來自無錫高新區(qū)的

吉佳藍中國總部項目

2臺納米壓印設備成功出貨！

近日，吉佳藍中國總部迎來了具有里程碑意義的時刻——首批次納米壓印設備（CITUS系列）已成功通過客戶工藝驗證，順利裝箱發(fā)貨。這標志著吉佳藍中國已完全具備高端半導體設備的量產(chǎn)及交付能力，從落戶到出貨跑出了令人矚目的“加速度”。

MGM吉佳藍

2025年3月，吉佳藍中國總部在無錫高新區(qū)新港集成電路裝備零部件產(chǎn)業(yè)園啟用，是基于擁有25年以上業(yè)績的韓國半導體設備企業(yè)GigaLane的技術(shù)實力成立的國產(chǎn)化設備制造企業(yè)。吉佳藍作為全國唯一一家同時擁有刻蝕以及納米壓印設備生產(chǎn)制造研發(fā)的公司，通過不斷創(chuàng)新，建立起壓印+刻蝕一條龍服務，為客戶營造無比便利的Demo環(huán)境，提供客戶壓印+刻蝕一站式全流程服務，得到業(yè)內(nèi)一致好評。

此次成功出貨的MGM壓印設備是一個高精度工藝平臺。MGM提供滾壓RtoP以及真空面壓PtoP等多種工藝方案，壓印精度<20nm，殘余層控制<10nm，高準對精度工藝設備，量產(chǎn)性機臺同時提供軟膜加工以及壓印全自動一體化，月產(chǎn)能30pcs，滿足高工藝要求的同時符合客戶要求的高量產(chǎn)需求。

→ 勻膠模式：旋涂，噴墨，點涂

→ 兼容2~12inch晶圓&300mm*300mm方片

→ 對準精度±2um

→ 雙工藝模塊，“軟膜加工+壓印工藝”同步完成

→ 提供壓印代工服務

吉佳藍銷售總監(jiān)王琦表示：“壓印設備的競爭力，不單單在于實現(xiàn)微細圖案的層面，更在于能否以足夠精密、穩(wěn)定且具備高生產(chǎn)率的方式執(zhí)行工藝。吉佳藍將以高精度轉(zhuǎn)印技術(shù)、工藝再現(xiàn)性、生產(chǎn)率，以及與壓印樹脂和模具用樹脂相銜接的綜合應對能力為基礎，進一步強化在下一代光學·半導體工藝市場中的競爭力。”

吉佳藍設備的競爭力并不僅限于精度，在實際產(chǎn)業(yè)現(xiàn)場，除了高分辨率之外，工藝速度、重復穩(wěn)定性、維護運行效率等生產(chǎn)率方面的要求也同樣重要。吉佳藍的壓印設備基于均勻的加壓控制、穩(wěn)定的工藝條件維持以及在重復工藝中的高再現(xiàn)性，在確?？蛻羲璧纳a(chǎn)率方面也展現(xiàn)出優(yōu)勢。這不僅提升了在研發(fā)階段制作試產(chǎn)樣品的價值，也增強了其作為未來可應用于量產(chǎn)的工藝平臺的價值。

編輯 | 楊亦哲

來源 | MGM吉佳藍、集成電路公司

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