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荷蘭外相稱中國(guó)用間諜手段獲取光刻機(jī)技術(shù),中方回應(yīng)缺乏事實(shí)依據(jù)

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2026年3月11日,荷蘭外交大臣費(fèi)爾德坎普在議會(huì)辯論中公開表示,中國(guó)通過間諜手段獲取了荷蘭在光刻機(jī)領(lǐng)域的核心技術(shù)。這一表態(tài)迅速引發(fā)國(guó)際輿論關(guān)注,也使荷蘭對(duì)華技術(shù)政策的立場(chǎng)再次成為焦點(diǎn)。



費(fèi)爾德坎普的言論并非孤立事件?;仡欉^去兩年,荷蘭官方針對(duì)中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的指責(zé)呈現(xiàn)逐步升級(jí)的態(tài)勢(shì)。2024年2月,荷蘭國(guó)家網(wǎng)絡(luò)安全中心發(fā)布報(bào)告,稱中國(guó)黑客活動(dòng)對(duì)其軍事網(wǎng)絡(luò)構(gòu)成威脅。



2025年5月,荷蘭國(guó)防部長(zhǎng)在新加坡發(fā)表講話,再次將矛頭指向半導(dǎo)體領(lǐng)域。2026年3月,費(fèi)爾德坎普在議會(huì)中的表態(tài),則是這一系列言論的最新延續(xù)。



從產(chǎn)業(yè)背景來看,荷蘭阿斯麥公司長(zhǎng)期在全球高端光刻機(jī)市場(chǎng)占據(jù)壟斷地位。該公司生產(chǎn)的極紫外光刻機(jī)是制造7納米以下先進(jìn)芯片的核心設(shè)備,由于美國(guó)主導(dǎo)的技術(shù)封鎖政策,阿斯麥被禁止向中國(guó)出口這類設(shè)備。



根據(jù)美國(guó)規(guī)定,只要產(chǎn)品中美國(guó)技術(shù)占比超過25%,出口中國(guó)就需獲得美方許可。阿斯麥的極紫外光刻機(jī)中約27%的核心零件來自美國(guó),因此始終未能獲得對(duì)華出口許可。



中國(guó)市場(chǎng)對(duì)阿斯麥的重要性持續(xù)上升。該公司2024年財(cái)報(bào)顯示,中國(guó)大陸市場(chǎng)貢獻(xiàn)了約101.95億歐元收入,占其全球總營(yíng)收的36.1%,是其最大的單一市場(chǎng)。在深紫外光刻機(jī)領(lǐng)域,中國(guó)大陸獲得了當(dāng)年阿斯麥全球374臺(tái)出貨量中的大部分份額。



這種“市場(chǎng)重要但高端產(chǎn)品被禁”的矛盾局面,使阿斯麥陷入兩難。該公司兩任首席執(zhí)行官均公開反對(duì)出口限制,認(rèn)為過度封鎖只會(huì)倒逼中國(guó)擺脫依賴,最終導(dǎo)致西方失去這一市場(chǎng)。



在荷蘭官員發(fā)表上述言論的同時(shí),中國(guó)在光刻機(jī)領(lǐng)域的技術(shù)進(jìn)展確實(shí)較為明顯。2026年3月,中國(guó)科學(xué)技術(shù)部部長(zhǎng)陰和俊在全國(guó)兩會(huì)上表示,中國(guó)芯片攻關(guān)取得新突破。



據(jù)公開信息,國(guó)產(chǎn)28納米沉浸式深紫外光刻機(jī)已通過全流程驗(yàn)證,進(jìn)入量產(chǎn)交付階段,核心部件國(guó)產(chǎn)化率突破90%。上海微電子作為國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)的主要研制企業(yè),其600系列光刻機(jī)已實(shí)現(xiàn)規(guī)模化量產(chǎn)。



在更先進(jìn)的制程領(lǐng)域,中芯國(guó)際依托國(guó)產(chǎn)深紫外光刻機(jī),通過多重曝光技術(shù)實(shí)現(xiàn)了7納米芯片的穩(wěn)定量產(chǎn),良率據(jù)稱已突破80%。這種工藝路徑是利用現(xiàn)有深紫外光刻設(shè)備對(duì)同一層晶圓進(jìn)行多次曝光,以達(dá)到7納米精度。雖然商業(yè)成本較高,但從技術(shù)驗(yàn)證角度看,證明了中國(guó)企業(yè)在受限條件下的工程能力。



