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光刻機(jī)巨頭開始慌了,中國造不成光刻機(jī),但是要造一個(gè)光刻工廠!

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說起半導(dǎo)體這塊,荷蘭的ASML公司一直是大哥大,靠賣極紫外光刻機(jī)賺得盆滿缽滿,這些機(jī)器是做高端芯片的必備家伙。結(jié)果最近幾年,美國那邊搞出口管制,ASML有點(diǎn)坐不住了,尤其是看到中國不走尋常路,不是死磕單臺機(jī)器,而是直接上馬建大工廠,這事兒讓巨頭們心里直打鼓。

ASML公司老總彼得·溫寧克從2023年開始就公開表態(tài),說美國主導(dǎo)的出口限制會逼中國自己搞定光刻技術(shù)。他在2023年1月的財(cái)報(bào)會上就直言,中國人聰明著呢,有那么多工程師,總能找出繞過壁壘的法子。那時(shí)候,中國客戶已經(jīng)占ASML銷售額的15%,丟了這塊市場,營收得大打折扣。溫寧克不是隨便說說,公司數(shù)據(jù)在那擺著,中國訂單直接拉動(dòng)增長,要是沒了,麻煩大了。



接著,2023年4月,他接受路透社采訪,又強(qiáng)調(diào)政治干預(yù)會拖累整個(gè)行業(yè)。要是繼續(xù)限出口,中國就自產(chǎn)設(shè)備,不僅砸ASML的飯碗,還讓西方丟掉技術(shù)優(yōu)勢。第一季度中國出貨占比不小,需求火熱。他反復(fù)說,西方想通過禁技術(shù)轉(zhuǎn)移把中國隔離,結(jié)果中國自研勁頭更大,吃虧的還是自己。

下半年,2023年9月,他在論壇上直接點(diǎn)明,完全切斷中國技術(shù)聯(lián)系沒門,這種隔離只會刺激中國創(chuàng)新,中國人才多,能找出專利外的新路。出口管制耽誤了些訂單,但中國客戶總有辦法維持生產(chǎn)。公司2023年全年?duì)I收276億歐元,中國占29%,第三季度升至46%。這些話基于財(cái)務(wù)現(xiàn)實(shí),中國訂單堆著,推高營收,但也藏著風(fēng)險(xiǎn),中國一旦本土化,ASML銷量就滑坡。

2023年10月,他又說美國新限制影響對華銷售15%,但中國對成熟技術(shù)需求強(qiáng)。公司發(fā)現(xiàn)有些產(chǎn)品本來荷蘭規(guī)則不管,美國一變就卡住。他覺得忽略中國市場規(guī)模是長遠(yuǎn)隱患,中國需求拉動(dòng)全球產(chǎn)能。公司在中國裝的設(shè)備超千臺,需要維護(hù),這成維系關(guān)系的籌碼。要是維護(hù)也限,中國自研會更快,比如在光源和光學(xué)上發(fā)力。



這些年,ASML從自信變警覺,溫寧克的話成行業(yè)信號,影響政策和公司調(diào)整。公司加碼中國本地服務(wù)團(tuán)隊(duì),應(yīng)對沖擊。他還提中國半導(dǎo)體基金超千億美元,這不只抬高需求,還加速本土研發(fā)。公司股價(jià)波動(dòng),投資者重看供應(yīng)鏈穩(wěn)不穩(wěn)。他的觀點(diǎn)用數(shù)據(jù)和案例撐腰,提中國人才和創(chuàng)新潛力,說隔離沒用,只會讓中國更強(qiáng)。

2024年1月,他在股東會上說技術(shù)共享是行業(yè)進(jìn)步必需,過度限會冒出對手。公司報(bào)告顯示,2023年中國訂單 backlog 幫了大忙,但未來競爭猛。2024年4月24日,他退休,接班人是克里斯托夫·富凱,原首席運(yùn)營官。退休前最后財(cái)報(bào)會上,他總結(jié)過去十年和中國合作貢獻(xiàn)營收,但以后環(huán)境更激烈。

他的離開標(biāo)志ASML新階段,繼續(xù)對付地緣因素。退休后,公司還面對中國壓力。2024年,美國限部分中國設(shè)備維護(hù),不能用美國零件,這不影響收益,但長遠(yuǎn)是信號。富凱上臺后,公司預(yù)計(jì)2025年中國銷售降到20%,但實(shí)際需求強(qiáng),第三季度占42%。公司否認(rèn)是囤貨,說是政策和宏觀需求。2025年10月15日,公司報(bào)告凈銷售75億歐元,全年預(yù)計(jì)增長15%,靠先進(jìn)芯片和AI投資頂著,但中國部分會下滑,到2026年更明顯。



中國這邊,光刻領(lǐng)域卡在專利上,尤其是光源小型化,國外設(shè)計(jì)難抄。清華大學(xué)從2017年起組隊(duì),專攻穩(wěn)態(tài)微聚束極紫外光源。2021年,完成初步試驗(yàn),用1.064微米激光調(diào)制,脈沖寬度0.8到3納秒,峰值功率22千瓦。

2022年,推出功率超1千瓦方案,測試光學(xué)腔,穩(wěn)定鎖定4小時(shí),效率56%。這技術(shù)用環(huán)形加速器產(chǎn)13.5納米輻射,能供多臺設(shè)備,形成大生產(chǎn)體系,占地幾百平方米,中國地大,不愁地方,就這么繞過小型化難題。

SSMB EUV思路是用大加速器做光源,帶多臺光刻機(jī),建超大規(guī)模工廠。光刻像打印,荷蘭賣打印機(jī),但中國精密部件難造,那就建印刷廠,一個(gè)大光源管多條線,夠用就行,不賣設(shè)備,純基建。清華團(tuán)隊(duì)2024年和德國合作,相位鎖定實(shí)驗(yàn)推進(jìn)。2025年7月24日,在極紫外光刻膠上進(jìn)展,開發(fā)聚碲酮基材料,提高分辨率和敏感度,國內(nèi)KrF/ArF光刻膠自產(chǎn)率不到5%,EUV全進(jìn)口,這步幫大忙。

國家層面,2025年2月11日,投370億歐元,支持本土極紫外光刻系統(tǒng)。錢瞄準(zhǔn)破ASML壟斷,系統(tǒng)2025年第三季度試產(chǎn),2026年批量。華為在東莞測部件,結(jié)合自研芯片。2023年8月29日,華為Mate60系列上市,用中芯國際7nm芯片,靠DUV多重曝光搞定,證明成熟節(jié)點(diǎn)自給,沒用EUV,但秀出繞彎子能力。手機(jī)支持5G,性能超預(yù)期,讓外界見識中國半導(dǎo)體韌性。



這些進(jìn)展擠壓ASML份額。中國不再全靠進(jìn)口,自主路寬。ASML 2025年預(yù)計(jì)中國占25%以上,但長遠(yuǎn)本土設(shè)備上,巨頭影響力弱。公司呼吁調(diào)出口政策,保合作,別丟市場。中國用大工廠模式,縮小差距,技術(shù)沒全超,但速度快,決心足。半導(dǎo)體其他突破如華為手機(jī),超想象,推動(dòng)行業(yè)。

ASML從2023年擔(dān)憂,到2025年銷售調(diào)整,中國從追趕到大投資,步步實(shí)。未來,中國EUV系統(tǒng)變量,格局變。ASML新老板得應(yīng)對,中國本土化白熱化,但也可能生新機(jī)會。說白了,這不是誰贏誰輸,技術(shù)擴(kuò)散擋不住,靠限沒用。

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