在中國(guó)半導(dǎo)體日新月異，不斷突破的背景下，ASML工程師認(rèn)為，只要有圖紙、有零件、有資金，中國(guó)復(fù)制 ASML 的光刻機(jī)并非天方夜譚。然而，與其“復(fù)制”舊技術(shù)，不如走出一條自主研發(fā)的新路這條道路，或許更值得期待。

PART.01

復(fù)制，并非完全不可能

為什么“復(fù)制 ASML”的想法看似可行-- 技術(shù)原理并非絕密，理論上有跡可循。

對(duì)很多業(yè)內(nèi)觀察者來說，光刻機(jī)的基礎(chǔ)工作原理（光-掩模-成像-對(duì)準(zhǔn)-曝光）并不是國(guó)家機(jī)密；只要掌握光學(xué)、機(jī)械、控制軟件等知識(shí)，理論上“照葫蘆畫瓢”是可能的。

有人指出，只要“有足夠技術(shù)人才參與到光刻機(jī)的開發(fā)當(dāng)中”，確實(shí)有可能“重新打造一臺(tái)跟 ASML 類似的產(chǎn)品”。這種觀點(diǎn)也在某些公開討論中被提及。

在現(xiàn)實(shí)中已有嘗試：試圖拆解、逆向 ASML 設(shè)備。最近有媒體報(bào)道，一臺(tái)使用的 ASML DUV（深紫外）光刻機(jī)，因?yàn)楸荒硨?shí)體拆解嘗試逆向工程，結(jié)果在重組過程中損壞系統(tǒng)，不得不請(qǐng) ASML 派工程師來維修。 這一事件說明：已經(jīng)有人對(duì)“通過拆解學(xué)習(xí) ASML”的思路至少進(jìn)行了嘗試。讓“復(fù)制 ASML”的思路，在外界看來，似乎并非完全不可能。

PART.02

我們選擇另外一條路

“復(fù)制”是一種治標(biāo)不治本的方法。

拆過來再組裝，最多只能復(fù)刻“過去”的技術(shù) —— 這種方式無法帶來真正的技術(shù)積累和長(zhǎng)期競(jìng)爭(zhēng)力。一旦國(guó)外（尤其是西方）加大出口管制、零部件封堵，復(fù)制得到的設(shè)備很可能會(huì)因基礎(chǔ)材料或核心組件斷供而無法維持。

近兩年，國(guó)內(nèi)多家光刻機(jī)與半導(dǎo)體設(shè)備公司在低、中端光刻設(shè)備領(lǐng)域已有實(shí)質(zhì)性進(jìn)展。比起復(fù)制這種選擇具有明顯優(yōu)點(diǎn)：

1.穩(wěn)定可控：不依賴國(guó)外出口許可與零部件供應(yīng)，降低被“卡脖子”的風(fēng)險(xiǎn)。

2.產(chǎn)業(yè)積累：通過自研、自制，逐步發(fā)展起完整供應(yīng)鏈與技術(shù)能力，為將來更高級(jí)、復(fù)雜光刻設(shè)備的研發(fā)奠定基礎(chǔ)。

3.經(jīng)濟(jì)與戰(zhàn)略平衡：對(duì)于大多數(shù)成熟工藝（如 28nm、40nm 甚至更大節(jié)點(diǎn)）來說，國(guó)產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)足夠；對(duì)于高端、特殊用途芯片，自主技術(shù)路徑也正在鋪開。

PART.03

復(fù)制 VS 自研

復(fù)制 + 拆裝（逆向）ASML

上手相對(duì)快速、不需要從零開始設(shè)計(jì)。但是難以實(shí)現(xiàn)整體工藝一致性；高精度、高良率、高穩(wěn)定性難以保障；極易損壞設(shè)備。多數(shù)專業(yè)人士認(rèn)為，這條路頂多作為短期“試探”，難以長(zhǎng)期維持。

自主研發(fā) + 本地化供應(yīng)鏈 + 多圖案 + DUV + 替代方案

可控自主、供應(yīng)鏈穩(wěn)定、適配中國(guó)產(chǎn)業(yè)需求、有長(zhǎng)期積累價(jià)值。雖然起步慢、技術(shù)門檻高、仍需克服材料、設(shè)計(jì)、工藝整合等難題，但更有潛力，已經(jīng)有公司進(jìn)入測(cè)試階段，有望逐步成為主流路線。

也許，就是因?yàn)椤皬?fù)制容易，創(chuàng)新難”，中國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)才選擇了后者 —— 這條或許更漫長(zhǎng)、更艱辛，但也更有價(jià)值、更具戰(zhàn)略意義的道路。

在全球科技博弈不斷升級(jí)的今天，誰掌握了先進(jìn)芯片制造技術(shù)，就可能在未來科技競(jìng)爭(zhēng)中占得先機(jī)。對(duì)中國(guó)而言，復(fù)制曾經(jīng)的設(shè)備顯然不是長(zhǎng)久之計(jì)；而自主研發(fā)、自建產(chǎn)業(yè)鏈、自主控制關(guān)鍵設(shè)備，才是破局之道。

未來，無論是中端芯片的大規(guī)模國(guó)產(chǎn)化，還是高端芯片設(shè)備的自主研發(fā)，只要貫徹“自研優(yōu)先、穩(wěn)步推進(jìn)”的原則，中國(guó)都有可能走出一條不同于過去、不同于他國(guó)的半導(dǎo)體發(fā)展之路。

小小寰球，有幾個(gè)蒼蠅碰壁。嗡嗡叫，幾聲凄厲，幾聲抽泣。螞蟻緣槐夸大國(guó)，蚍蜉撼樹談何易。正西風(fēng)落葉下長(zhǎng)安，飛鳴鏑。

多少事，從來急；天地轉(zhuǎn)，光陰迫。一萬年太久，只爭(zhēng)朝夕。四海翻騰云水怒，五洲震蕩風(fēng)雷激。要掃除一切害人蟲，全無敵。

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