文/王新喜

中國(guó)自主光刻機(jī)走到哪一步了，是全世界都很好奇的一件事。最近一家荷蘭科技媒體突然發(fā)了篇報(bào)道，標(biāo)題直接點(diǎn)名主旨——中國(guó)囤積的光刻機(jī)，哪怕接下來(lái)甚至完全不買(mǎi)，用個(gè)5到10年都完全不是問(wèn)題。這篇報(bào)道釋放的信號(hào)，就是中國(guó)光刻機(jī)依然依賴(lài)ASML，國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)仍任重道遠(yuǎn)。

全球的芯片的大規(guī)模量產(chǎn)，是依賴(lài)光刻機(jī)這種芯片制造基礎(chǔ)設(shè)備，全球只有4家廠商，荷蘭ASML是全球光刻技術(shù)的領(lǐng)導(dǎo)者，一家壟斷全球80%以上市場(chǎng)，最先進(jìn)的EUV光刻機(jī)，只有它一家能夠生產(chǎn)，獨(dú)家壟斷了100%市場(chǎng)份額，要造7nm及以下芯片制造，都離不開(kāi)它的EUV。

而中國(guó)的水平落后ASML至少是10年以上，所以過(guò)去中國(guó)一直大量從ASML進(jìn)口光刻機(jī)。

為了不讓中國(guó)制造出先進(jìn)的芯片，美國(guó)先是不讓ASML的EUV光刻機(jī)向中國(guó)出口，后來(lái)連浸潤(rùn)式DUV里的高端型號(hào)也開(kāi)始設(shè)限。按照ASML那邊被迫執(zhí)行的說(shuō)法，能賣(mài)給中國(guó)的產(chǎn)品，技術(shù)上得落后個(gè)一代甚至更多。

那么即便在這種情況下，根據(jù)荷蘭媒體報(bào)道，在2023年、2024年這兩年，中國(guó)一直是ASML的最大買(mǎi)家，中國(guó)最高時(shí)購(gòu)買(mǎi)的光刻機(jī)金額，占到了ASML的40%以上，這兩年購(gòu)買(mǎi)的光刻機(jī)，比以往5年還要多。

事實(shí)上，荷蘭ASML近期的財(cái)報(bào)也佐證了這點(diǎn)。近日，ASML發(fā)布了2025年四季度，以及全年的業(yè)績(jī)報(bào)告。2025年這一年，ASML營(yíng)收高達(dá)327億歐元，同比增長(zhǎng)16%，而凈利潤(rùn)高達(dá)96億歐元，同比增長(zhǎng)27%。

數(shù)據(jù)顯示，一季度ASML我光刻系統(tǒng)銷(xiāo)售額是57億歐元，中國(guó)占比27%。二季度是56億歐元銷(xiāo)售額，中國(guó)占比25%。三季度是56億歐元銷(xiāo)售額，中國(guó)占比42%，四季度是76億歐元銷(xiāo)售額，中國(guó)占比36%。

算下來(lái)，2025年，ASML327億歐元總收入中，賣(mài)光刻機(jī)的收入合計(jì)為245億歐元左右，而中國(guó)買(mǎi)走的光刻機(jī)金額高達(dá)80.1億歐元，合計(jì)占到所有光刻機(jī)銷(xiāo)售的33%。

從占比來(lái)看，中國(guó)大陸依然是ASML光刻機(jī)的最大買(mǎi)家，沒(méi)有之一，這個(gè)比例超過(guò)了中國(guó)臺(tái)灣，韓國(guó)、美國(guó)等市場(chǎng)。并且在2025年，中國(guó)購(gòu)買(mǎi)的光刻機(jī)雖然數(shù)量減少了，均價(jià)明顯提升，說(shuō)明購(gòu)買(mǎi)的更多聚焦在高端一點(diǎn)的浸潤(rùn)式光刻機(jī)上面。

目前中國(guó)已經(jīng)囤積了足夠多的浸潤(rùn)式光刻機(jī)，而這些浸潤(rùn)式光刻機(jī)，在采用多重曝光之后，實(shí)際上能制造的芯片，能達(dá)到5nm工藝了。

