一、CMP到底是干嘛的？為什么半導(dǎo)體離不開(kāi)它？

CMP = Chemical Mechanical Polishing（化學(xué)機(jī)械拋光），也叫化學(xué)機(jī)械平坦化。

簡(jiǎn)單說(shuō)：它就是半導(dǎo)體制造里的“磨地板神器”。

現(xiàn)在芯片都是多層布線（10層、20層金屬很常見(jiàn)），每做完一層介質(zhì)（氧化物或Low-k），表面都會(huì)高低不平，下一層金屬填進(jìn)去會(huì)出各種問(wèn)題。CMP就是要把這層“地板”磨得跟鏡子一樣平（全局平坦度做到幾納米以內(nèi)），否則后面光刻、對(duì)準(zhǔn)、填金屬全完蛋。

沒(méi)有CMP，90nm以下工藝根本玩不下去，它是實(shí)現(xiàn)多層互連的絕對(duì)核心工藝。

二、CMP到底在磨什么？典型應(yīng)用場(chǎng)景

1. STI CMP（淺溝槽隔離）

填完HDP氧化物后，把多余的氧化物磨掉，只留下溝槽里的部分，形成隔離。

1. 聚硅柵CMP（Gate Last工藝?yán)锍Ｓ茫?/p>

高K金屬柵時(shí)代，常用Replacement Metal Gate，磨掉多余金屬和聚硅。

1. ILD CMP（層間介質(zhì)拋光）

每層金屬前的氧化物平坦化，最常見(jiàn)的。

1. 銅互連CMP（Damascene工藝核心）

最復(fù)雜、最賺錢的CMP！

電鍍完厚厚一層銅后，先把凸出來(lái)的銅全部磨掉（銅清除），停在阻擋層（Ta/TaN）上；然后再把阻擋層和部分介質(zhì)一起磨掉（Barrier CMP），最終形成平坦的銅線。

1. W-CMP（鎢栓拋光

早年接觸孔、Via用鎢填，現(xiàn)在還會(huì)在某些地方用到。

1. 新材料CMP

如Co（鈷互連）、Ru（釕）、Mo（鉬）、SiGe、III-V族等等，先進(jìn)節(jié)點(diǎn)越來(lái)越多。

三、CMP的原理：化學(xué) + 機(jī)械 雙管齊下

別看就叫一個(gè)“拋光”，其實(shí)是化學(xué)腐蝕 + 機(jī)械磨除同時(shí)進(jìn)行：

• 拋光液（Slurry）里含有：

• • 氧化劑（H?O?最常見(jiàn)）→ 把銅氧化成CuO/Cu?O，變軟

  • 納米磨粒（SiO?、Al?O?、CeO?等）→ 機(jī)械刮除

  • 絡(luò)合劑、腐蝕抑制劑、pH調(diào)節(jié)劑 → 控制反應(yīng)速度和選擇比

• 機(jī)械部分靠：

• 拋光墊（Polyurethane材質(zhì)，有溝槽）

• 旋轉(zhuǎn)的拋光頭（Wafer被真空吸住，倒扣在墊子上）

• 下壓力（Down Force，通常幾psi）

化學(xué)讓材料變軟，機(jī)械把它刮走，兩者缺一不可。

只化學(xué)會(huì)腐蝕過(guò)度，只機(jī)械會(huì)嚴(yán)重劃傷。

四、CMP設(shè)備長(zhǎng)什么樣？核心部件逐個(gè)講

主流CMP設(shè)備：Applied Materials Reflexion LK、Ebara FREX、Lam Research等。

一臺(tái)典型12英寸CMP設(shè)備結(jié)構(gòu)：

1、4個(gè)拋光頭（Head）

每個(gè)Head可以獨(dú)立加壓、轉(zhuǎn)速控制，帶著晶圓倒扣在墊子上旋轉(zhuǎn)。

2、3~4個(gè)拋光盤（Platen）

每個(gè)盤貼一塊大拋光墊，Platen 1磨銅，Platen 2磨Barrier，Platen 3清洗或Buffing。

3、拋光液供應(yīng)系統(tǒng)（Slurry Delivery）

大桶漿料 + 管路 + 噴嘴，流量要精確到ml/min。

4、修墊器（Conditioner/Disk）

上面鑲滿金剛石顆粒，實(shí)時(shí)刮拋光墊表面，防止墊子“釉化”（glazing），保持粗糙度。

5、終點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)（Endpoint Detection）

• 電機(jī)電流檢測(cè)（銅清完后摩擦力變大，電流上升）

• 光學(xué)干涉（激光打到晶圓上，銅和介質(zhì)反射信號(hào)不同）

• Eddy Current（渦流傳感器，銅厚實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，最主流）
  

5、后清洗模塊（Post-CMP Clean）

兆聲清洗 + 刷洗 + Marangoni干燥，務(wù)必把殘留磨粒、漿料徹底洗干凈，否則缺陷爆炸。

五、CMP最難的幾個(gè)技術(shù)痛點(diǎn)（工藝工程師最頭疼的）

1、劃傷（Scratch）

大顆粒、漿料結(jié)塊、修墊盤掉金剛石都會(huì)造成致命劃傷。

2、腐蝕（Dishing & Erosion）

銅線中心下陷（Dishing）、密集區(qū)介質(zhì)磨太多（Erosion），導(dǎo)致電阻上升和可靠性問(wèn)題。

3、殘留（Residue）

銅、Ta、磨粒殘留 → 短路、漏電。

4、選擇比控制

銅：Barrier：TEOS的選擇比要幾百:幾:1，否則停不住或者過(guò)磨。

5、晶圓內(nèi)均勻性（WIWNU）

中心和邊緣磨除速率差要控制在幾個(gè)%以內(nèi)。

6、缺陷水平

先進(jìn)節(jié)點(diǎn)要求大顆粒（>0.1μm）加起來(lái)不超過(guò)幾個(gè)。

六、銅CMP三步經(jīng)典工藝（7nm及以上還在用）

Platen 1（Bulk Cu Remove）

• 高去除率漿料（>5000?/min）

• 大下壓力

• 渦流終點(diǎn)，留1000~2000?銅

Platen 2（Soft Landing + Barrier Remove）

• 低去除率漿料 + 高選擇比

• 小下壓力，停在Barrier上不傷介質(zhì)

Platen 3（Buffing + 水拋）

• 純DI水或極稀漿料

• 去除表面微劃傷和殘留

• 極低下壓力（<1psi）拋光 → 防止Low-k介質(zhì)塌陷

• 無(wú)磨粒漿料（Abrasive-free）→ 減少劃傷

• 新材料選擇比漿料（Co、Ru、Mo）

• AI實(shí)時(shí)終點(diǎn)控制 + 機(jī)器學(xué)習(xí)優(yōu)化參數(shù)

• 單盤多步工藝（減少設(shè)備投資）

總結(jié)一句話：CMP看起來(lái)就是“磨一磨”，其實(shí)是化學(xué)、機(jī)械、材料、設(shè)備、檢測(cè)、清洗、缺陷全鏈條最復(fù)雜的工藝之一，良率和成本都卡在它手里。真正的CMP大神，是能在劃傷、Dishing、均勻性、缺陷之間找到完美平衡的人。