電性失效分析設(shè)備發(fā)展至今已有40年歷史，此設(shè)備引入中國(guó)亦已接近20余年。除去大家耳熟能詳?shù)娜毡緸I松，近年來(lái)行業(yè)內(nèi)發(fā)展不斷加速，也涌現(xiàn)出了一大批新生勢(shì)力。本文將分成以下幾個(gè)部分。

1.簡(jiǎn)述電性失效分析設(shè)備

2.市場(chǎng)空間討論

3.行業(yè)內(nèi)設(shè)備廠商介紹

（注：本文的信息皆來(lái)源于公開(kāi)招標(biāo)和業(yè)內(nèi)人士調(diào)研，如有失誤，望請(qǐng)海涵。）

概括：

電性失效分析為細(xì)分高壁壘市場(chǎng)，產(chǎn)品為中紅外，近紅外相關(guān)高端光學(xué)儀器，主要服務(wù)半導(dǎo)體、泛半導(dǎo)體行業(yè)。電性失效分析中國(guó)市場(chǎng)空間約為5億人民幣附近，未來(lái)預(yù)計(jì)將維持在這一份額。

電性失效分析廠商主要背景分為兩類：科學(xué)儀器開(kāi)發(fā)商和前代理商獨(dú)立后自研品牌，目前第一梯隊(duì)品牌全部為前者，例如日本濱松，美國(guó)賽默飛等。國(guó)產(chǎn)品牌中凌光紅外已經(jīng)建立較大優(yōu)勢(shì)。

一、電性失效分析設(shè)備

簡(jiǎn)而言之，主要分為鎖相紅外（后稱Thermal），微光顯微鏡（后稱EMMI），激光誘導(dǎo)電阻變化檢測(cè)設(shè)備（后稱Obirch）。其中鎖相紅外又分為制冷（中波紅外），非制冷（長(zhǎng)波紅外）兩種。

三類方法的基本原理和區(qū)別如下表：

二、市場(chǎng)空間

根據(jù)筆者調(diào)研，中國(guó)大陸電性失效分析設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模在5億人民幣左右，主要市場(chǎng)被第一梯隊(duì)玩家瓜分，包括日本濱松、美國(guó)賽默飛、國(guó)產(chǎn)凌光紅外、新加坡Semicaps，客戶主要為晶圓廠、三方實(shí)驗(yàn)室、大型設(shè)計(jì)公司等半導(dǎo)體行業(yè)客戶。

由于國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)周期疊加國(guó)內(nèi)玩家進(jìn)入市場(chǎng)加劇競(jìng)爭(zhēng)等不利因素，電性失效分析設(shè)備市場(chǎng)面臨需求放緩和價(jià)格下滑的風(fēng)險(xiǎn)，但良好的競(jìng)爭(zhēng)同樣推動(dòng)相關(guān)高值設(shè)備向泛半導(dǎo)體及電子行業(yè)普及，有效對(duì)沖市場(chǎng)萎縮，長(zhǎng)期來(lái)看，筆者預(yù)計(jì)中國(guó)大陸電性失效分析設(shè)備將持續(xù)維持5億人民幣左右市場(chǎng)規(guī)模。

不利因素：

-中國(guó)大陸半導(dǎo)體設(shè)備支出保持高位但進(jìn)入緩步下降周期

根據(jù)SEMI2024年9月發(fā)布的《300mm晶圓廠2027年展望報(bào)告（300mm Fab Outlook Report to 2027）》，2025年到2027年，全球300mm晶圓廠設(shè)備支出預(yù)計(jì)將達(dá)到創(chuàng)紀(jì)錄的4000億美元，預(yù)計(jì)全球300mm晶圓廠設(shè)備支出預(yù)計(jì)從2024年的993億美元增長(zhǎng)至2027年的1408億美元。而中國(guó)預(yù)期在2027年仍將保持其作為全球300mm設(shè)備支出第一的地位，未來(lái)三年將投資超過(guò)1000億美元。然而，預(yù)計(jì)投資將從2024年的450億美元峰值逐漸減少到2027年的310億美元。電性失效分析設(shè)備作為晶圓廠建設(shè)的必備實(shí)驗(yàn)室設(shè)備之一，其市場(chǎng)周期與晶圓廠設(shè)備支出周期保持一致。

