2025年3月26日，上海浦東新國際博覽中心擠滿了人。全球半導(dǎo)體行業(yè)的大型展會SEMICON China 2025在這里開幕，展覽面積十萬平方米，1400家展商同臺競技。

說實(shí)話，這場展會的主角不是任何一家國際巨頭，而是一個絕大多數(shù)人之前壓根沒聽過的名字——深圳新凱來。

那幾天刷抖音、翻小紅書，到處都是＂光刻機(jī)大突破＂的話題，全都跟新凱來綁在一起。展臺被圍得里三層外三層。這家國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備新秀一口氣發(fā)布了6大類31款新品，涵蓋擴(kuò)散、薄膜沉積、蝕刻以及量檢測等芯片制造的核心環(huán)節(jié)。

更有意思的是，產(chǎn)品全用中國名山來命名——＂武夷山＂＂峨眉山＂＂普陀山＂＂阿里山＂＂長白山＂，一款接一款魚貫亮相，氣場很足。

就在第二天，通信業(yè)知名觀察家項(xiàng)立剛在社交媒體上寫了一段話：＂光刻機(jī)很快就會被忘記，光刻機(jī)這顆明珠很快要變成玻璃珠子了。＂

這話擱幾年前說，肯定會被噴。但放到現(xiàn)在，認(rèn)真對待這句話的人越來越多了。

2019年，華為被美國列入＂實(shí)體清單＂，芯片斷供的消息從大洋彼岸傳過來。臺積電沒法再給華為代工了，華為海思設(shè)計(jì)出來的芯片，成了圖紙上好看的花紋——看得見，用不了。

那一年，很多人頭一回意識到，一顆指甲蓋大小的芯片，居然能讓一家年?duì)I收超八千億的科技巨頭寸步難行。芯片背后真正的＂攔路虎＂，其實(shí)是光刻機(jī)。

全球光刻機(jī)行業(yè)是典型的寡頭壟斷格局，荷蘭ASML一家就占了82.1%的市場份額。它家最先進(jìn)的EUV光刻機(jī)，一臺售價超過1.2億美元，總重達(dá)180噸，零部件超過10萬個，運(yùn)輸要動用40個集裝箱，至少出動3架波音747。這種龐然大物，全世界只有ASML能造。從2020年起，美國開始禁止向中國出口。

中國苦光刻機(jī)久矣。但故事沒有停在＂苦＂這個字上。

2025年3月24日，一則技術(shù)消息在國際光電工程學(xué)會（SPIE）官網(wǎng)低調(diào)發(fā)布。中國科學(xué)院研究人員成功研發(fā)出一種突破性的固態(tài)深紫外（DUV）激光，能發(fā)射193納米的相干光，這個波長跟當(dāng)前主流DUV曝光技術(shù)用的光源完全一致。

這意味著什么？直白點(diǎn)說，ASML現(xiàn)在的DUV光刻機(jī)用的是氟化氬準(zhǔn)分子激光，需要稀有氣體、高壓電場、精密氣體循環(huán)系統(tǒng)，復(fù)雜得嚇人。

中科院這條路完全不同，核心是自制的Yb:YAG晶體放大器，先生成1030納米激光，然后走兩條不同的光學(xué)路徑做波長轉(zhuǎn)換。轉(zhuǎn)換完了再通過串級硼酸鋰（LBO）晶體混合，最終輸出193nm波長的激光光束。

說白了，中國走了一條跟ASML完全不一樣的技術(shù)路線，用國產(chǎn)晶體替代進(jìn)口稀有氣體，從最底層的物理原理上就繞開了西方的專利壁壘。硼酸鋰晶體這塊，福建的產(chǎn)能是世界第一。原來只是賣原材料的東西，現(xiàn)在一轉(zhuǎn)身成了光刻機(jī)的＂心臟＂。

當(dāng)然了，也別吹過頭。中科院的固態(tài)DUV激光輸出功率目前只有70mW，ASML的ArF準(zhǔn)分子激光技術(shù)能達(dá)到100W以上，差距還很大，暫時滿足不了高產(chǎn)能晶圓制造的需求。但是方向走對了，剩下的就是時間與工程化的問題。固態(tài)激光器的潛力還遠(yuǎn)沒有挖完。

