近期有法國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)分析師在公開(kāi)圈子里直言不諱：別說(shuō)3nm了，就算生產(chǎn)14nm，中國(guó)在閥門與真空系統(tǒng)這些看似邊緣的設(shè)備關(guān)鍵部件上，依然嚴(yán)重依賴歐洲供應(yīng)商，遠(yuǎn)未具備完全自主可控的能力。這種論斷帶有明顯的外媒傲慢色彩——似乎一提中國(guó)芯片技術(shù)落后，先進(jìn)制程就成了唯一話題，但他們將視角轉(zhuǎn)到“閥門與真空系統(tǒng)”上，來(lái)強(qiáng)調(diào)中國(guó)制造的“不可替代性”。

在這類觀點(diǎn)背后，往往是引用歐洲供應(yīng)商在真空子系統(tǒng)市場(chǎng)中的歷史優(yōu)勢(shì)：據(jù)國(guó)際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)（SEMI）早期數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，半導(dǎo)體制造所需的真空泵、真空閥門等子系統(tǒng)，在全球市場(chǎng)中長(zhǎng)期由歐洲廠商占據(jù)主導(dǎo)地位（如Edwards Vacuum、Pfeiffer Vacuum、VAT Group等），這些企業(yè)曾一度貢獻(xiàn)超過(guò)全球60%以上的真空子系統(tǒng)供應(yīng)量。

分析師用這種數(shù)據(jù)來(lái)說(shuō)明，中國(guó)制造在核心零部件領(lǐng)域仍然依賴進(jìn)口，并進(jìn)一步引申為“無(wú)法從歐洲脫鉤”。這種論調(diào)在技術(shù)圈流傳時(shí)，很容易讓不熟悉產(chǎn)業(yè)鏈的讀者產(chǎn)生誤解：認(rèn)為中國(guó)即便是14nm生產(chǎn)線，也離不開(kāi)歐洲這些“小部件”。但事實(shí)是否如此？我們需要理性拆解。

真空系統(tǒng)在芯片制造中的定位是什么？

半導(dǎo)體制造中的真空系統(tǒng)，包括泵、閥門、壓力傳感器等，是為了在晶圓加工中創(chuàng)造極高真空環(huán)境，保證刻蝕、沉積、離子注入等工藝的穩(wěn)定性。而閥門則是控制真空腔體內(nèi)部氣體流向和壓力的核心元件之一。

簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)，沒(méi)有高質(zhì)量、高可靠性的真空系統(tǒng)，就無(wú)法保證芯片制造設(shè)備中關(guān)鍵工藝的執(zhí)行。它看似不起眼，卻是制程良率與穩(wěn)定性的重要支撐。

客觀來(lái)看，歐洲確實(shí)擁有在這一領(lǐng)域歷史悠久的領(lǐng)導(dǎo)者，例如：VAT Group（瑞士真空閥巨頭），全球市場(chǎng)占有率長(zhǎng)期領(lǐng)先，并且其產(chǎn)品在全球前沿晶圓廠中廣泛使用。Edwards Vacuum（英國(guó)真空泵與系統(tǒng)） 及 Pfeiffer Vacuum（德國(guó)真空系統(tǒng)廠商） 等，也在全球真空子系統(tǒng)供應(yīng)中占據(jù)重要位置。

這樣的產(chǎn)業(yè)格局確實(shí)在過(guò)去幾年里形成了高集中度——尤其在高端、超高真空系統(tǒng)領(lǐng)域，歐美廠商長(zhǎng)期憑借技術(shù)積累與規(guī)模優(yōu)勢(shì)主導(dǎo)全球供應(yīng)。

根據(jù)最新產(chǎn)業(yè)市場(chǎng)調(diào)研數(shù)據(jù)：2025年全球及中國(guó)半導(dǎo)體真空閥門市場(chǎng)規(guī)模持續(xù)增長(zhǎng)，中國(guó)市場(chǎng)增速遠(yuǎn)高于全球平均水平，但高端產(chǎn)品的進(jìn)口依賴度仍超過(guò)60%。中國(guó)市場(chǎng)在清洗、檢測(cè)等細(xì)分設(shè)備中已具備一定國(guó)產(chǎn)替代能力。但針對(duì)超高精度閥門與各類真空子系統(tǒng)的高標(biāo)準(zhǔn)、高精度產(chǎn)品，國(guó)產(chǎn)化仍有明顯差距。

