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0.1nm直接光刻,又一家公司,想要掀翻ASML的EUV光刻機?

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要說現(xiàn)在芯片制造里頭誰最牛,那肯定繞不開EUV光刻機。

這玩意兒就像皇冠上的那顆寶石,但凡你想生產(chǎn)7nm以下的芯片,沒它還真不行。

關(guān)鍵是全世界能造出EUV光刻機的,就荷蘭ASML這一家,這就讓它穩(wěn)穩(wěn)坐在了整個半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的最頂端。



正因為一家獨大,全球不少企業(yè)都在琢磨著怎么繞開它,甚至顛覆它。

像日本佳能搞的納米壓印技術(shù),美國那邊的電子束光刻,歐洲的自生長技術(shù),還有俄羅斯折騰的X射線,路子各不相同,但目的都是一個——擺脫對EUV的依賴。

只不過到現(xiàn)在,這些技術(shù)大多還停留在“聽起來很美”的階段,真要大規(guī)模商用,都還差著一口氣。



最近又冒出一家新公司,口氣不小,直接說要挑戰(zhàn)ASML的地位。這家公司來自挪威,名字叫Lace Lithography。

它們搗鼓的技術(shù)叫“原子光刻”,說白了就是不用EUV那種13.5nm波長的光線,而是改用一種寬度只有0.1nm的氦原子束來干活。

0.1nm和13.5nm,這差距可不是一星半點。按照它們的說法,原子束越細,分辨率就越高,直接用這技術(shù)就能造1nm以下的芯片,連多重曝光都省了。

更厲害的是,這套玩法還不需要傳統(tǒng)的掩模版和反射鏡,甚至連光刻膠都省了,直接在硅晶圓上“畫”出電路圖案。



Lace自己放話,說這項技術(shù)比現(xiàn)在的EUV領(lǐng)先整整15年,成本更低、能耗也更省,要是真能成,整個芯片產(chǎn)業(yè)都能往前跨一大步。

公司還透露,他們已經(jīng)做出了原型機,計劃到2029年和晶圓廠合作進行測試。為了這事兒,他們也融到了將近5000萬美元的資金。



不過業(yè)內(nèi)不少人對這事兒不太看好。有人說聽著挺唬人,但用原子束直接做光刻,有個繞不過去的坎——產(chǎn)能。說白了,這種玩法速度太慢,一次刻不了多少東西,用來做小批量、結(jié)構(gòu)簡單的芯片或許還行,但要像EUV那樣大規(guī)模量產(chǎn),恐怕很難頂上去。

其實不管這項技術(shù)最后能不能成,有人愿意在光刻機這條路上闖一闖,對行業(yè)來說終究是件好事。畢竟ASML一家獨大的局面,不管對芯片廠還是對消費者,都不是最理想的狀態(tài)。多幾條路子,多幾個選擇,哪怕最后走不通,也總比所有人都擠在一條道上強。

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