在關(guān)鍵材料和零部件方面,中國(guó)企業(yè)的進(jìn)展同樣可見。南大光電自主研發(fā)的ArF光刻膠已通過國(guó)內(nèi)客戶認(rèn)證并實(shí)現(xiàn)批量供貨。中微公司的5納米刻蝕機(jī)已進(jìn)入臺(tái)積電產(chǎn)線,北方華創(chuàng)的沉積設(shè)備實(shí)現(xiàn)28納米全覆蓋。茂萊光學(xué)、福晶科技等企業(yè)在精密光學(xué)元件領(lǐng)域也取得進(jìn)展。



對(duì)于荷蘭方面的指控,中國(guó)相關(guān)部門予以回應(yīng)。商務(wù)部發(fā)言人在不同場(chǎng)合多次表示,所謂“竊取技術(shù)”的說法缺乏事實(shí)依據(jù),中方反對(duì)無端指責(zé)和污名化行為。從產(chǎn)業(yè)發(fā)展的實(shí)際邏輯來看,光刻機(jī)涉及光學(xué)、機(jī)械、電子、控制算法等多個(gè)尖端領(lǐng)域,其技術(shù)突破需要長(zhǎng)期積累和系統(tǒng)性協(xié)同。



中國(guó)在光刻機(jī)領(lǐng)域的專利積累數(shù)據(jù)顯示,截至2025年,中國(guó)在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域已積累超過2500件專利,覆蓋光源、光學(xué)系統(tǒng)、工作臺(tái)等關(guān)鍵環(huán)節(jié),每一項(xiàng)技術(shù)都有明確的研發(fā)記錄和時(shí)間戳。



從荷蘭方面的指控內(nèi)容來看,其始終未能提供具體證據(jù)。無論是阿斯麥2023年年度報(bào)告中提及的“前中國(guó)員工不當(dāng)獲取信息”,還是費(fèi)爾德坎普在議會(huì)中的發(fā)言,均未說明被竊取的技術(shù)具體內(nèi)容,也未提供能夠證明信息外泄的實(shí)質(zhì)性線索。



有分析指出,如果確實(shí)存在技術(shù)竊取行為,完全可以通過法律途徑維權(quán),但荷蘭方面并未啟動(dòng)相關(guān)程序。



從國(guó)際視角看,全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)格局正在發(fā)生變化。國(guó)際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)的數(shù)據(jù)顯示,中國(guó)在主流半導(dǎo)體制造產(chǎn)能中的份額預(yù)計(jì)到2028年將達(dá)到42%。中國(guó)大陸已連續(xù)六年保持全球第一的半導(dǎo)體設(shè)備投資規(guī)模,2025年投資額超過400億美元。



這種產(chǎn)能擴(kuò)張背后,是全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)分工的延續(xù)。中國(guó)是全球最大的半導(dǎo)體市場(chǎng),每年集成電路進(jìn)口規(guī)模達(dá)數(shù)萬億元。對(duì)于設(shè)備廠商而言,中國(guó)市場(chǎng)是穩(wěn)定訂單的來源。荷蘭政府收緊出口限制,客觀上相當(dāng)于將部分市場(chǎng)份額讓給中國(guó)本土設(shè)備企業(yè)。



上海微電子2025年底中標(biāo)金額接近1.1億元的光刻機(jī)采購(gòu)項(xiàng)目,其SSA800系列28納米浸沒式光刻機(jī)已進(jìn)入國(guó)內(nèi)頭部晶圓廠的產(chǎn)線驗(yàn)證階段。



從技術(shù)發(fā)展路徑來看,中國(guó)在光刻機(jī)領(lǐng)域的積累已持續(xù)二十余年。上海微電子成立于2002年,早期從基礎(chǔ)機(jī)型起步,逐步實(shí)現(xiàn)技術(shù)迭代。中科院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所在深紫外光源技術(shù)上取得突破,檢測(cè)精度達(dá)到納米級(jí)。