全球300mm晶圓廠設(shè)備支出

-國(guó)產(chǎn)替代導(dǎo)致高端設(shè)備售價(jià)下滑

由于以凌光紅外為代表的國(guó)產(chǎn)設(shè)備廠商打入半導(dǎo)體客戶，近年電性失效分析設(shè)備呈現(xiàn)持續(xù)下降趨勢(shì)。在日本與美國(guó)廠商壟斷市場(chǎng)時(shí)期，單臺(tái)電性失效分析設(shè)備價(jià)格曾高達(dá)100多萬(wàn)美金，隨著國(guó)產(chǎn)化率提升，目前市場(chǎng)設(shè)備平均價(jià)格已較高峰期下降超過(guò)15%。

對(duì)沖因素：

-設(shè)備價(jià)格下探推動(dòng)更多行業(yè)客戶采購(gòu)制冷型高值設(shè)備

由于國(guó)產(chǎn)設(shè)備普及，近年設(shè)備市場(chǎng)呈現(xiàn)出更多泛半導(dǎo)體及電子行業(yè)客戶采購(gòu)制冷型失效分析設(shè)備的趨勢(shì)，過(guò)去這類客戶對(duì)制冷型設(shè)備的性能具有強(qiáng)烈需求，但高昂的價(jià)格限制多數(shù)客戶的購(gòu)買需求，客戶只能退而求其次選擇低端非制冷機(jī)型或者擱置采購(gòu)計(jì)劃，如今高性價(jià)比的設(shè)備讓更多客戶能夠選擇制冷型設(shè)備，擴(kuò)大整體市場(chǎng)的需求量。

三、廠商一覽（半導(dǎo)體+ 高端制造）

1.Hamamatsu Photonics（日本濱松光子）

濱松自1987年推出首臺(tái)產(chǎn)品，迄今已有37年歷史。21世紀(jì)初，濱松和復(fù)旦大學(xué)推出失效分析聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室，將第一臺(tái)Phemos系列設(shè)備引入了中國(guó)，從此打開(kāi)整個(gè)行業(yè)。可以說(shuō)濱松在電性失效分析行業(yè)中是類似于足球界皇家馬德里的存在。

濱松的產(chǎn)品系列較為完全，其分成Phemos，iPhemos，Dual-Phemos數(shù)個(gè)系列。2023年濱松Thermal F1系列和Phemos 1000系列停產(chǎn)，PhemosX系列成為了最常見(jiàn)的貨架產(chǎn)品，其可以配備單獨(dú)EMMI、單獨(dú)Obirch、單獨(dú)Thermal或二合一雙功能或三合一三功能。此外倒置iPhemos，正置+倒置Dual-Phemos系列以及動(dòng)態(tài)失效分析系列。值得一提的是濱松在2025年新推出了TD-Imaging基于反射測(cè)溫的失效點(diǎn)定位功能，目前尚未打開(kāi)市場(chǎng)，值得期待。

在歷史裝機(jī)量方面，到2025年底，濱松仍然保有了中國(guó)第一的位置。根據(jù)公開(kāi)披露的信息，濱松服務(wù)的客戶包括勝科納米，閎康檢測(cè)，季豐電子，廣州賽寶，甬江實(shí)驗(yàn)室等第三方實(shí)驗(yàn)室，亦包括數(shù)個(gè)頭部的晶圓廠。

綜合來(lái)看，濱松可謂當(dāng)之無(wú)愧的行業(yè)老大，依靠?jī)?yōu)秀的日本供應(yīng)鏈和長(zhǎng)期技術(shù)積累，在行業(yè)內(nèi)保持了近30年的領(lǐng)先身位。

