天津
（全球TMT2025年12月10日訊）Imec首次成功在300毫米晶圓上采用EUV光刻技術(shù)制造晶圓級(jí)固態(tài)納米孔。納米孔技術(shù)被譽(yù)為基因組學(xué)和蛋白質(zhì)組學(xué)的變革者，但迄今為止，固態(tài)納米孔因存在變異性和集成難題，始終未能實(shí)現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)。這項(xiàng)創(chuàng)新將納米孔技術(shù)從實(shí)驗(yàn)室規(guī)模的概念轉(zhuǎn)化為可擴(kuò)展的平臺(tái)，適用于生物傳感、基因組學(xué)和蛋白質(zhì)組學(xué)領(lǐng)域。
其采用EUV光刻技術(shù)在300毫米晶圓上實(shí)現(xiàn)了晶圓級(jí)制造，制備出尺寸小至約10納米的納米孔，且在整個(gè)晶圓上具有高度均勻性。 該制造工藝有潛力實(shí)現(xiàn)小于5納米孔徑，隨著工藝集成技術(shù)的進(jìn)一步改進(jìn)，有望取得更大突破。
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