那么從中國(guó)大規(guī)模囤購(gòu)ASML光刻機(jī)來(lái)看，背后透露了幾個(gè)事實(shí)與真相。

其一，目前中國(guó)光刻機(jī)依然在艱難突圍，依然需要時(shí)間。從囤購(gòu)的光刻機(jī)數(shù)量來(lái)看，也就是說(shuō)預(yù)留了5~10年時(shí)間來(lái)突破光刻機(jī)的關(guān)鍵技術(shù)，為接下來(lái)可能的持久戰(zhàn)囤積糧草。加上目前正在大規(guī)模的建芯片工廠，提高芯片產(chǎn)能，而ASML幾乎是唯一的光刻機(jī)選擇。

光刻機(jī)它是一個(gè)工業(yè)體系的皇冠，尤其是EUV光刻機(jī)。ASML的EUV光刻機(jī)里有10萬(wàn)個(gè)零件，來(lái)自全球5000多家供應(yīng)商，蔡司的鏡頭、美國(guó)的電源、德國(guó)的機(jī)械自動(dòng)化，這是全球化時(shí)代的巔峰產(chǎn)物。

EUV光源、蔡司光學(xué)鏡頭和日本的光刻膠，形成了一個(gè)穩(wěn)固的“技術(shù)壁壘鐵三角”，目前我們?cè)贒UV光刻機(jī)的國(guó)產(chǎn)化上已經(jīng)取得了突破，但EUV涉及到的極紫外光源、高精度反射鏡系統(tǒng)，確實(shí)是擺在面前的硬骨頭。我們國(guó)家雖然在部分領(lǐng)域有所突破，但要形成競(jìng)爭(zhēng)局面，還需要時(shí)間。

最重要的是，過(guò)去20年里，業(yè)界已經(jīng)基本形成了“晶體管堆料”和“先進(jìn)制程微縮”的路徑依賴(lài)，誰(shuí)有EUV，誰(shuí)就有話語(yǔ)權(quán)，中國(guó)在芯片產(chǎn)業(yè)的話語(yǔ)權(quán)當(dāng)前其實(shí)相當(dāng)有限。

其二，從中國(guó)大規(guī)模囤購(gòu)光刻機(jī)來(lái)看，就是光刻機(jī)出口管制這件事情，荷蘭的靈活操作為彼此預(yù)留了生意空間。

早在2024年3月，荷蘭首相訪華親自表態(tài)會(huì)努力減少出口限制造成的影響。事實(shí)上，荷蘭也是這么做的。2024年9月加緊了出口許可規(guī)定，對(duì)NXT1980Di之后的DUV設(shè)備實(shí)行逐案審批，不過(guò)老款和中低端機(jī)型還是能照賣(mài)不誤。

此外，荷蘭政府在2025年1月專(zhuān)門(mén)把大部分ASML對(duì)華銷(xiāo)售從“雙重用途”出口數(shù)據(jù)里剔除了，這相當(dāng)于給公司開(kāi)了綠燈，讓幾十億歐元的買(mǎi)賣(mài)不用公開(kāi)接受審查。甚至主動(dòng)構(gòu)建中國(guó)本地維修網(wǎng)點(diǎn)，給現(xiàn)有設(shè)備保駕護(hù)航，持續(xù)綁定貿(mào)易關(guān)系。

畢竟，荷蘭看的非常清楚，ASML將近一半的飯碗是中國(guó)給端著的。這兩年運(yùn)到中國(guó)大陸的光刻機(jī)數(shù)量，加起來(lái)比過(guò)去五年總和還要多。

這就導(dǎo)致一邊美國(guó)在那兒喊著要封鎖，一邊是ASML的光刻機(jī)在加班加點(diǎn)地往中國(guó)運(yùn)，這說(shuō)明在美國(guó)的制裁下，荷蘭的操作相對(duì)靈活，既維持美方的盟友關(guān)系，又給自家企業(yè)留足了生存空間，在“頂住美方壓力”與“穩(wěn)住業(yè)務(wù)”間找到平衡，有錢(qián)賺絕不把門(mén)關(guān)死。這其實(shí)也是中荷在芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展上的一種雙贏。

再次，中國(guó)一直在做兩手準(zhǔn)備，全力突圍EUV光刻機(jī)

值得注意的是，我們已經(jīng)專(zhuān)盯著那些技術(shù)指標(biāo)更高、還沒(méi)被完全禁掉的高端浸潤(rùn)式光刻機(jī)買(mǎi)。這些機(jī)器都是硬通貨，每一臺(tái)都是未來(lái)幾年產(chǎn)線上的頂梁柱。雖然它不如EUV那么先進(jìn)，但在“多重曝光”領(lǐng)域有大用，通過(guò)復(fù)雜的工藝疊加，照樣能刻出精細(xì)的電路圖，實(shí)現(xiàn)5納米的芯片突圍。