2.Thermofisher（TFS美國(guó)賽默飛、美國(guó)）

賽默飛是人盡皆知的世界科學(xué)儀器巨頭，歷來(lái)以并購(gòu)聞名。TFS的電性失效分析儀器可謂是一條長(zhǎng)長(zhǎng)的并購(gòu)歷史。20年的發(fā)展用一句話表述為：TFS 收購(gòu)FEI 收購(gòu) DCG 收購(gòu)Hypervision。在這其中，DCG時(shí)代是電性失效分析設(shè)備完成研發(fā)，推向市場(chǎng)的核心時(shí)段。2016年，隨著賽默飛豪擲40億美元收購(gòu)著名電子顯微鏡公司FEI，DCG隨著“娘家”一起加入了賽默飛，成為了全產(chǎn)品線上的一環(huán)。

賽默飛的產(chǎn)品主要分為Elite和Meridian兩個(gè)系列。Elite主要為單獨(dú)的Thermal機(jī)臺(tái)，而Meridian為倒置的EMMI，Obirch機(jī)臺(tái)。Meridian又分為Meridians和Meridian，同時(shí)也可以配備動(dòng)態(tài)失效分析系統(tǒng)。

作為濱松強(qiáng)有力的挑戰(zhàn)者，賽默飛的Thermal系列在推入中國(guó)可謂是大獲全勝。除去廈門閎康早期配備的Hamamatsu Thermo Mini機(jī)臺(tái)以外，2019 - 2024年間各頭部第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)例如閎康檢測(cè)，季豐電子，勝科納米，蘇試宜特皆選擇了Elite型號(hào)作為其Thermal設(shè)備。此外，賽默飛的Meridian動(dòng)態(tài)失效分析方案系列也得到了大量客戶認(rèn)可，在頭部晶圓廠中作為首選方案。至于EMMI/Obirch系列，因?yàn)槠錄](méi)有正置機(jī)臺(tái)，在絕大多數(shù)競(jìng)爭(zhēng)中處于下風(fēng)。

3.凌光紅外（中國(guó)）

凌光紅外是一家三位復(fù)旦校友成立的創(chuàng)業(yè)公司，是近年來(lái)電性失效分析行業(yè)的新軍，成立于2021年12月。公司專注于電性失效分析全系列解決方案。據(jù)悉凌光的創(chuàng)始人為90后，公司目前融資5輪，發(fā)展至近70人。

凌光紅外的產(chǎn)品線涵蓋了Thermal，EMMI，Obirch全系列。目前公司已經(jīng)公開(kāi)發(fā)布的包括Thermo 100（Thermal），InGaAs 100（EMMI），LaserSight 100（Obirch）等。此外，凌光也推出了主打性價(jià)比的Thermo/InGaAs 50系列，服務(wù)于半導(dǎo)體以外的板級(jí)，電子制造行業(yè)。根據(jù)最新信息，凌光紅外目前沒(méi)有EMMI/Obirch二合一機(jī)臺(tái)。

凌光紅外在近兩年市場(chǎng)上的表現(xiàn)較為搶眼，其Thermo 100系列大有替代原先王者Elite之勢(shì)。根據(jù)公開(kāi)信息，閎康檢測(cè)，季豐電子，西測(cè)檢測(cè)，美信檢測(cè)等頭部三方實(shí)驗(yàn)室和多個(gè)晶圓廠已經(jīng)購(gòu)買多臺(tái)。值得一提的是，近期凌光紅外發(fā)布了Obirch系列產(chǎn)品，并且已經(jīng)和EMMI一同在廣州賽寶完成裝機(jī)。

作為一家新生代公司，凌光紅外在4年內(nèi)已經(jīng)從零完成了Thermal，EMMI，Obirch設(shè)備的研發(fā)和生產(chǎn)，發(fā)展速度令人驚喜。尤其是Obirch系列，被進(jìn)口廠商一度稱為國(guó)產(chǎn)無(wú)法突破的設(shè)備之一。隨著凌光加入高端桌，電性失效分析的進(jìn)口壟斷格局有望發(fā)生改變。

