文/王新喜

曝出史上最大虧損的尼康光刻機(jī)，要開(kāi)始自救了，要為過(guò)去犯的錯(cuò)誤止損。

我們知道，全球光刻機(jī)的廠商主要是荷蘭ASML，日本的尼康、佳能，以及中國(guó)大陸的上海微電子。ASML一家獨(dú)大，份額高達(dá)85%，佳能大約是10%，尼康是5%，上海微電子的份額為0.2%。

前段時(shí)間，日本尼康曝出2025財(cái)年預(yù)虧850億日元，創(chuàng)下公司歷史上最大虧損紀(jì)錄，盡管尼康解釋是因?yàn)?D打印機(jī)業(yè)務(wù)拖累，但其光刻機(jī)數(shù)據(jù)尤為扎眼，過(guò)去半年僅賣了9臺(tái)，而且賣的幾乎全是成熟制程設(shè)備。

而荷蘭ASML的半年答卷是，僅EUV光刻機(jī)就狂賣20多臺(tái)，總出貨量更高達(dá)160臺(tái)。

2025年9月，尼康就關(guān)閉了運(yùn)營(yíng)58年的橫濱工廠，標(biāo)志著其光刻機(jī)業(yè)務(wù)進(jìn)一步收縮。再按這樣的情況發(fā)展下去，尼康的光刻機(jī)業(yè)務(wù)可能就完蛋了，所以尼康積極自救，在SEMICON China 2026展會(huì)上，尼康明確表示，將加大對(duì)中國(guó)市場(chǎng)的投入，不僅提供更高級(jí)的DUV設(shè)備，還針對(duì)中國(guó)市場(chǎng)推出二手設(shè)備銷售和原廠升級(jí)服務(wù)。

光刻機(jī)對(duì)尼康的重要性不言而喻，尼康不想讓光刻機(jī)業(yè)務(wù)倒閉，中國(guó)市場(chǎng)是它最后的救命稻草。

巨虧850億：既有守舊傲慢的內(nèi)因，又有主動(dòng)加碼制裁中國(guó)的外因

尼康走到今天，9：160的扎心數(shù)據(jù)背后，有ASML市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)因素，也有尼康自己的因素。

尼康押注中國(guó)，因?yàn)槟峥凳俏ǘ碛薪?rùn)式DUV光刻機(jī)的廠商。而佳能和上海微電子差不多，都只有干式DUV的水平。而且在目前，盡管EUV光刻機(jī)被禁了，但中國(guó)依然需要從ASML進(jìn)口浸潤(rùn)式DUV光刻機(jī)。

因此，尼康認(rèn)為自己的機(jī)會(huì)就在這里。而尼康自己也曾經(jīng)栽在浸潤(rùn)式光刻機(jī)。

在ASML之前，尼康、佳能才是老大哥。尼康在1978年完成首臺(tái)半導(dǎo)體光刻機(jī)SR-1，佳能則早在1970年就推出日本第一臺(tái)商用光刻機(jī)PPC-1。

不過(guò)發(fā)展到采用193nm的干式光刻機(jī)的時(shí)候，日系廠商認(rèn)為要繼續(xù)研發(fā)使用波長(zhǎng)更短的光源比如165nm，來(lái)提高光刻分辨率。

但是165nm波長(zhǎng)的光線非常不穩(wěn)定，研究了幾年，大家都沒(méi)進(jìn)展。

轉(zhuǎn)折點(diǎn)發(fā)生在2002年，當(dāng)時(shí)時(shí)任臺(tái)積電資深處長(zhǎng)的林本堅(jiān)，敲開(kāi)尼康的大門。針對(duì)當(dāng)時(shí)193nm干式光刻機(jī)遭遇瓶頸、下一代光源研發(fā)停滯的局面，林本堅(jiān)提出顛覆性設(shè)想：在鏡頭與晶圓之間注入水，借助水的高折射率，一舉突破當(dāng)時(shí)被視為天塹的光源極限。

這就是后來(lái)著名的浸沒(méi)式光刻機(jī)路線，但是被尼康拒絕了。尼康的代表當(dāng)場(chǎng)質(zhì)問(wèn)林本堅(jiān)：“如果水污染了鏡頭，你們臺(tái)積電賠得起嗎？如果氣泡導(dǎo)致批量報(bào)廢，這個(gè)責(zé)任誰(shuí)擔(dān)？”更重要的是，當(dāng)時(shí)尼康已經(jīng)在157nm干式光刻機(jī)上，投入七億多美金。轉(zhuǎn)而搞浸沒(méi)式路線，之前的巨額投入將全部打水漂。

因此，后來(lái)林本堅(jiān)找上ASML，制造出全球第一臺(tái)以水為介質(zhì)的浸潤(rùn)式光刻機(jī)，采用193nm波長(zhǎng)，但等效于134nm，馬上投入臺(tái)積電的生產(chǎn)線上，效果非常好。2004年，ASML浸沒(méi)式光刻機(jī)問(wèn)世，橫掃全球，尼康光刻機(jī)市場(chǎng)的半壁江山被ASML直接拿走。

林本堅(jiān)

后來(lái)，尼康也不得不選擇跟進(jìn)，也實(shí)現(xiàn)了量產(chǎn)用于生產(chǎn)7nm及以下制程的浸潤(rùn)式光刻機(jī)，也就是DUV中的ARFI光刻機(jī)，但隨著ASML的市場(chǎng)不斷擴(kuò)張，后來(lái)又推出高端EUV光刻機(jī)，尼康逐步被邊緣化。

