記者1日從國(guó)投集團(tuán)所屬中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“中國(guó)電子院”）獲悉，全球首個(gè)納米級(jí)微振動(dòng)實(shí)驗(yàn)室日前在河北雄安新區(qū)正式投運(yùn)。這是國(guó)投集團(tuán)在先進(jìn)電子制造領(lǐng)域布局打造的國(guó)家級(jí)科技創(chuàng)新平臺(tái)。

　　“納米級(jí)微振動(dòng)實(shí)驗(yàn)室將全面服務(wù)于半導(dǎo)體制造、航空航天、精密儀器、生物醫(yī)藥等重點(diǎn)領(lǐng)域，推動(dòng)我國(guó)高精密制造‘軟實(shí)力’與‘硬裝備’協(xié)同提升?！敝袊?guó)電子院首席技術(shù)官楊光明介紹，該實(shí)驗(yàn)室核心裝置為我國(guó)自主研發(fā)的全球尺寸最大、精度最高的微振動(dòng)模擬實(shí)驗(yàn)臺(tái)。

　　據(jù)悉，實(shí)驗(yàn)臺(tái)平面尺寸達(dá)4米×4米，臺(tái)體自重約50噸，設(shè)計(jì)承載能力高達(dá)20噸，振動(dòng)精度突破納米級(jí)，最小振動(dòng)幅值遠(yuǎn)低于地球自身脈動(dòng)，可全面滿足大型半導(dǎo)體設(shè)備整機(jī)及衛(wèi)星全尺寸載荷的上臺(tái)測(cè)試需求。

　　實(shí)驗(yàn)臺(tái)采用中國(guó)電子院自主研發(fā)的空氣彈簧主動(dòng)隔振系統(tǒng)，可高效隔離地基及建筑結(jié)構(gòu)的環(huán)境振動(dòng)干擾，在臺(tái)面上構(gòu)建超純凈微振動(dòng)環(huán)境。實(shí)驗(yàn)臺(tái)配套高精度直線電機(jī)作動(dòng)器，可在寬頻率范圍內(nèi)，實(shí)現(xiàn)0.001伽至5伽的加速度精密輸出，能夠精準(zhǔn)模擬極微弱背景環(huán)境振動(dòng)，全面覆蓋電子信息、航空航天等核心領(lǐng)域應(yīng)用的全頻段、全幅值區(qū)間。

　　同時(shí)，實(shí)驗(yàn)臺(tái)具備正弦波、隨機(jī)波、掃頻波等豐富波形模擬能力，可實(shí)現(xiàn)單方向精確模擬與三方向同步模擬。其不僅能開展特定頻率的精細(xì)化分析，也可還原復(fù)雜真實(shí)環(huán)境下多自由度耦合的隨機(jī)振動(dòng)場(chǎng)景，為科研攻關(guān)與裝備驗(yàn)證提供了高度貼合實(shí)際工況、靈活可控的實(shí)驗(yàn)條件。

　　“納米級(jí)微振動(dòng)實(shí)驗(yàn)室的建成投用，打通了我國(guó)多個(gè)戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證堵點(diǎn)?！睏罟饷髡f，該實(shí)驗(yàn)室填補(bǔ)了我國(guó)在微振動(dòng)試驗(yàn)方法、精密設(shè)備振動(dòng)容許標(biāo)準(zhǔn)、隔振裝置評(píng)價(jià)體系等多個(gè)環(huán)節(jié)的技術(shù)與市場(chǎng)空白，為我國(guó)電子制程、空天信息等領(lǐng)域高端裝備自主研發(fā)提供了關(guān)鍵基礎(chǔ)支撐。（記者劉園園）

來源：科技日?qǐng)?bào)