作者| 侯旭

編輯| 汪戈伐

這兩天，新凱來站在半導(dǎo)體行業(yè)的了聚光燈下。

10月15日，深圳灣芯展開幕首日，新凱來展臺(tái)被圍得水泄不通。觀眾席地而坐，緊盯大屏上循環(huán)播放的芯片制造科普視頻；在社交平臺(tái)上，“光刻機(jī)是否亮相”成為熱議話題。

不過，盡管最終未見光刻機(jī)的蹤影，但新凱來子公司萬里眼發(fā)布的90GHz超高速實(shí)時(shí)示波器，以及啟云方推出的兩款全自主EDA設(shè)計(jì)軟件，仍被官方稱為“意想不到的驚喜”。

新凱來雖未涉足光刻機(jī)整機(jī)研制，卻通過覆蓋前道工藝與量測設(shè)備的全鏈條產(chǎn)品矩陣，以及旗下子公司在EDA軟件與高端測試儀器領(lǐng)域的突破，展現(xiàn)出“集團(tuán)軍式”國產(chǎn)替代的模式。

或許，與其追逐光刻機(jī)的象征意義，更務(wù)實(shí)的還是關(guān)注在刻蝕、薄膜沉積、量檢測等關(guān)鍵環(huán)節(jié)的實(shí)質(zhì)性進(jìn)展——這可能才是國產(chǎn)替代更現(xiàn)實(shí)、更可持續(xù)的路徑。

新凱來成立于2021年，由深圳市國資委全資控股，注冊資本15億元，其戰(zhàn)略定位并非聚焦于光刻機(jī)這一高曝光度設(shè)備，而是瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體制造中同樣關(guān)鍵但長期被忽視的工藝與量測環(huán)節(jié)。

可以說，盡管未涉足光刻機(jī)研發(fā)，但新凱來已悄然建立起覆蓋半導(dǎo)體制造前道核心工藝的設(shè)備體系。

在本次灣芯展上，新凱來以中國名山命名的設(shè)備系列——武夷山（刻蝕）、峨眉山（外延沉積）、阿里山（原子層沉積）、普陀山（物理氣相沉積）等，并非概念模型展示，而是已完成客戶驗(yàn)證、部分進(jìn)入量產(chǎn)階段的工程化產(chǎn)品。

其中，刻蝕是芯片制造中“圖形轉(zhuǎn)移”的關(guān)鍵步驟，技術(shù)門檻極高。新凱來的武夷山系列刻蝕設(shè)備采用電容耦合等離子體技術(shù)，實(shí)現(xiàn)射頻全鏈路自主可控，能夠滿足三維復(fù)雜結(jié)構(gòu)的精細(xì)調(diào)控需求。

在薄膜沉積領(lǐng)域，阿里山ALD設(shè)備支持12英寸晶圓的高深寬比金屬柵極沉積，普陀山PVD設(shè)備則通過高離化等離子體技術(shù)提升金屬填孔質(zhì)量。

這些設(shè)備雖尚未全面對標(biāo)國際頂尖水平，但在28納米及以上成熟制程中已具備替代能力。

另外，公司在量檢測設(shè)備的突破尤為關(guān)鍵。據(jù)華金證券數(shù)據(jù)，長期以來，該領(lǐng)域國產(chǎn)化率不足5%，高度依賴美國科磊（KLA）等廠商。新凱來推出的岳麓山（光學(xué)檢測）、赤壁山（X射線量測）等系列產(chǎn)品，已在部分產(chǎn)線實(shí)現(xiàn)交付。

新凱來量測裝備負(fù)責(zé)人曾表示，其核心零部件已全部實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化，每一項(xiàng)突破都曾被視為“難以逾越的高山”。

總而言之，新凱來這種“多點(diǎn)布局、協(xié)同驗(yàn)證”的策略，正是應(yīng)對海外風(fēng)險(xiǎn)的有效手段。事實(shí)上，單一設(shè)備性能達(dá)標(biāo)并不足以替代整條產(chǎn)線，唯有多個(gè)環(huán)節(jié)設(shè)備同步國產(chǎn)化，才能實(shí)現(xiàn)工藝匹配與良率穩(wěn)定。

可以說，新凱來通過覆蓋擴(kuò)散、刻蝕、沉積、檢測四大環(huán)節(jié)，初步構(gòu)建了局部產(chǎn)線的國產(chǎn)閉環(huán)能力，為下游晶圓廠提供了可落地的替代方案。

新凱來的戰(zhàn)略縱深不僅體現(xiàn)在硬件設(shè)備，更延伸至軟件與測試儀器。其子公司啟云方發(fā)布的兩款EDA設(shè)計(jì)軟件，宣稱性能較國際標(biāo)桿提升30%，可縮短硬件開發(fā)周期40%。

盡管EDA市場仍由Cadence、Synopsys等三巨頭主導(dǎo)（國元證券數(shù)據(jù)顯示，2024年國產(chǎn)化率僅18.52%），但啟云方聚焦高端PCB與系統(tǒng)級設(shè)計(jì)，已在2萬名工程師中落地應(yīng)用，填補(bǔ)了國產(chǎn)工業(yè)軟件在復(fù)雜電路協(xié)同設(shè)計(jì)領(lǐng)域的空白。

另一子公司萬里眼則攻克了高端示波器“卡脖子”難題。其90GHz超高速實(shí)時(shí)示波器，帶寬突破《瓦森納協(xié)議》60GHz禁運(yùn)線，性能較國產(chǎn)原有水平提升500%，據(jù)央視新聞報(bào)道，已在全球同類產(chǎn)品中位列第二。

天風(fēng)證券研報(bào)顯示，2020至2024年，中國高端示波器進(jìn)口占比長期高于85%，而萬里眼的產(chǎn)品已在華為、上海交大等機(jī)構(gòu)測試應(yīng)用，標(biāo)志著電子測量儀器國產(chǎn)化邁出關(guān)鍵一步。

可以發(fā)現(xiàn)，新凱來這種“母公司主攻設(shè)備、子公司補(bǔ)強(qiáng)軟硬兩端”的模式，形成了覆蓋設(shè)計(jì)、制造、測試的半導(dǎo)體生態(tài)圈。

同時(shí)，新凱來深度嵌入大灣區(qū)產(chǎn)業(yè)網(wǎng)絡(luò)：深圳市政府設(shè)立50億元集成電路產(chǎn)業(yè)基金，重點(diǎn)支持其所在的關(guān)鍵環(huán)節(jié)；深圳市發(fā)改委數(shù)據(jù)顯示，2024年深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)規(guī)模達(dá)2564億元（同比增長26.8%），2025年上半年再增16.9%。

隨著潤鵬半導(dǎo)體12英寸產(chǎn)線投產(chǎn)，本地晶圓制造能力提升，有望為新凱來設(shè)備提供首批驗(yàn)證場景，推動(dòng)“設(shè)計(jì)—制造—設(shè)備”本地閉環(huán)加速形成。

顯然，國產(chǎn)半導(dǎo)體行業(yè)的真正突破，不在口頭話術(shù)中的“彎道超車”，而在對技術(shù)規(guī)律的尊重與對產(chǎn)業(yè)生態(tài)的深耕。新凱來雖無光刻機(jī)，卻以系統(tǒng)性布局正在證明：務(wù)實(shí)推進(jìn)成熟制程設(shè)備國產(chǎn)化，同樣是支撐中國芯片產(chǎn)業(yè)自主可控的堅(jiān)實(shí)路徑。

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