4.Semicaps（新加坡Semicaps）

Semicaps成立于1989年，是在新加坡國(guó)立大學(xué)中孵化的一家專注于失效分析技術(shù)和設(shè)備的企業(yè)，目前公司有30余人。公司目前專注于先進(jìn)制程的半導(dǎo)體失效分析解決方案。Semicaps是一家完全立足于電性失效分析細(xì)分領(lǐng)域的企業(yè)，

Semicaps的產(chǎn)品線和濱松類似，靜態(tài)主要有PEM/SOM（EMMI/Obirch）和THM（Thermal）系列，也有倒置式動(dòng)態(tài)失效分析。

相比于前兩家，Semicaps在國(guó)內(nèi)銷量相對(duì)有限。2024年其公司銷售額為全球6500萬(wàn)人民幣，25年預(yù)計(jì)為全球一億元人民幣。其PEM/SOM系列根據(jù)公開(kāi)招標(biāo)信息，在科研單位和軍工企業(yè)有較多銷售記錄，例如西安**子所，華芯檢測(cè)，**四所，美信檢測(cè)等。Thermal系列在國(guó)內(nèi)基本沒(méi)有銷售。相比其口碑一般的靜態(tài)設(shè)備，其動(dòng)態(tài)失效分析系統(tǒng)據(jù)稱已經(jīng)在數(shù)家世界頭部芯片公司完成交付。

Semicaps于本年11月爆出被中國(guó)某上市公司收購(gòu)的新聞。不知道未來(lái)是否會(huì)從一家新加坡廠商轉(zhuǎn)變?yōu)榧儑?guó)產(chǎn)廠商。

四、廠商一覽（泛半導(dǎo)體+ 其他）

5.Optotherm（美國(guó)，立特為智能）

Optotherm公司總部位于美國(guó)匹茲堡，公司成立于2002年，專注于研發(fā)失效分析相關(guān)設(shè)備。相比于上述四家服務(wù)半導(dǎo)體行業(yè)相比，Optotherm立足于板級(jí)客戶，公司主要產(chǎn)品為長(zhǎng)波非制冷紅外設(shè)備。

Optotherm產(chǎn)品主要為Sentris系列非制冷紅外，服務(wù)板級(jí)，電子制造行業(yè)。其在華南的知名消費(fèi)電子廠商及供應(yīng)鏈內(nèi)有較多裝機(jī)。公司的制冷Thermal和EMMI系列在市場(chǎng)上信息缺乏。

6.臺(tái)灣宇創(chuàng)

宇創(chuàng)視覺(jué)科技股份有限公司最早為日本濱松在臺(tái)灣地區(qū)代理，后開(kāi)始開(kāi)發(fā)自有品牌，早年間在宜特，廣州賽寶等實(shí)驗(yàn)室有成交記錄。目前唯一代理商為儀準(zhǔn)科技。

臺(tái)灣宇創(chuàng)產(chǎn)品主要包括EMMI（P100），其產(chǎn)品在科研所行業(yè)有數(shù)臺(tái)交付。2024年臺(tái)灣儀準(zhǔn)推出了Obirch，性能未知。

7.Quantum Focus Instrument（美國(guó)QFI）

QFI公司來(lái)自美國(guó)加州，成立于1997年，著眼于紅外顯微鏡的設(shè)計(jì)加工。近10年，QFI也推出了失效分析設(shè)備Thermal，EMMI，Obirch系列。QFI在菲律賓設(shè)有辦公室，服務(wù)亞洲客戶。

QFI公司的產(chǎn)品線包括Thermal，EMMI，Obirch及三合一。然而此類設(shè)備在中國(guó)交付數(shù)量過(guò)少，根據(jù)內(nèi)部人士透露僅有西南某大廠配備了此設(shè)備。相比失效分析設(shè)備，QFI的紅外顯微測(cè)溫設(shè)備在中國(guó)各個(gè)科研單位有一定量裝機(jī)，例如廣州賽寶，**四所等。因此，公司重心并不在失效分析領(lǐng)域。