因此，與“完全不依賴”相比，中國(guó)確實(shí)在高端閥門、真空泵及其系統(tǒng)方面仍存在進(jìn)口依存，但這種依賴更呈現(xiàn)為“技術(shù)積累與規(guī)模不足導(dǎo)致的階段性差距”，不是“永遠(yuǎn)無(wú)法取代”的宿命。

“歐洲廠商掌握門檻技術(shù)”的論斷，不是空穴來(lái)風(fēng)。歐洲長(zhǎng)期以來(lái)在真空技術(shù)上投入研發(fā)、積累專利與工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，使其在全球擁有品牌和份額優(yōu)勢(shì)。

但這不意味著中國(guó)永遠(yuǎn)無(wú)法突破。依賴進(jìn)口核心零部件，是全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的普遍現(xiàn)象：例如日本在光刻機(jī)部件方面對(duì)荷蘭ASML的依存，美國(guó)對(duì)高精密設(shè)備出口控制等都是類似邏輯。

從供需結(jié)構(gòu)看，中國(guó)市場(chǎng)需求量和投資增速連續(xù)多年保持領(lǐng)先趨勢(shì)，成為全球真空閥門市場(chǎng)增長(zhǎng)最快的區(qū)域之一。換言之，進(jìn)口占比高是一種當(dāng)前產(chǎn)業(yè)鏈成熟度不足的表現(xiàn)，而非技術(shù)宿命論。

值得注意的是，歐洲真空系統(tǒng)供應(yīng)商并非將全部產(chǎn)能留在歐洲，他們大量布局亞洲產(chǎn)線、在中國(guó)及東南亞設(shè)廠或服務(wù)中心，以更貼近客戶生產(chǎn)。 這意味著“供應(yīng)鏈被歐洲控制”理論同樣有局限：全球制造體系本身就是國(guó)際分工的產(chǎn)物，而非簡(jiǎn)單某一方“控制”。

國(guó)產(chǎn)替代需要從以下幾個(gè)方面同步提升：精密制造能力：包括材料科學(xué)、加工精度、潔凈制造等；標(biāo)準(zhǔn)與認(rèn)證體系：高端設(shè)備需通過(guò)晶圓廠的驗(yàn)收與長(zhǎng)期穩(wěn)定性檢驗(yàn)；產(chǎn)業(yè)資本與生態(tài)：需要形成規(guī)模效應(yīng)與上下游協(xié)同創(chuàng)新體系。這不是一句“補(bǔ)貼就能解決”的問(wèn)題，而是產(chǎn)業(yè)體系成熟度的長(zhǎng)期積累。

近年來(lái)中國(guó)設(shè)備制造商在真空子系統(tǒng)相關(guān)領(lǐng)域正加速追趕。例如在干泵、粗真空泵、氣體流量控制組件等細(xì)分環(huán)節(jié)，本土供應(yīng)商已取得較大市場(chǎng)份額，一些產(chǎn)品已經(jīng)進(jìn)入國(guó)內(nèi)晶圓廠供應(yīng)鏈。政府專項(xiàng)資金與產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟也在推動(dòng)國(guó)產(chǎn)零部件研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化。

此外，中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備整體國(guó)產(chǎn)化率也在逐年提升，尤其在刻蝕、沉積等設(shè)備板塊，自主設(shè)備的市占率從過(guò)去的個(gè)位數(shù)上升到20%以上。 這些都顯示出國(guó)產(chǎn)設(shè)備制造的進(jìn)步與市場(chǎng)認(rèn)可。

不過(guò)現(xiàn)實(shí)中仍有幾個(gè)關(guān)鍵瓶頸：高端真空閥門與整體系統(tǒng)集成：歐、美廠商的成熟度與穩(wěn)定性仍難以短時(shí)間超越；技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)與可靠性驗(yàn)證周期長(zhǎng)：晶圓廠對(duì)組件異常敏感，替代周期往往需要更長(zhǎng)時(shí)間積累；全球供應(yīng)鏈依然復(fù)雜：即使國(guó)產(chǎn)產(chǎn)品技術(shù)達(dá)到要求，供應(yīng)鏈配套與服務(wù)能力也需同步提升。

這些短板決定了中國(guó)在高端真空子系統(tǒng)的國(guó)產(chǎn)化路徑仍需時(shí)間與更深層次的技術(shù)積累。

真實(shí)狀況是：中國(guó)在高端零部件與系統(tǒng)集成方面確實(shí)尚需進(jìn)口支持，但這一狀況正在被逐步改變；依賴是產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展階段性的特征，而非永恒的宿命。

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