近日

清華SIGS副教授李星輝團隊的科研項目

在全國發(fā)明展覽會上斬獲金獎

這項讓工業(yè)母機擁有“納米慧眼”的突破

相當于以地球直徑為基準進行比擬

能清晰探測到約一粒花生米的細微變動

這一“神技”讓微觀尺度的極限精準測量

不再遙不可及！

近日，第二十九屆全國發(fā)明展覽會在石家莊國際會展中心（正定）舉辦，清華SIGS副教授李星輝團隊的參展項目“原子級精度多維光柵干涉儀”榮獲金獎。

團隊代表崔璨（左五）作為北京展團金獎代表上臺領(lǐng)獎

原子級精度光柵干涉儀的突破，標志著工業(yè)精密測量進入新階段。面向集成電路、高端儀器和原子級制造等“十五五”規(guī)劃重點布局領(lǐng)域，李星輝團隊開發(fā)了原子級、多維度、外差式的光柵干涉儀，通過設(shè)計“零死區(qū)”的光學測量原理，突破了原有技術(shù)中“精度-維度-集成”無法兼得的瓶頸，攻克了衍射光柵加工、光機系統(tǒng)集成、GHz級解算電路和高功率雙頻光源四大難題，搭建了全流程自主研發(fā)的工程樣機。該技術(shù)如同為高端工業(yè)母機賦予了可洞察微觀的“慧眼”，在百毫米量程下實現(xiàn)0.1納米的測量精度。這一精度尺度若以地球直徑（約12742公里）為基準進行比擬，相當于能夠清晰探測到約一?；ㄉ椎募毼⒆儎?，意味著微觀尺度的極限精準測量將成為可能。

李星輝團隊成員在與評委專家溝通交流

相關(guān)成果申請發(fā)明專利30余項，連續(xù)獲得國家自然科學基金等項目資助，在國內(nèi)頭部企業(yè)進行落地驗證，并獲得《麻省理工科技評論》等權(quán)威媒體報道。李星輝為該項目的第一發(fā)明者，清華大學為唯一完成單位。

項目概況和獲獎證書

全國發(fā)明展覽會由中國發(fā)明協(xié)會組織舉辦，被稱為“中國科技發(fā)明第一展”。首屆全國發(fā)明展覽會于1985年10月9日在北京開幕，迄今為止已成功舉辦29屆，已經(jīng)成為國內(nèi)發(fā)明領(lǐng)域規(guī)格最高、影響力最大的展覽會之一，是國內(nèi)以發(fā)明創(chuàng)新為主題的大型科技展會。本屆展會以“發(fā)明創(chuàng)新，引領(lǐng)數(shù)字經(jīng)濟發(fā)展”為主題，參展項目涵蓋了智能制造、生物醫(yī)藥、綠色科技、民生服務(wù)等多個領(lǐng)域。

祝賀獲獎團隊！

上百顆“火種”誕生！這場大賽如何促成產(chǎn)學研用“最佳CP”？

清華SIGS兩個團隊，雙雙一等獎！

祝賀清華SIGS學子！全國特等獎！

文/圖|李星輝 崔璨

編輯|吳鴻瑤

審核|聶曉梅 林洲璐 葉思佳

排版|胡靜雯