尼康在光刻機(jī)市場(chǎng)的失利，源于其在顛覆式技術(shù)敲門的時(shí)候，遭遇到了諾基亞式的困境，要采用新技術(shù)去顛覆原有的業(yè)務(wù)基本盤，這種對(duì)舊有根基利益難以割舍的守舊，最終讓其錯(cuò)失了技術(shù)大潮。

而從外部因素來(lái)看，尼康如今的現(xiàn)狀，也與它比美國(guó)更積極的制裁中國(guó)有關(guān)。

要說(shuō)全世界對(duì)光刻機(jī)需求最大的國(guó)家，那無(wú)疑是中國(guó)了，在ASML一家獨(dú)大的時(shí)候，尼康想要做大市場(chǎng)，跟中國(guó)合作才是出路。而且美國(guó)對(duì)中國(guó)的光刻機(jī)管制主要是盯著ASML，并沒(méi)有嚴(yán)格要求日本的尼康與佳能遵循禁令。

但是日本卻主動(dòng)積極的加入到制裁中國(guó)光刻機(jī)的進(jìn)程中，比如2023年3月，日本政府就宣布對(duì)包括光刻機(jī)在內(nèi)的23種半導(dǎo)體設(shè)備實(shí)施出口管制，從光刻機(jī)到光刻膠層層加碼限制對(duì)中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備出口，2024年4月，日本更進(jìn)一步，把GAAFET（全環(huán)繞柵極晶體管）等先進(jìn)技術(shù)也納入管制范圍。

日本主動(dòng)加碼制裁中國(guó)，最終也進(jìn)一步成全了ASML。我們看到，盡管美國(guó)對(duì)ASML步步緊逼，但ASML多次聲稱荷蘭不會(huì)一比一照搬美國(guó)措施，多次表態(tài)努力減少出口限制造成的影響。在NXT:2000i及以上浸潤(rùn)式設(shè)備的出口被限制之前，ASML也緊急向美申請(qǐng)了4個(gè)月的限制豁免期，放行光刻設(shè)備，對(duì)我方加緊出貨。

2024年9月加緊了出口許可規(guī)定，對(duì)NXT1980Di之后的DUV設(shè)備實(shí)行逐案審批，不過(guò)老款和中低端機(jī)型還是能照賣不誤。

而中國(guó)市場(chǎng)的業(yè)績(jī)也支撐了ASML銷量的半壁江山，尼康眼睜睜看著訂單幾乎全部流向ASML。

另外值得一提的是，之所以尼康也無(wú)法做出EUV與ASML競(jìng)爭(zhēng)，是因?yàn)槊绹?guó)不僅對(duì)中國(guó)出口管制，還對(duì)尼康佳能這兩大日本光刻機(jī)巨頭豎起高墻，ASML接到了英特爾、三星、臺(tái)積電的首次大規(guī)模戰(zhàn)略投資后，就建起了自己的 EUV聯(lián)盟，捆綁英特爾、三星、臺(tái)積電，集結(jié)德國(guó)蔡司鏡頭、美國(guó)Cymer光源等成員。而曾在芯片上吃過(guò)日本大虧的美國(guó)，以國(guó)家安全為由，將佳能、尼康排除在EUV技術(shù)聯(lián)盟外。

可以說(shuō)，尼康即被美國(guó)封鎖了獲取頂尖技術(shù)的通道，又主動(dòng)去加碼制裁中國(guó)，封鎖獲取中國(guó)市場(chǎng)的銷售通道?？梢哉f(shuō)，尼康混到今天，一切是咎由自取。

尼康如今業(yè)績(jī)大跌，意識(shí)到，自己都快活不下去了，中國(guó)市場(chǎng)可能是尼康的救命稻草了，如果再不抓住中國(guó)市場(chǎng)，尼康的結(jié)局可能只剩下倒閉這一條路了。

而且尼康認(rèn)為自己的機(jī)會(huì)，恰恰在于被美國(guó)封鎖技術(shù)，被排除在EUV技術(shù)聯(lián)盟之外，因此它的一些光刻機(jī)，是沒(méi)有采用美國(guó)的技術(shù)，所以不受影響，在中國(guó)市場(chǎng)，恰好是不受美國(guó)出口管制的影響，尼康有很大的操作空間的。

但是尼康現(xiàn)在才意識(shí)到這一點(diǎn)可能已經(jīng)有點(diǎn)太遲了。因?yàn)橹袊?guó)目前的狀態(tài)，顯然是要自主全力攻克浸潤(rùn)式DUV光刻機(jī)的，而且國(guó)產(chǎn)設(shè)備的替代速度也在加快，阿斯麥的報(bào)告顯示，中國(guó)市場(chǎng)占了它銷售額的42%，中國(guó)對(duì)進(jìn)口設(shè)備還有依賴，但像SSA600這種國(guó)產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)能用在90納米的生產(chǎn)線上。日媒曾經(jīng)也說(shuō)過(guò)，中國(guó)可能會(huì)成為荷蘭與日本之后，第三個(gè)獨(dú)立制造光刻機(jī)的國(guó)家。

而且尼康過(guò)去的所作所為，讓中國(guó)市場(chǎng)很難對(duì)它有完全的信任。加上荷蘭媒體曾爆料，中國(guó)現(xiàn)在已經(jīng)囤了足夠的DUV光刻機(jī)，用5~10年都沒(méi)有問(wèn)題，5~10年后，中國(guó)國(guó)產(chǎn)浸潤(rùn)式DUV光刻機(jī)大概率已經(jīng)實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)了，尼康還有多少機(jī)會(huì)？機(jī)會(huì)已經(jīng)被它提前葬送了。昔日霸主，如今只能在夾縫中艱難喘息求生，吞下傲慢與封閉的苦果。