近日

清華SIGS副教授李星輝團(tuán)隊(duì)的科研項(xiàng)目

在全國(guó)發(fā)明展覽會(huì)上斬獲金獎(jiǎng)

這項(xiàng)讓工業(yè)母機(jī)擁有“納米慧眼”的突破

相當(dāng)于以地球直徑為基準(zhǔn)進(jìn)行比擬

能清晰探測(cè)到約一?；ㄉ椎募?xì)微變動(dòng)

這一“神技”讓微觀尺度的極限精準(zhǔn)測(cè)量

不再遙不可及！

近日，第二十九屆全國(guó)發(fā)明展覽會(huì)在石家莊國(guó)際會(huì)展中心（正定）舉辦，清華SIGS副教授李星輝團(tuán)隊(duì)的參展項(xiàng)目“原子級(jí)精度多維光柵干涉儀”榮獲金獎(jiǎng)。

團(tuán)隊(duì)代表崔璨（左五）作為北京展團(tuán)金獎(jiǎng)代表上臺(tái)領(lǐng)獎(jiǎng)

原子級(jí)精度光柵干涉儀的突破，標(biāo)志著工業(yè)精密測(cè)量進(jìn)入新階段。面向集成電路、高端儀器和原子級(jí)制造等“十五五”規(guī)劃重點(diǎn)布局領(lǐng)域，李星輝團(tuán)隊(duì)開(kāi)發(fā)了原子級(jí)、多維度、外差式的光柵干涉儀，通過(guò)設(shè)計(jì)“零死區(qū)”的光學(xué)測(cè)量原理，突破了原有技術(shù)中“精度-維度-集成”無(wú)法兼得的瓶頸，攻克了衍射光柵加工、光機(jī)系統(tǒng)集成、GHz級(jí)解算電路和高功率雙頻光源四大難題，搭建了全流程自主研發(fā)的工程樣機(jī)。該技術(shù)如同為高端工業(yè)母機(jī)賦予了可洞察微觀的“慧眼”，在百毫米量程下實(shí)現(xiàn)0.1納米的測(cè)量精度。這一精度尺度若以地球直徑（約12742公里）為基準(zhǔn)進(jìn)行比擬，相當(dāng)于能夠清晰探測(cè)到約一?；ㄉ椎募?xì)微變動(dòng)，意味著微觀尺度的極限精準(zhǔn)測(cè)量將成為可能。

李星輝團(tuán)隊(duì)成員在與評(píng)委專家溝通交流

相關(guān)成果申請(qǐng)發(fā)明專利30余項(xiàng)，連續(xù)獲得國(guó)家自然科學(xué)基金等項(xiàng)目資助，在國(guó)內(nèi)頭部企業(yè)進(jìn)行落地驗(yàn)證，并獲得《麻省理工科技評(píng)論》等權(quán)威媒體報(bào)道。李星輝為該項(xiàng)目的第一發(fā)明者，清華大學(xué)為唯一完成單位。

項(xiàng)目概況和獲獎(jiǎng)證書(shū)

全國(guó)發(fā)明展覽會(huì)由中國(guó)發(fā)明協(xié)會(huì)組織舉辦，被稱為“中國(guó)科技發(fā)明第一展”。首屆全國(guó)發(fā)明展覽會(huì)于1985年10月9日在北京開(kāi)幕，迄今為止已成功舉辦29屆，已經(jīng)成為國(guó)內(nèi)發(fā)明領(lǐng)域規(guī)格最高、影響力最大的展覽會(huì)之一，是國(guó)內(nèi)以發(fā)明創(chuàng)新為主題的大型科技展會(huì)。本屆展會(huì)以“發(fā)明創(chuàng)新，引領(lǐng)數(shù)字經(jīng)濟(jì)發(fā)展”為主題，參展項(xiàng)目涵蓋了智能制造、生物醫(yī)藥、綠色科技、民生服務(wù)等多個(gè)領(lǐng)域。

祝賀獲獎(jiǎng)團(tuán)隊(duì)！

上百顆“火種”誕生！這場(chǎng)大賽如何促成產(chǎn)學(xué)研用“最佳CP”？

清華SIGS兩個(gè)團(tuán)隊(duì)，雙雙一等獎(jiǎng)！

祝賀清華SIGS學(xué)子！全國(guó)特等獎(jiǎng)！

文/圖|李星輝 崔璨

編輯|吳鴻瑤

審核|聶曉梅 林洲璐 葉思佳

排版|胡靜雯