哈爾濱工業(yè)大學(xué)在極紫外光源研究中采用放電等離子體方案,與阿斯麥技術(shù)路徑有所不同。這些進(jìn)展是長(zhǎng)期研發(fā)投入的結(jié)果,并非短期內(nèi)可以通過信息獲取實(shí)現(xiàn)。



在知識(shí)產(chǎn)權(quán)保護(hù)方面,世界知識(shí)產(chǎn)權(quán)組織的數(shù)據(jù)顯示,2025年中國(guó)國(guó)際專利申請(qǐng)量達(dá)73718件,居全球首位,其中半導(dǎo)體設(shè)備相關(guān)專利占相當(dāng)比重。這些專利覆蓋了光學(xué)系統(tǒng)、精密機(jī)械、控制系統(tǒng)等多個(gè)領(lǐng)域,構(gòu)成了技術(shù)自主的基礎(chǔ)。



阿斯麥現(xiàn)任首席執(zhí)行官多次表達(dá)對(duì)封鎖政策的擔(dān)憂。他指出,中國(guó)市場(chǎng)占公司營(yíng)收近半,若完全切斷,中國(guó)企業(yè)將加速自主研發(fā),用不了10到15年就可能趕上甚至超過西方。這種判斷基于對(duì)產(chǎn)業(yè)規(guī)律的認(rèn)知:當(dāng)外部供應(yīng)被切斷,內(nèi)部研發(fā)動(dòng)力會(huì)顯著增強(qiáng)。



從更宏觀的視角看,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是一個(gè)相互依存的全球體系。荷蘭擁有阿斯麥,日本在光刻膠等領(lǐng)域占據(jù)優(yōu)勢(shì),美國(guó)在半導(dǎo)體設(shè)備和設(shè)計(jì)工具方面領(lǐng)先,中國(guó)則是最大的消費(fèi)市場(chǎng)和快速成長(zhǎng)的制造基地。任何一個(gè)環(huán)節(jié)的斷裂都會(huì)影響整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈的穩(wěn)定。



對(duì)于荷蘭外相的言論,中國(guó)外交部及駐荷蘭使館均未直接置評(píng)。但在此前多次回應(yīng)中,中方明確表示,中國(guó)在科技領(lǐng)域的進(jìn)步依靠的是自主創(chuàng)新和國(guó)際合作,任何無端指責(zé)都不會(huì)改變這一事實(shí)。中國(guó)一貫遵守國(guó)際規(guī)則和貿(mào)易協(xié)定,反對(duì)將科技問題政治化。

從時(shí)間線上看,荷蘭對(duì)中國(guó)的技術(shù)指責(zé)與中國(guó)光刻機(jī)取得突破的節(jié)點(diǎn)存在一定關(guān)聯(lián)。2024年9月,荷蘭政府宣布擴(kuò)大先進(jìn)半導(dǎo)體制造設(shè)備出口管制范圍,將部分中端深紫外光刻機(jī)也納入限制清單。



2025年底至2026年初,中國(guó)在28納米光刻機(jī)量產(chǎn)和7納米芯片穩(wěn)定生產(chǎn)方面陸續(xù)取得進(jìn)展。這種“突破與限制同步”的節(jié)奏,使荷蘭方面的焦慮情緒有所上升。



綜合來看,荷蘭外相的言論反映出其在面對(duì)中國(guó)技術(shù)進(jìn)步時(shí)的某種心態(tài)。但這種基于主觀判斷的指責(zé)缺乏證據(jù)支持,也與中國(guó)技術(shù)發(fā)展的實(shí)際路徑不符。



中國(guó)在光刻機(jī)領(lǐng)域的進(jìn)展,更多體現(xiàn)為長(zhǎng)期積累和系統(tǒng)突破,而非外界所猜測(cè)的所謂“非常規(guī)獲取”。隨著中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的持續(xù)完善,技術(shù)競(jìng)爭(zhēng)的最終結(jié)果將由市場(chǎng)和產(chǎn)業(yè)規(guī)律決定,而非政治表態(tài)所能左右。





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