尤其是中國(guó)在先進(jìn)封裝技術(shù)層面已經(jīng)取得領(lǐng)先，通過(guò)2.5D/3D堆疊、異構(gòu)集成等方式，將兩塊甚至多塊芯片通過(guò)封裝一體化，能解決很多意想不到的問(wèn)題。

我們囤購(gòu)5到10年的光刻機(jī)，本質(zhì)是爭(zhēng)取國(guó)產(chǎn)突圍的寶貴時(shí)間與做最壞的打算！在未來(lái)5~10年，哪怕西方徹底斷供，手里的DUV能頂?shù)?nm，中國(guó)晶圓廠照樣能轉(zhuǎn)，芯片照樣能生產(chǎn)，我們有時(shí)間慢慢磨EUV。

在當(dāng)下，國(guó)產(chǎn)替代的訴求比以往任何時(shí)刻都要更強(qiáng)烈。去年去年曝光的氟化氬光刻機(jī)，是ArF光刻機(jī)，接下來(lái)要突破的是浸潤(rùn)式DUV，再然后就是EUV。

此外，中國(guó)在光刻機(jī)技術(shù)還在推進(jìn)納米壓印與電子光束多條路線并行研發(fā)。最終實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)的完整突圍，這需要一個(gè)較長(zhǎng)的時(shí)間周期。

目前，荷蘭的一位芯片專(zhuān)家拋出了一個(gè)新的判斷，他認(rèn)為，中國(guó)大概需要10年左右的時(shí)間，才能真正造出屬于自己的「EUV光刻機(jī)」，并且達(dá)到ASML目前的同等技術(shù)水準(zhǔn)。

在西方科技圈內(nèi)部，過(guò)去一直是看低中國(guó)速度的，在很早的時(shí)候認(rèn)為中國(guó)就算是拿了圖紙也造不出來(lái)，后來(lái)他們說(shuō)我們20年也追不上，后來(lái)改口說(shuō)15年，現(xiàn)在變成了10年，中國(guó)可以造出EUV光刻機(jī)，那就是意味著他們正在重新評(píng)估中國(guó)芯片的「突圍速度」。

在科技競(jìng)爭(zhēng)的維度里，10年就是一個(gè)完整的產(chǎn)業(yè)周期。第一個(gè)3年是從無(wú)到有的原理突破。第二個(gè)3年是核心零部件的攻堅(jiān)戰(zhàn)，最后的4年，是整體設(shè)備的集成與迭代、優(yōu)化產(chǎn)品良率，是在工廠里不斷燒錢(qián)、最終打磨出高良率的芯片產(chǎn)品。

只不過(guò)，這個(gè)過(guò)程，注定是漫長(zhǎng)而艱難的。畢竟這是中國(guó)以一己之力，對(duì)抗整個(gè)西方成熟的供應(yīng)鏈體系，這不是一蹴而就的，而是需要長(zhǎng)周期的研發(fā)與坐冷板凳，最終走到天亮的那一天。

只要中國(guó)努力提高芯片產(chǎn)能的決心沒(méi)變，中國(guó)自己的光刻機(jī)還不能頂上來(lái)，那么就得繼續(xù)囤貨，國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)替代技術(shù)的成熟，到底走到了哪一步，這其實(shí)能從我們購(gòu)買(mǎi)ASML光刻機(jī)的數(shù)據(jù)看出來(lái)。當(dāng)我們采購(gòu)金額與占比越來(lái)越低的時(shí)候，這可能意味著我們國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)的本土產(chǎn)品已經(jīng)在替代一部分光刻機(jī)產(chǎn)能了。

從當(dāng)前荷蘭媒體的爆料來(lái)看，國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)依然還要努力。我們當(dāng)前依然處于黎明前的黑暗，整個(gè)行業(yè)還在咬緊牙關(guān)往前走，在瘋狂囤貨、優(yōu)化工藝，在解決芯片零部件自主與產(chǎn)業(yè)門(mén)類(lèi)上不斷推進(jìn)，在產(chǎn)品創(chuàng)新和商業(yè)模式創(chuàng)新角度去推進(jìn)研發(fā)，一旦實(shí)現(xiàn)EUV光刻機(jī)的量產(chǎn)，整個(gè)世界的格局都會(huì)發(fā)生重大轉(zhuǎn)變，只不過(guò)在此之前，國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)的突圍依然任重道遠(yuǎn)。