前沿導(dǎo)讀

美國(guó)議員提出一項(xiàng)全新的法案來(lái)打擊中國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)，該法案命名為“硬件技術(shù)控制多邊協(xié)調(diào)法案”（match法案），禁止荷蘭ASML、日本東京電子、美國(guó)應(yīng)用材料、科磊等企業(yè)向中國(guó)芯片制造商提供或缺的制造設(shè)備。只要是那些中國(guó)企業(yè)高度依賴(lài)進(jìn)口，并且本土企業(yè)無(wú)法制造出來(lái)的技術(shù)設(shè)備，美國(guó)企業(yè)及盟友企業(yè)均不允許向中國(guó)企業(yè)提供。

然后針對(duì)現(xiàn)有的光刻機(jī)禁令繼續(xù)升級(jí)，ASML制造的浸潤(rùn)式光刻機(jī)不允許提供給中國(guó)大陸地區(qū)的企業(yè)，并且還要限制相關(guān)企業(yè)對(duì)中國(guó)已采購(gòu)設(shè)備進(jìn)行售后維護(hù)工作。

參考資料：
美國(guó)為限制中國(guó)又盯上阿斯麥，荷蘭政府：不便評(píng)論別國(guó)法案

制裁升級(jí)

此前美國(guó)對(duì)光刻機(jī)設(shè)備下達(dá)的禁令是禁止EUV對(duì)華出口，而且是完全體的出口管制，就算是美國(guó)、韓國(guó)企業(yè)在中國(guó)大陸地區(qū)建設(shè)的芯片合資工廠，也不允許獲得EUV設(shè)備。

在禁止EUV出口的期間，老款的浸潤(rùn)式DUV光刻機(jī)還可以繼續(xù)出口給中國(guó)企業(yè)。中國(guó)企業(yè)也因此向ASML下達(dá)了大量采購(gòu)訂單，ASML中國(guó)區(qū)業(yè)務(wù)的營(yíng)收占比開(kāi)始增高。

隨后美國(guó)又下令，禁止NXT:2000i及以上浸潤(rùn)式光刻機(jī)的對(duì)華出口，差一些的NXT:1980i還可以出口。

2023年，在華為發(fā)布了mate60系列產(chǎn)品之后，美國(guó)針對(duì)浸潤(rùn)式DUV光刻機(jī)的禁令開(kāi)始升級(jí)，禁止中國(guó)大陸地區(qū)本土晶圓廠獲得NXT:1970i及以上設(shè)備。

雖然政府出臺(tái)了出口管制條例，但是在2023年年底之前，ASML得益于此前獲得的出口許可，可以繼續(xù)履行交付義務(wù)，只允許向中國(guó)大陸地區(qū)的成熟芯片工廠交付浸潤(rùn)式光刻機(jī)，先進(jìn)工廠則是被完全禁止。

在光刻機(jī)設(shè)備上，美國(guó)對(duì)中國(guó)企業(yè)嚴(yán)防死守。一邊持續(xù)收緊出口管制，壓制中國(guó)自主技術(shù)發(fā)展，一邊又適當(dāng)調(diào)整出口管制條例，讓中國(guó)企業(yè)獲得部分老舊設(shè)備去制造傳統(tǒng)成熟芯片。

在對(duì)光刻機(jī)實(shí)施出口管制的同時(shí)，美國(guó)還拉攏日本企業(yè)一起實(shí)施出口管制。日本企業(yè)雖然在上世紀(jì)被美國(guó)實(shí)施制裁，壓制了本土制造技術(shù)的發(fā)展，但是日本企業(yè)在芯片設(shè)備、制造材料等領(lǐng)域具有顯著優(yōu)勢(shì)。

日本東京電子具有完整的刻蝕產(chǎn)品線，其看家技術(shù)就是低溫刻蝕設(shè)備。該設(shè)備是制造存儲(chǔ)芯片的重要設(shè)備之一，采用低溫技術(shù)來(lái)控制化學(xué)反應(yīng)，保護(hù)光刻膠并實(shí)現(xiàn)高深寬比。

此次美國(guó)新提議的match法案，就將日本東京電子的低溫刻蝕機(jī)劃入對(duì)華出口管制的清單當(dāng)中。除東京電子之外，美國(guó)應(yīng)用材料以及泛林科技所推出的高端刻蝕機(jī)設(shè)備也已經(jīng)被納入到對(duì)華制裁的清單當(dāng)中。

定向打擊

match法案計(jì)劃將中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)、長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)、華虹集團(tuán)、華為這5家中國(guó)本土企業(yè)列入重點(diǎn)受出口管制的企業(yè)名單，對(duì)這5家中國(guó)企業(yè)實(shí)施更加嚴(yán)格的全面出口管制。

