這位荷蘭科技記者馬克·海金克長期關(guān)注半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域。他在2024年11月的訪談中提到，光刻技術(shù)屬于一種特別的競賽。ASML公司從1984年成立開始，花了四十多年時間才把光刻機做到今天這個水平。中國企業(yè)現(xiàn)在展現(xiàn)出的投入勁頭，在他看來甚至更集中有力。

海金克的看法不是空談。他寫過ASML的書，里面詳細梳理了公司發(fā)展的全過程。ASML最早是飛利浦實驗室的一個技術(shù)分支，1984年4月1日正式獨立成合資企業(yè)。起步時規(guī)模小，設(shè)備性能跟美日對手有差距，主要靠內(nèi)部訂單維持運營。

早期ASML面臨不少挑戰(zhàn)。產(chǎn)品在精度和穩(wěn)定性上需要反復(fù)改進。團隊專注晶圓臺的對準(zhǔn)技術(shù)，這在芯片內(nèi)部結(jié)構(gòu)變復(fù)雜后才慢慢顯現(xiàn)優(yōu)勢。1990年代推出PAS系列設(shè)備后，情況開始好轉(zhuǎn)，外部客戶逐漸增多。

ASML后來加強全球合作。光學(xué)部件和光源來自專業(yè)伙伴，公司把精力放在系統(tǒng)整合上。通過客戶反饋和多次迭代，設(shè)備逐步適應(yīng)大規(guī)模生產(chǎn)需求。海金克強調(diào)，這種從原型到量產(chǎn)的路走了幾十年，靠的是持續(xù)積累和優(yōu)化。

相比之下，中國企業(yè)的做法讓海金克覺得特別。上海微電子裝備公司2002年成立后，就主攻整機集成研發(fā)。他們調(diào)動產(chǎn)業(yè)鏈資源，以綜合實力強的主體為核心推進突破。

華為過去主要做通信和芯片設(shè)計，沒直接管過制造設(shè)備。2021年前后通過投資進入相關(guān)環(huán)節(jié)，2023年在上海設(shè)立研發(fā)中心，聯(lián)動多家研究所攻具體部件。通信領(lǐng)域的精密控制經(jīng)驗直接用到設(shè)備模塊上，設(shè)計參數(shù)快速轉(zhuǎn)化成優(yōu)化方向。

中國企業(yè)有獨特動力。海金克指出，ASML預(yù)見到這種發(fā)展態(tài)勢。管制措施本來想限制，結(jié)果反而讓本土企業(yè)獲得積累經(jīng)驗的機會。中國市場巨大，不會消失，本土設(shè)備在成熟節(jié)點上穩(wěn)步推進，驗證效率比以前高很多。

海金克觀察到，目前全球只有荷蘭、日本和中國企業(yè)還在開展光刻機整機制造研發(fā)。尼康和佳能曾經(jīng)憑借服務(wù)優(yōu)勢主導(dǎo)過市場，但ASML后來靠技術(shù)迭代實現(xiàn)反超。中國企業(yè)則通過資源集中方式，在設(shè)備能力上縮短了部分驗證周期。

上海微電子裝備的設(shè)備已經(jīng)實現(xiàn)部分交付，在成熟工藝節(jié)點保持穩(wěn)定表現(xiàn)。28納米浸沒式原型機進入驗證優(yōu)化階段，與下游產(chǎn)線開展匹配測試。這種產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同不同于ASML早期較為孤立的研發(fā)路徑。

華為持續(xù)推進通信、設(shè)計與制造的一體化。目標(biāo)是構(gòu)建完整科技集團，把上游設(shè)備環(huán)節(jié)打通。這種垂直模式讓信息傳遞更順暢，資源調(diào)動更高效。海金克認(rèn)為，這股集中勁頭是ASML四十年來少見的。

產(chǎn)業(yè)競爭進入新階段。中國企業(yè)在DUV設(shè)備上發(fā)力明顯，通過多重曝光等技術(shù)保持競爭力。海金克提到，ASML的主要擔(dān)憂不是短期收入，而是中國不斷積累實際經(jīng)驗，為下一代改進打基礎(chǔ)。

當(dāng)前格局仍在演進。ASML憑借技術(shù)壁壘維持領(lǐng)先，但中國企業(yè)的努力正推動本土供應(yīng)鏈多元化。海金克繼續(xù)追蹤這些動態(tài)，他的訪談為理解全球半導(dǎo)體競爭提供了參考。

這場較量遠沒有結(jié)束。中國企業(yè)把資源集中起來的方式，正在讓設(shè)備驗證環(huán)節(jié)更快落地。ASML的積累是漫長的，中國企業(yè)則在特定環(huán)境下展現(xiàn)出不同節(jié)奏。產(chǎn)業(yè)未來取決于各方如何平衡合作與競爭。