在全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)里，西方此前一直有一種說(shuō)法：EUV光刻機(jī)，是中國(guó)永遠(yuǎn)跨不過(guò)去的一道坎。但這種說(shuō)法，最近幾年正在被越來(lái)越多的西方專(zhuān)業(yè)人士悄悄修正。在前央視英文頻道主持人楊銳的一次訪談中，荷蘭專(zhuān)業(yè)記者、半導(dǎo)體長(zhǎng)期觀察者馬克·海金克給出了一個(gè)判斷——如果按技術(shù)演進(jìn)邏輯推演，大約10年之后，中國(guó)有可能制造出自己的EUV光刻機(jī)，達(dá)到ASML目前的技術(shù)水平。這不是情緒判斷，而是站在產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)、工程難度和現(xiàn)實(shí)路徑上的冷靜分析。

PART.01

EUV不是“突然出現(xiàn)”的神話

很多人以為，ASML的EUV是某個(gè)天才工程師靈光一閃的產(chǎn)物。事實(shí)上恰恰相反。EUV技術(shù)起源于上世紀(jì)80年代，真正商業(yè)化，發(fā)生在2018年之后，從概念驗(yàn)證到穩(wěn)定量產(chǎn)，用了將近40年。

ASML之所以能壟斷EUV，并不是因?yàn)樗斆鳎且驗(yàn)樗禾崆敖壎斯庠矗–ymer）、掌控了反射光學(xué)（蔡司）、構(gòu)建了全球最復(fù)雜的系統(tǒng)集成能力。

EUV不是一臺(tái)機(jī)器，而是一個(gè)由數(shù)十萬(wàn)個(gè)零部件組成的工程體系。正如海金克所說(shuō)：“把這些部件真正整合在一起，本身就是人類(lèi)工程史上最困難的事情之一?！?/p>

PART.02

逆境中的涅槃

2017年，中國(guó)客戶向ASML采購(gòu)光刻設(shè)備金額達(dá)到7億歐元， 2018年，中芯國(guó)際正式簽署EUV采購(gòu)協(xié)議，金額約1.2億美元。這是中國(guó)大陸首臺(tái)EUV設(shè)備。當(dāng)時(shí)ASML內(nèi)部并非反對(duì)交付，甚至認(rèn)為這是“商業(yè)上完全合理的行為”。

真正改變局勢(shì)的，是美國(guó)的系統(tǒng)性干預(yù)，多輪施壓荷蘭政府，最終讓EUV交付被叫停。這一決定，并不是基于技術(shù)風(fēng)險(xiǎn)，而是基于一句話：不能讓中國(guó)掌握下一代制造能力。

EUV被封鎖后，中國(guó)沒(méi)有坐等解禁，而是被迫選擇了一條成本更高、工程更復(fù)雜的路線：DUV + 多重曝光。這是一條“用工程換技術(shù)”的道路。海金克給出過(guò)一個(gè)非?，F(xiàn)實(shí)的成本對(duì)比：EUV路線：光刻：30%，后端設(shè)備：70%。DUV多重曝光路線：光刻：20%，后端設(shè)備：80%。

換句話說(shuō)，中國(guó)必須在刻蝕、沉積、清洗、量測(cè)等后端設(shè)備上全面補(bǔ)課。而事實(shí)是中國(guó)真的補(bǔ)上來(lái)了。

過(guò)去幾年，中國(guó)本土設(shè)備企業(yè)的變化是實(shí)打?qū)嵉模褐形⒐荆嚎涛g設(shè)備進(jìn)入先進(jìn)制程，北方華創(chuàng)：覆蓋沉積、刻蝕、熱處理，盛美半導(dǎo)體：清洗設(shè)備全球出貨，華海清科、長(zhǎng)川科技：量測(cè)、測(cè)試快速追趕。這些企業(yè)單拎出來(lái)，可能都不是“世界第一”，但拼在一起，已經(jīng)構(gòu)成了一套完整的制造工具鏈。正如海金克評(píng)價(jià)的那樣：“美國(guó)的限制，反而迫使中國(guó)工程師開(kāi)發(fā)屬于自己的半導(dǎo)體工具包?！?/p>

PART.03

未來(lái)可期

理性討論，必須把不足說(shuō)清楚。截至目前，中國(guó)在EUV領(lǐng)域的核心短板依然存在：1.高功率EUV光源穩(wěn)定性不足；2. 超高精度反射鏡制造經(jīng)驗(yàn)不足；3. 系統(tǒng)級(jí)誤差控制能力尚未驗(yàn)證；4. 長(zhǎng)期量產(chǎn)可靠性沒(méi)有數(shù)據(jù)支撐。

換句話說(shuō)：中國(guó)現(xiàn)在還沒(méi)“點(diǎn)亮”真正意義上的EUV生產(chǎn)體系。但問(wèn)題在于——ASML當(dāng)年也花了20多年，才解決這些問(wèn)題。

EUV不是神話，ASML也不是不可逾越的天塹。中國(guó)距離真正的國(guó)產(chǎn)EUV，還有差距，但這條路已經(jīng)被逼著走上去了，而且再也退不回來(lái)了。10年后能不能達(dá)到ASML今天的水平？沒(méi)人能給出確定答案。但可以確定的是——如果這件事發(fā)生，世界半導(dǎo)體格局，將被永久改寫(xiě)。

小小寰球，有幾個(gè)蒼蠅碰壁。嗡嗡叫，幾聲凄厲，幾聲抽泣。螞蟻緣槐夸大國(guó)，蚍蜉撼樹(shù)談何易。正西風(fēng)落葉下長(zhǎng)安，飛鳴鏑。

多少事，從來(lái)急；天地轉(zhuǎn)，光陰迫。一萬(wàn)年太久，只爭(zhēng)朝夕。四海翻騰云水怒，五洲震蕩風(fēng)雷激。要掃除一切害人蟲(chóng)，全無(wú)敵。

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