散英魂寄千萬雄鷹翱翔神州，

盡智魄載十億慧芯呼喚華夏。

01

前沿導(dǎo)讀

荷蘭半導(dǎo)體觀察者、《新鹿特丹商報》科技專欄記者馬克·海金克在接受觀察者網(wǎng)采訪時表示：

中國區(qū)業(yè)務(wù)對ASML來說非常重要，美國的持續(xù)出口限制，損害了ASML的經(jīng)濟(jì)利益，不過我認(rèn)為ASML最擔(dān)憂的壓根就不是經(jīng)濟(jì)上面的損失，而是中國本土競爭對手的崛起。

中國空缺出來的光刻機(jī)市場，將會被中國本土企業(yè)接手，盡管中國企業(yè)的設(shè)備沒有ASML那么頂尖，但是中國企業(yè)可以在發(fā)展中持續(xù)積累經(jīng)驗，這是至關(guān)重要的一方面，而且中國企業(yè)還會獲得更多的資金來打造國產(chǎn)設(shè)備。

在開發(fā)先進(jìn)的國產(chǎn)DUV光刻機(jī)上面，中國企業(yè)已經(jīng)取得了顯著的技術(shù)進(jìn)步，但距離大規(guī)模應(yīng)用還有一段時間，未來的中國芯片會變得越來越自立自強(qiáng)。

參考資料： 馬克·海金克：獨家對話|“對于中國市場，這才是阿斯麥的主要擔(dān)憂” https://www.guancha.cn/xinzhiguanchasuo/2024_11_05_754180.shtml

02

產(chǎn)業(yè)短板

在談?wù)摰街袊陂_發(fā)自主光刻機(jī)上所暴露出來的問題時，海金克指出：

ASML能成功，核心因素是這個公司只專注于制造光刻機(jī)這一件事，并且為了這一件事積累了40多年的技術(shù)經(jīng)驗，這種極高的專注力造就了ASML如今的光刻機(jī)統(tǒng)治者地位。并且ASML的光刻機(jī)遍布全球晶圓廠，這些國際客戶為ASML貢獻(xiàn)了大量使用數(shù)據(jù)，這些數(shù)據(jù)讓ASML不斷優(yōu)化產(chǎn)品。

將目光放在中國企業(yè)身上，中國本土晶圓廠一直都是以采購ASML的設(shè)備為主，ASML的設(shè)備技術(shù)成熟，效率高，可以大批量制造特定的芯片產(chǎn)品。

據(jù)ASML官方財報顯示，2024年以及2025年ASML的中國區(qū)業(yè)務(wù)依然強(qiáng)勁，甚至在2024年第三季度，中國市場為ASML貢獻(xiàn)了總營收的48%，是ASML的國際第一大客戶市場。雖然中國對進(jìn)口光刻機(jī)的需求一直居高不下，但中國本土的自主技術(shù)也在持續(xù)推動。

EUV光刻機(jī)被持續(xù)封鎖，中國企業(yè)只能用所持有的ASML DUV光刻機(jī)去制造先進(jìn)芯片。盡管這種方法的經(jīng)濟(jì)性較差，但確實可以解決先進(jìn)芯片的短缺問題。

美國的出口管制，讓中國企業(yè)被迫走上自立自強(qiáng)的技術(shù)道路。采購ASML的設(shè)備并不是長久的打算，打造國產(chǎn)技術(shù)的先進(jìn)光刻機(jī)是中國企業(yè)的最終目標(biāo)。

中國企業(yè)制造了全球?qū)⒔种坏膫鹘y(tǒng)成熟芯片，是成熟芯片的全球第一大供應(yīng)商。采購ASML的光刻機(jī)使用，一方面可以保證成熟芯片的產(chǎn)能，為全球產(chǎn)業(yè)提供基礎(chǔ)芯片，另一方面也可以在使用ASML光刻機(jī)的過程中逐步學(xué)習(xí)技術(shù)經(jīng)驗。

ASML的某些設(shè)備被禁止運送到中國市場上，而中國企業(yè)采購設(shè)備所預(yù)留的資金，也自然而然的放在了本土企業(yè)身上，推動自主技術(shù)發(fā)展。

現(xiàn)在的中國企業(yè)已經(jīng)具備了在光刻機(jī)研發(fā)上面的專注性、清晰的技術(shù)路線以及充裕的資源投入，構(gòu)建出一條屬于中國技術(shù)的產(chǎn)業(yè)模式。

03

產(chǎn)業(yè)融合

在ASML創(chuàng)立的時候，全球范圍內(nèi)有多個光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)的競爭者，其中包括了美國GCA、珀金埃爾默、日本的佳能、尼康等企業(yè)。但是在隨后的競爭當(dāng)中，ASML打敗了所有人，成為了該產(chǎn)業(yè)唯一的贏家。

其成功的因素一方面是與國際產(chǎn)業(yè)的深度合作，其中包括了加入美國EUV LLC技術(shù)聯(lián)盟、收購美國硅谷集團(tuán)、收購美國西盟公司、出售股權(quán)換取蔡司入股等政策。另一方面就是ASML堅持技術(shù)研發(fā)，通過后續(xù)的力量反超競爭對手。

中國的光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)，與當(dāng)年ASML的產(chǎn)業(yè)路線如出一轍。

根據(jù)清華大學(xué)與長春光機(jī)所發(fā)布的官方新聞表示，2016年，清華大學(xué)通過了光刻機(jī)雙工件臺系統(tǒng)樣機(jī)的研發(fā)項目驗證，長春光機(jī)所也在這一年中通過了極紫外光刻原理裝置的驗證。

該技術(shù)裝置由長春、成都、上海三家光機(jī)所參與研發(fā)，中科院微電子所、北京理工大學(xué)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)等高校聯(lián)合進(jìn)行技術(shù)攻堅，預(yù)計最快到十五五規(guī)劃結(jié)束的2030年，實現(xiàn)EUV光刻機(jī)整機(jī)的國產(chǎn)化制造。

參考資料： 綜合新聞----中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所 http://www.ciomp.ac.cn/xwdt/zhxw/201611/t20161130_4713258.html

早在2008年的時候，我國就將DUV以及EUV光刻技術(shù)列入“32-22nm裝備技術(shù)前瞻性研究”的重點推進(jìn)項目。當(dāng)時已經(jīng)量產(chǎn)商用的國際光刻機(jī)技術(shù)為干式技術(shù)，先進(jìn)的浸潤式和EUV均還處于技術(shù)開發(fā)階段。

參考資料： 媒體長光----中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所 http://ciomp.cas.cn/mtcg/201707/t20170711_7929605.html

從技術(shù)立項的時間來看，我國的光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)與國際水平并駕齊驅(qū)。但ASML聚集了歐美、亞洲地區(qū)的技術(shù)資源，背后還有美國資本的推動，率先完成了浸潤式技術(shù)和極紫外技術(shù)的開發(fā)，成為了行業(yè)領(lǐng)先者。

擁有了技術(shù)優(yōu)勢，ASML將先進(jìn)的光刻機(jī)推向市場。從商業(yè)角度來說，相對于花費大量資源自主研發(fā)，直接采購ASML設(shè)備是最穩(wěn)妥的選擇，這也極大減緩了中國自主光刻機(jī)的研發(fā)進(jìn)度。

在美國實施出口管制之后，切斷了中國與國際產(chǎn)業(yè)鏈的合作，迫使中國企業(yè)將目光重點放在了自主技術(shù)的開發(fā)上。在大環(huán)境的推動下，逐步走向自立自強(qiáng)。

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