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90%光刻膠被日本壟斷,若斷供我們?cè)趺崔k?

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90%的光刻膠被日本壟斷,如果他們斷供,我們?cè)撛趺崔k?

買過光刻機(jī)的朋友都知道,光刻膠非常重要。

哪怕沒有最先進(jìn)的EUV光刻機(jī),DUV光刻機(jī)也行,再不濟(jì)使用二手的都行。



但是沒有光刻膠的話就慘了,不管你是什么光刻機(jī),都工作不了。

而且光刻膠的保質(zhì)期就幾個(gè)月。

想靠囤貨根本不行,最后都爛到家里了。

更可怕的是,全球光刻膠市場,90%以上的份額都被日本壟斷。

光刻膠,顧名思義就是一種膠水,但這種膠水可不一般,它是一種特殊的感光材料。



在硅片上均勻涂抹一層光刻膠,然后用光透過掩膜版去照射它,被光照到的地方會(huì)發(fā)生變化。

之后再進(jìn)行一系列的蝕刻清洗工作,掩膜版上的電路圖案就會(huì)轉(zhuǎn)移到硅片上。

在芯片制造的整個(gè)流程中,光刻工藝占到了40%-50%的時(shí)間。

就算是非常牛X的EUV光刻機(jī),沒有相應(yīng)的光刻膠,最后精度也達(dá)不到要求。



韓國三星集團(tuán)CEO就曾表示:“如果光刻機(jī)缺少了光刻膠,那么光刻機(jī)就是一堆廢鐵。”

光刻膠根據(jù)曝光波長不同,分為g譜線、i譜線、KrF、ArF和EUV五代。

制程越先進(jìn),波長越短,就越能實(shí)現(xiàn)更精細(xì)的電路圖案。

而在高端光刻膠方面,目前主要由日本公司壟斷。

比如日本東京應(yīng)化,JSR,住友化學(xué),信越化學(xué)等企業(yè),他們掌握了全球半導(dǎo)體光刻膠市場90%左右的份額。



在半導(dǎo)體材料方面,前段工序常用的材料一共19種。

其中14種都由日本企業(yè)主導(dǎo)。

不同制程的光刻機(jī),對(duì)應(yīng)著不同波長的光線,就得使用不同種類的光刻膠。

再加上光刻膠的保質(zhì)期只有6個(gè)月,靠囤貨肯定是不行的。



2019年日韓貿(mào)易爭端,日本突然宣布對(duì)出口韓國的三種關(guān)鍵半導(dǎo)體材料實(shí)施管制,其中就包括光刻膠,結(jié)果導(dǎo)致三星的芯片良率只有10%~20%,狗見了都搖頭。

那如果日本對(duì)我們斷供光刻膠,影響有多大?

據(jù)2024年中國光刻膠市場規(guī)模數(shù)據(jù)顯示,國產(chǎn)化率不足5%,即絕大部分依賴進(jìn)口,而進(jìn)口部分中日本占比超過一半。

2023年中國從日本進(jìn)口感光化學(xué)品(光刻膠為主)占比約50–54%。



論復(fù)雜性,光刻膠肯定是比不上光刻機(jī)的,中國當(dāng)然也能造。

此前就有公開資料顯示,在中端KrF光刻膠領(lǐng)域,國產(chǎn)化率正在飛速提升,預(yù)計(jì)2025年可達(dá)35%以上。

在使用國產(chǎn)光刻膠的情況下,南大光電等企業(yè)已實(shí)現(xiàn)28nm制程量產(chǎn),芯片良率不輸于日本光刻膠。

至于ArF光刻膠,也有小批量驗(yàn)證通過,部分進(jìn)入頭部晶圓廠供應(yīng)鏈。



中國計(jì)劃2026年國產(chǎn)化率達(dá)40%,國家大基金第二期優(yōu)先支持光刻膠等關(guān)鍵材料,頭部晶圓廠也主動(dòng)驗(yàn)證國產(chǎn)替代。

國內(nèi)多家企業(yè),比如容大感光、晶瑞電材、彤程新材等已實(shí)現(xiàn)從樹脂到成品的全鏈條自主,成本較進(jìn)口低15%-20%。

雖然目前EUV光刻膠國內(nèi)暫時(shí)處于空白,但至少能滿足絕大部分芯片需求。

再者,如果日本敢做初一,中國絕對(duì)有能力做十五。

因?yàn)槿毡竟饪棠z的原材料非常依賴中國。



光刻膠的生產(chǎn)和儲(chǔ)存,以及半導(dǎo)體硅片的提煉,都離不開高純度石英砂。

而中國掌握了全球62%的高純石英砂供應(yīng)。

沒有中國的石英砂,日本連盛放光刻膠的特種玻璃瓶都造不出來,更別提硅片生產(chǎn)用的石英坩堝了。

同時(shí),日本芯片產(chǎn)業(yè)也高度依賴從中國進(jìn)口的電子級(jí)氫氟酸、光引發(fā)劑中間體等原料。



特種氟化物,中國占全球48%;光引發(fā)劑中間體,中國占全球55%。

至于鎵,鍺,鏑、鋱等半導(dǎo)體材料所需的稀土元素,還用多說么?

一旦中國切斷上游原材料供應(yīng),日本的光刻膠乃至整個(gè)半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)將面臨“無米下鍋”的絕境。

所以,中日半導(dǎo)體材料供應(yīng)鏈,其實(shí)已經(jīng)形成了“相互卡脖子”的局面。

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