最近日本新首相拋出的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)政策，把一個(gè)不起眼的小材料推上了熱搜。它就是做芯片離不開的光刻膠，全球九成以上高端貨都來自日本，好多人看完都捏了一把汗。萬一日本說斷供就斷供，咱們的芯片產(chǎn)業(yè)會(huì)不會(huì)直接停擺？這事到底有多嚴(yán)重，咱們真的沒準(zhǔn)備嗎？

從上個(gè)世紀(jì)70年代開始，日本就在為光刻膠的壟斷地位鋪路了。當(dāng)時(shí)日本政府牽頭啟動(dòng)了專項(xiàng)項(xiàng)目，砸下720億日元拉著日立、東芝等本土巨頭聯(lián)合攻關(guān)，死磕高純硅材料和光刻配方。硬生生把原本領(lǐng)先的歐美企業(yè)甩在了身后，搶到了行業(yè)制高點(diǎn)。

到90年代，東京應(yīng)化率先突破了KrF光刻膠技術(shù)，1995年就實(shí)現(xiàn)了商業(yè)化量產(chǎn)?？恐€(wěn)定的產(chǎn)品品質(zhì)，很快就吃下了全球大部分市場。經(jīng)過幾十年發(fā)展，日本五家龍頭企業(yè)已經(jīng)拿下全球高端光刻膠市場想要打破這個(gè)壟斷，難度比很多人想象的大太多。高端光刻膠的雜質(zhì)含量必須控制在十萬億分之一以內(nèi)，這個(gè)精度相當(dāng)于在一整座大型水庫的水里，找出一粒不到一毫克的微小雜質(zhì)。而且每一批產(chǎn)品都得穩(wěn)定達(dá)到這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)，不是買幾臺(tái)先進(jìn)設(shè)備就能搞定的，得靠企業(yè)幾十年的工藝積累，一點(diǎn)點(diǎn)摳生產(chǎn)細(xì)節(jié)，沒有任何捷徑可走。

90%以上的份額，最頂級(jí)的EUV光刻膠領(lǐng)域，日企占比更是接近97%，幾乎壟斷了先進(jìn)制程的核心供應(yīng)。再說說配方壁壘，這事說起來挺有意思，就像老字號(hào)的獨(dú)家鹵味。所有人都知道鹵料里有哪幾種香料，可就是熬不出一模一樣的味道。日本企業(yè)的光刻膠配方，是幾代技術(shù)人員上萬次試錯(cuò)攢出來的黃金比例，很多工藝細(xì)節(jié)都是廠子里以老帶新傳承下來的。操作經(jīng)驗(yàn)、參數(shù)微調(diào)這些東西，根本沒法寫在圖紙上，只能在實(shí)際操作里慢慢摸透。

產(chǎn)業(yè)鏈的深度綁定，也是外人很難突破的點(diǎn)。日本企業(yè)從光刻機(jī)研發(fā)階段，就和ASML這類全球頂尖設(shè)備廠商同步開發(fā)對(duì)應(yīng)的光刻膠。幾十年下來，已經(jīng)形成了設(shè)備、材料、產(chǎn)線完美適配的閉環(huán)，外人根本插不進(jìn)去。對(duì)下游晶圓廠來說，換光刻膠供應(yīng)商就得重新調(diào)整整條生產(chǎn)線參數(shù)，反復(fù)測試好幾年，出問題的話，良率下跌帶來的損失可能高達(dá)數(shù)十億，沒幾家企業(yè)愿意冒這個(gè)險(xiǎn)。

2019年的日韓貿(mào)易戰(zhàn)，其實(shí)已經(jīng)給全世界敲過一次警鐘了。當(dāng)時(shí)日本突然對(duì)韓國限制三種半導(dǎo)體材料出口，高端光刻膠就在名單里。那時(shí)候韓國94%的光刻膠都依賴日本進(jìn)口，一下子就陷入了被動(dòng)。

韓國經(jīng)濟(jì)研究院測算，那次管制直接讓韓國GDP下降了2.2%，三星電子的凈利潤直接暴跌了53%，SK海力士的工廠良率一度掉到了85%。當(dāng)時(shí)三星高層專門飛到日本求貨，最后韓國政府砸了7.8萬億韓元搞國產(chǎn)化，花了四年時(shí)間，才勉強(qiáng)實(shí)現(xiàn)KrF光刻膠的部分自給，高端EUV光刻膠還是只能靠進(jìn)口。

