市創(chuàng)新投資集團(tuán)有限公司控制的下屬企業(yè)，根據(jù)《深圳證券交易所創(chuàng)業(yè)板股票上市規(guī)則》等相關(guān)規(guī)定，本次部分交易對方深創(chuàng)新資本、紅土一號為公司關(guān)聯(lián)方，本次交易構(gòu)成關(guān)聯(lián)交易。

本次交易前常州維普的股權(quán)結(jié)構(gòu)如下：

交易后其股權(quán)結(jié)構(gòu)如下：

截至11月11日午間休市，蘇大維格最新市值為83億元。

蘇大維格公告顯示，根據(jù)相關(guān)報告，2023年全球半導(dǎo)體設(shè)備銷售額約1083億美元，預(yù)計(jì)2025將增長至約1255億美元。以銷售區(qū)域看，中國大陸占比逐年提升至35%左右；從銷售類型看，量檢測設(shè)備占比約為11%，且國產(chǎn)化率尚不足5%。

2023年，量檢測設(shè)備全球市場規(guī)模約為128億美元，其中掩膜版缺陷檢測設(shè)備份額僅次于明場設(shè)備，約18.10億美元，預(yù)計(jì)2025年將達(dá)到22億美元以上。

量檢測設(shè)備是集成電路制造核心設(shè)備之一，是保證芯片良率的關(guān)鍵。掩膜版系芯片生產(chǎn)的母版，關(guān)系晶圓良率，相關(guān)缺陷檢測設(shè)備需達(dá)到100%缺陷抓取率，研發(fā)難度大，進(jìn)入壁壘高、客戶粘性強(qiáng)。

在全球掩膜版檢測設(shè)備市場，美國科磊（KLA）、日本Lasertec等占據(jù)了全球絕大部分的市場份額，亞太地區(qū)是最大的區(qū)域市場，國內(nèi)掩膜版檢測設(shè)備市場也主要由上述企業(yè)壟斷。

根據(jù)相關(guān)報告，光掩模缺陷檢測設(shè)備是前道國產(chǎn)化率最低的環(huán)節(jié)之一，國產(chǎn)率不足3%，國產(chǎn)替代尚在早期，市場空間巨大。

常州維普是國內(nèi)極少數(shù)在半導(dǎo)體光掩模缺陷檢測設(shè)備領(lǐng)域已實(shí)現(xiàn)規(guī)?；慨a(chǎn)的企業(yè)，設(shè)備產(chǎn)品已實(shí)現(xiàn)了對下游主要半導(dǎo)體掩膜版生產(chǎn)廠商（包括晶圓廠自建配套工廠和獨(dú)立第三方掩模廠商）的覆蓋。

蘇大維格一直致力于積極拓展激光直寫光刻機(jī)在半導(dǎo)體光掩模制造領(lǐng)域的量產(chǎn)應(yīng)用和國產(chǎn)替代，潛在客戶群體和常州維普現(xiàn)有客戶體系基本重疊，收購常州維普，利用其現(xiàn)有客戶資源，有利于減少蘇大維格的客戶開發(fā)成本和產(chǎn)品驗(yàn)證周期。

此外，蘇大維格在光學(xué)系統(tǒng)、精密運(yùn)動控制平臺上有較深的技術(shù)積累，常州維普則在核心算法、軟件系統(tǒng)、電氣電控系統(tǒng)等方面有技術(shù)優(yōu)勢和量產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)。本次交易后，雙方優(yōu)勢互補(bǔ)，有利于增強(qiáng)蘇大維格在直寫光刻領(lǐng)域的研發(fā)實(shí)力，提高產(chǎn)品的迭代速度，提升設(shè)備的競爭力。

本次收購?fù)瓿珊?，有利于雙方發(fā)揮各自在激光直寫光刻和掩模缺陷檢測領(lǐng)域的優(yōu)勢。蘇大維格可借助常州維普客戶資源及量產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)，加快推進(jìn)激光直寫光刻機(jī)在半導(dǎo)體光掩模制造和先進(jìn)封裝領(lǐng)域的量產(chǎn)應(yīng)用，還可以助力常州維普在先進(jìn)制程光學(xué)系統(tǒng)方面實(shí)現(xiàn)突破。

雙方通過技術(shù)與業(yè)務(wù)的協(xié)同合作，有利于實(shí)現(xiàn)激光直寫光刻機(jī)與光掩模缺陷檢測設(shè)備的不斷迭代升級，為蘇大維格培育新的利潤增長點(diǎn)。