與此同時，國產(chǎn)光刻機(jī)整機(jī)的進(jìn)展也比外界想的快。

2025年5月，上海微電子裝備集團(tuán)（SMEE）宣布交付了首臺28nm浸沒式光刻機(jī)。這是中國在高端芯片制造裝備領(lǐng)域一個歷史性的節(jié)點(diǎn)。

這款設(shè)備采用沉浸式光刻技術(shù)，利用高折射率液體與多重曝光工藝結(jié)合，把等效波長壓縮到了110nm，能穩(wěn)定生產(chǎn)28nm芯片。按照計(jì)劃，上海微電子2025年交付10臺以上，2026年實(shí)現(xiàn)規(guī)模化量產(chǎn)。

價格方面更值得關(guān)注。跟ASML同類型設(shè)備對比，國產(chǎn)機(jī)型的價格只有它的三分之一，交貨周期從一年縮短到三個月。28nm看上去好像＂不夠先進(jìn)＂，但全球大約80%的芯片需求——汽車芯片、電源管理芯片、MCU、物聯(lián)網(wǎng)芯片，全在這個區(qū)間里。

到了2025年9月，更重的料來了。在第25屆中國國際工業(yè)博覽會上，上海微電子頭一回公開亮相了極紫外（EUV）光刻機(jī)的參數(shù)圖。雖然離量產(chǎn)還有一段距離，但能拿到臺面上來說，本身就意味著EUV光刻機(jī)的研發(fā)已經(jīng)走到了可以＂見光＂的階段。

目前上海微電子的EUV光刻機(jī)研發(fā)已進(jìn)入試產(chǎn)階段，相關(guān)技術(shù)專利也已提交申請，計(jì)劃2026年實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。這一連串動作下來，遠(yuǎn)在荷蘭的ASML明顯坐不住了。

翻翻ASML的財報，一個值得注意的變化正在發(fā)生。2025年全年，ASML凈銷售額達(dá)到327億歐元，凈利潤96億歐元。中國仍然是ASML最主要的客戶，占到全年銷售額的33%，排在全球第一。

但風(fēng)向在變。受美國出口限制影響，ASML預(yù)計(jì)2026年中國占銷售額的比例會降到20%。2025年荷蘭進(jìn)一步收緊管控，新規(guī)把DUV設(shè)備的出口限制從7納米收緊到14納米，ASML旗下的1970i、1980i等主力機(jī)型全部被納入管制范圍。

制裁越收越緊。然而回旋鏢已經(jīng)飛回來了。消息出來當(dāng)天，ASML股價重挫8.2%，分析師預(yù)測其2025年?duì)I收將萎縮12%。到了2026年4月，美國跨黨派議員更是拋出了《MATCH法案》草案，打算進(jìn)一步限制對華出口芯片制造設(shè)備。

ASML自己心里清楚結(jié)果會怎樣。正如項(xiàng)立剛所說的那樣：＂ASML非常清楚，只要中國企業(yè)入場，這個設(shè)備很快就會被拿下，然后被干成白菜價。＂

說到＂干成白菜價＂這事，歷史上類似的劇本太多了。

拿盾構(gòu)機(jī)來說。1997年，中國花了將近7億人民幣，從德國高價買了兩臺盾構(gòu)機(jī)，3.5億一臺，愛買不買。不光價格驚人，機(jī)器買回來出了故障，還得等外國工程師飛過來修。維修的時候現(xiàn)場拉著警戒線，不讓中國工程師靠近看。

2002年，國家把盾構(gòu)機(jī)技術(shù)列入863計(jì)劃。2010年，首臺國產(chǎn)土壓平衡盾構(gòu)機(jī)＂開路先鋒19號＂成功下線，國產(chǎn)化率達(dá)到87%。這臺機(jī)器一出來，原本均價1.5億元左右的＂洋盾構(gòu)＂立馬在中國市場被迫降價30%。