面對(duì)這種潛在風(fēng)險(xiǎn)，咱們國內(nèi)產(chǎn)業(yè)界其實(shí)早有準(zhǔn)備，沒等到危機(jī)來臨時(shí)才手忙腳亂。國內(nèi)的頭部晶圓廠早就意識(shí)到了進(jìn)口依賴的風(fēng)險(xiǎn)，提前儲(chǔ)備了三到六個(gè)月的戰(zhàn)略庫存。就算真的出現(xiàn)斷供，也能撐過最艱難的緩沖期，不會(huì)讓生產(chǎn)線立刻停擺。

中低端光刻膠領(lǐng)域，咱們早就實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化了。家電、汽車?yán)镉玫降某墒熘瞥绦酒?，?duì)應(yīng)的G/I線光刻膠，咱們自己就能完全供應(yīng)。足夠兜底基礎(chǔ)產(chǎn)業(yè)的需求，不會(huì)讓日常民生用品供應(yīng)出問題。

這幾年中期技術(shù)攻堅(jiān)也在加速推進(jìn)。國家早就把光刻膠納入了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的核心攻堅(jiān)項(xiàng)目，2024年成立的國家大基金三期，注冊資本高達(dá)3440億元，重點(diǎn)投向集成電路全產(chǎn)業(yè)鏈，光刻膠就是核心投資方向。有政策和資金扶持，國內(nèi)企業(yè)這兩年迎來了突破爆發(fā)期。

南大光電的ArF光刻膠，已經(jīng)成為國內(nèi)首個(gè)通過客戶認(rèn)證、實(shí)現(xiàn)28nm制程量產(chǎn)的產(chǎn)品，良率達(dá)到了99.7%，成功進(jìn)入了中芯國際、長江存儲(chǔ)的核心供應(yīng)鏈。鼎龍股份也建成了國內(nèi)首條覆蓋從單體、樹脂到成品全流程自主的高端光刻膠量產(chǎn)線，300噸的產(chǎn)線已經(jīng)正式投產(chǎn)，多款產(chǎn)品已經(jīng)拿到了下游訂單。彤程新材的ArF光刻膠業(yè)務(wù)，去年的營收直接增長了超過800%，多款產(chǎn)品已經(jīng)進(jìn)入量產(chǎn)驗(yàn)證階段，結(jié)果完全符合客戶預(yù)期。

現(xiàn)在國內(nèi)KrF光刻膠的國產(chǎn)化率，已經(jīng)從2023年的不足10%，快速攀升到了2026年的25%，提前完成了工信部設(shè)定的年度目標(biāo)。ArF光刻膠的突破也在加速推進(jìn)，甚至EUV光刻膠的預(yù)研，北大和中科院的團(tuán)隊(duì)也在探索新的金屬氧化物膠路線，試圖繞開傳統(tǒng)的專利壁壘。

長期來看，我們的目標(biāo)就是實(shí)現(xiàn)全產(chǎn)業(yè)鏈自主可控。之前被日本壟斷的上游核心原材料，比如KrF光刻膠樹脂，八億時(shí)空已經(jīng)建成了國內(nèi)首條百噸級(jí)的量產(chǎn)線，2025年年底已經(jīng)開始了噸級(jí)的穩(wěn)定出貨，卡脖子的上游節(jié)點(diǎn)也在逐步打通。我們也有自己的產(chǎn)業(yè)籌碼，中國是全球最大的稀土供應(yīng)國，日本的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)離不開我們的稀土資源。真要是對(duì)方敢搞斷供的小動(dòng)作，我們也有足夠的反制手段，讓他們好好掂量一下自己的損失。

這場關(guān)于光刻膠的討論，其實(shí)就是全球高端產(chǎn)業(yè)競爭的一個(gè)微小縮影。短期的庫存緩沖能幫我們爭取應(yīng)對(duì)時(shí)間，產(chǎn)業(yè)鏈的反制籌碼也能暫時(shí)穩(wěn)住局面，但這些終究只是權(quán)宜之計(jì)。真正的產(chǎn)業(yè)安全，從來都不是靠別人的施舍，得把核心技術(shù)牢牢握在自己手里才管用。

現(xiàn)在我們的產(chǎn)業(yè)已經(jīng)走上了攻堅(jiān)的快車道，雖然距離完全打破壟斷還有一段路要走。只要我們一步一個(gè)腳印啃下這些硬骨頭，終會(huì)打破壟斷，實(shí)現(xiàn)真正的自主可控，再也不被別人卡脖子。

參考資料：人民日?qǐng)?bào) 我國半導(dǎo)體核心材料國產(chǎn)化攻堅(jiān)取得新突破