8.卓譜微（中國(guó)）

如果說(shuō)賽默飛是一條長(zhǎng)長(zhǎng)的并購(gòu)線，卓普微則正好反過(guò)來(lái)，是一條長(zhǎng)長(zhǎng)的獨(dú)立之旅。卓譜微成立于2024年，其前身來(lái)源于EDA公司鴻之微旗下的三方檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室泓準(zhǔn)達(dá)檢測(cè)，泓準(zhǔn)達(dá)檢測(cè)孵化出“奧義”產(chǎn)品線。據(jù)悉25年11月卓普微完成了天使輪融資。卓譜微技術(shù)核心團(tuán)隊(duì)亦來(lái)源于泓準(zhǔn)達(dá)檢測(cè)，創(chuàng)始人據(jù)悉為新毅東前董秘，有較強(qiáng)資本運(yùn)作能力，公司整體團(tuán)隊(duì)十余人。

卓譜微的產(chǎn)品主要有Thermal（奧義Rthermo）和EMMI系列。其設(shè)備裝機(jī)量較少，奧義設(shè)備主要客戶有泓準(zhǔn)達(dá)實(shí)驗(yàn)室，海爾。根據(jù)內(nèi)部人士透露，奧義系列產(chǎn)品的來(lái)源為數(shù)年前某日本進(jìn)口品牌國(guó)產(chǎn)化的嘗試。其產(chǎn)品奧義公開(kāi)發(fā)布于2021年12月，是最早發(fā)布的國(guó)產(chǎn)Thermal機(jī)臺(tái)（此時(shí)芯鑒未發(fā)布制冷紅外類設(shè)備，凌光紅外未成立），可惜在后續(xù)的發(fā)展中被后來(lái)居上。此外，2025年，卓譜微轉(zhuǎn)型探卡測(cè)試和多個(gè)半導(dǎo)體檢測(cè)儀器，開(kāi)始進(jìn)軍多個(gè)行業(yè)。

9.芯鑒半導(dǎo)體（中國(guó)）

芯鑒半導(dǎo)體位于無(wú)錫，由江南大學(xué)微電子系閆大為教授成立。閆教授是中國(guó)最早一批開(kāi)始研究失效分析設(shè)備的學(xué)者，在實(shí)驗(yàn)室中攻克了多項(xiàng)失效分析技術(shù)。

芯鑒半導(dǎo)體產(chǎn)品包括非制冷Thermal和EMMI以及低頻噪聲測(cè)試系統(tǒng)等。主要服務(wù)于高?？蒲袌F(tuán)體。

10.致晟光電（中國(guó)）

致晟光電（前名集智方成），由Optotherm旗下的二級(jí)經(jīng)銷商研發(fā)自主品牌后脫離成立。據(jù)悉其創(chuàng)始人分別來(lái)源于前蘋果供應(yīng)鏈采購(gòu)和前Optotherm應(yīng)用工程師。后于2024年引入了南京理工大學(xué)光學(xué)教授增強(qiáng)研發(fā)能力，定位為國(guó)產(chǎn)高端電子失效分析設(shè)備品牌。

致晟光電產(chǎn)品包括，Thermal，EMMI以及非制冷Thermal。根據(jù)其公開(kāi)資料，致晟光電的Thermal，EMMI的核心性能超越了一眾進(jìn)口品牌，其也掌握了Obirch相關(guān)的“光束檢測(cè)核心技術(shù)”。值得矚目的是，致晟光電于近期多次在院所，學(xué)校的公開(kāi)類投標(biāo)中以超低價(jià)格（半價(jià)于投標(biāo)廠商）拿到訂單，公司急于搶占市場(chǎng)空間的意圖較為明顯。

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