后來呢？從全面依賴進(jìn)口，到占領(lǐng)全球70%的市場。全球盾構(gòu)機(jī)的價格，被中國人從7.6億歐元一路拉到2000多萬元人民幣。

這個故事跟如今光刻機(jī)的處境何其相似。區(qū)別只在于光刻機(jī)的技術(shù)復(fù)雜度更高。但是話說回來，今天中國的工業(yè)底座、資金實(shí)力以及人才儲備，也遠(yuǎn)非2002年可比。

產(chǎn)業(yè)鏈層面也在悄悄起變化。中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會的數(shù)據(jù)顯示，半導(dǎo)體設(shè)備整體國產(chǎn)使用率已經(jīng)從2025年的25%提升到了35%，28nm及以上成熟制程國產(chǎn)設(shè)備覆蓋率突破了80%。國產(chǎn)28nm浸沒式DUV光刻機(jī)已完成百片晶圓流片驗(yàn)證，國產(chǎn)化率突破85%，年內(nèi)就要啟動首批次商業(yè)化交付。

新凱來的出現(xiàn)更像是一個縮影。這家公司2021年8月才成立，隸屬于深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)，是深圳國資委全資子公司。

設(shè)備100%自主可控，核心零部件要么自主研發(fā)，要么通過戰(zhàn)略合作伙伴獲取。從零開始，三年多時間，31款設(shè)備覆蓋芯片制造全流程，這速度確實(shí)驚人。

有沒有吹過頭？肯定也有人在潑冷水。電子創(chuàng)新網(wǎng)創(chuàng)始人張國斌就說過：＂中國半導(dǎo)體設(shè)備的進(jìn)步是所有中國半導(dǎo)體人的努力，不要認(rèn)為就是靠一家公司可以承擔(dān)中國半導(dǎo)體突破封鎖的重任。＂這話沒毛病。但新凱來的意義在于，它體現(xiàn)了一種＂全產(chǎn)業(yè)鏈同時突圍＂的中國模式。

項(xiàng)立剛對此有個很到位的概括：＂2021年啟動，三年左右的時間，從零開始，形成基本的能力，逐漸面向市場，不是單點(diǎn)突破，而是全系列的全面突破，覆蓋產(chǎn)業(yè)鏈的所有環(huán)節(jié)。＂

再回到那句＂明珠變玻璃珠＂。項(xiàng)立剛的意思從來不是說光刻機(jī)沒有價值。他真正想說的是——一旦中國攻克了它，它就不再是別人拿來要挾你的＂稀世珍寶＂了。

＂產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，不是有什么神一樣用神來之筆突破，而是大量的普通人，用踏踏實(shí)實(shí)的積累，一點(diǎn)一點(diǎn)熬出來。＂

那些在SEMICON展會上擠不進(jìn)新凱來展臺的工程師，那些在中科院實(shí)驗(yàn)室里反復(fù)調(diào)試193nm激光功率的研究員，那些在上海微電子車間里一遍遍校準(zhǔn)物鏡的技術(shù)人員——就是他們，在一點(diǎn)一點(diǎn)把那顆＂明珠＂磨成玻璃珠。

制裁確實(shí)帶來了巨大的痛苦。但制裁也辦成了一件事——它讓所有人達(dá)成了一個共識：核心技術(shù)必須握在自己手里。這種共識一旦形成，就再也回不去了。

項(xiàng)立剛始終認(rèn)為，技術(shù)不是問題，市場才是大問題。中國半導(dǎo)體企業(yè)一旦入場，全世界芯片產(chǎn)業(yè)鏈都會發(fā)生重大變化。1.2億美元一臺的光刻機(jī)有了中國替代方案之后，價格體系必然要被重新寫過。這是產(chǎn)業(yè)規(guī)律，也是歷史規(guī)律。

沒有哪顆＂明珠＂能永遠(yuǎn)高高在上。只要中國人決定去摘，它就注定會變成普通人都用得起的東西。盾構(gòu)機(jī)是這樣，核磁共振是這樣，光刻機(jī)也會是這樣。制裁只是一時的，將來回頭看，不過是一段插曲罷了。