中芯國(guó)際與華虹集團(tuán)是中國(guó)大陸地區(qū)規(guī)模最大的兩家晶圓廠，長(zhǎng)江存儲(chǔ)和長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)是中國(guó)大陸地區(qū)最大的閃存和內(nèi)存制造商，而華為則是中國(guó)老牌的通訊企業(yè)和消費(fèi)電子企業(yè)，并且還橫跨了通訊技術(shù)、集成電路設(shè)計(jì)、ai算力這三大核心技術(shù)板塊。這5家企業(yè)相當(dāng)于是中國(guó)晶圓制造、中國(guó)存儲(chǔ)器制造、中國(guó)消費(fèi)電子技術(shù)的門(mén)面。

除以上5家中國(guó)企業(yè)之外，美國(guó)還將大量中國(guó)本土的設(shè)備制造商列入出口管制清單，包括了中微公司、北方華創(chuàng)、盛美半導(dǎo)體、上海微電子等具備自主技術(shù)的設(shè)備企業(yè)。

在實(shí)施出口管制的同時(shí)，美國(guó)還要求日本、荷蘭等國(guó)家的企業(yè)在設(shè)備維護(hù)與技術(shù)支持上面進(jìn)行限制。禁止為那些被列入實(shí)體清單的中國(guó)本土企業(yè)提供產(chǎn)品的售后服務(wù)與技術(shù)扶持，而那些沒(méi)有被列入實(shí)體清單的企業(yè)還可以繼續(xù)建立合作。

從此次match法案的規(guī)劃來(lái)看，美國(guó)重點(diǎn)關(guān)注的項(xiàng)目就是光刻機(jī)以及刻蝕機(jī)這兩大產(chǎn)品，并且將中國(guó)大陸地區(qū)5家規(guī)模較大、發(fā)展勢(shì)頭強(qiáng)勁、業(yè)務(wù)板塊清晰的中國(guó)企業(yè)列入全面制裁清單，其意圖很明顯，那就是拖慢中國(guó)企業(yè)從成熟工藝向先進(jìn)工藝前進(jìn)的速度，同時(shí)還遏制中國(guó)本土企業(yè)在存儲(chǔ)芯片上面的產(chǎn)能擴(kuò)張。

不過(guò)此次法案影響最大的政策還是禁止外部企業(yè)為中國(guó)已購(gòu)設(shè)備提供售后服務(wù)，這波及的范圍很廣泛，甚至可以覆蓋到中國(guó)企業(yè)在幾十年前采購(gòu)的老舊設(shè)備。

芯片制造設(shè)備本質(zhì)上就是消費(fèi)級(jí)工業(yè)設(shè)備，也是需要定期進(jìn)行技術(shù)維護(hù)，更換內(nèi)部耗材。如果技術(shù)維護(hù)與耗材服務(wù)全部暫停，那么必然會(huì)影響設(shè)備的制造效率。

單純的新設(shè)備禁運(yùn)不可怕，國(guó)內(nèi)企業(yè)還能依靠后續(xù)的自主設(shè)備頂上來(lái)，但是禁止海外企業(yè)對(duì)中國(guó)已購(gòu)設(shè)備進(jìn)行售后服務(wù)，這對(duì)于花費(fèi)資金采購(gòu)設(shè)備的中國(guó)企業(yè)來(lái)說(shuō)非常不公平，這是一種不講商業(yè)誠(chéng)信的行為。

在上個(gè)月剛剛結(jié)束的上海半導(dǎo)體展會(huì)當(dāng)中，半年賣(mài)9臺(tái)光刻機(jī)的日本尼康在展會(huì)中還高調(diào)表示要深耕中國(guó)市場(chǎng)，為中國(guó)企業(yè)提供二手的DUV光刻機(jī)、提供技術(shù)服務(wù)、提供翻新服務(wù)、提供安裝移機(jī)等特殊扶持政策，依靠中國(guó)市場(chǎng)重返業(yè)務(wù)巔峰。

北方華創(chuàng)、中微公司、上海微電子、盛美半導(dǎo)體這些被美國(guó)制裁的中國(guó)設(shè)備企業(yè)，均在展會(huì)當(dāng)中展示出了自家強(qiáng)有力的產(chǎn)品陣營(yíng)，并且這些國(guó)產(chǎn)設(shè)備都具備自主可控性。

盡管部分設(shè)備要比美日企業(yè)的產(chǎn)品落后一些，但是國(guó)產(chǎn)制造設(shè)備正在成為中國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)的一道護(hù)城河，未來(lái)的導(dǎo)向也一定是以采用國(guó)產(chǎn)設(shè)備為核心，避免被外國(guó)企業(yè)卡脖子。