近日，常州大學(xué)科研團(tuán)隊(duì)傳來重大喜訊：成功自主研發(fā)并制備出純度高達(dá) 99.9999%（6N 級）的高純電子級氯氣，一舉攻克長期困擾我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵材料 “卡脖子” 難題，標(biāo)志著我國在高端電子特氣領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)從跟跑到并跑、再到部分領(lǐng)跑的歷史性跨越。

一、核心突破：6N 級純度，比肩國際頂尖水平

高純電子級氯氣是半導(dǎo)體制造中不可或缺的 “工業(yè)血液”，主要用于芯片的干法刻蝕與腔體清洗環(huán)節(jié)。其純度直接決定芯片的良品率與性能，先進(jìn)制程（28nm 及以下）對氣體純度要求嚴(yán)苛，必須達(dá)到6N（99.9999%）級標(biāo)準(zhǔn)，即百萬分之一級雜質(zhì)控制。此前，該技術(shù)與市場長期被美國空氣化工、德國林德、法國液化空氣、日本大陽日酸等海外巨頭壟斷，國內(nèi)高度依賴進(jìn)口，不僅價(jià)格高昂、供貨周期長，更存在供應(yīng)鏈斷供的戰(zhàn)略風(fēng)險(xiǎn)。常州大學(xué)此次突破，實(shí)現(xiàn)了該材料的自主可控、品質(zhì)達(dá)標(biāo)，技術(shù)參數(shù)直接對標(biāo)國際一流供應(yīng)商。

二、產(chǎn)業(yè)利好：降本、保供、強(qiáng)鏈，三重價(jià)值凸顯

1、供應(yīng)鏈安全加固，擺脫 “卡脖子”

徹底扭轉(zhuǎn)高端氯氣完全依賴進(jìn)口的被動(dòng)局面，阻斷外部技術(shù)封鎖與斷供風(fēng)險(xiǎn)，為中芯國際、華虹、長江存儲等本土晶圓廠構(gòu)建安全穩(wěn)定的原材料供給體系，保障芯片生產(chǎn)線連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行。

2、制造成本大幅下探，提升產(chǎn)業(yè)競爭力

國產(chǎn)替代將直接打破海外高價(jià)壟斷，預(yù)計(jì)可使采購成本降低 30%-50%，有效緩解晶圓廠成本壓力，提升我國半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)的全球價(jià)格競爭力，助力先進(jìn)制程規(guī)模化擴(kuò)產(chǎn)。

3、加速電子特氣國產(chǎn)化，完善產(chǎn)業(yè)生態(tài)

作為電子特氣的核心品類，6N 氯氣的突破將帶動(dòng)上游純化技術(shù)、下游檢測應(yīng)用全鏈條協(xié)同進(jìn)步，推動(dòng)電子級氯化氫、三氟化氮等配套材料國產(chǎn)化提速，加速構(gòu)建自主可控的半導(dǎo)體材料生態(tài)。

三、深遠(yuǎn)影響：科技自立自強(qiáng)，賦能半導(dǎo)體強(qiáng)國建設(shè)

• 戰(zhàn)略層面：是我國在關(guān)鍵核心技術(shù)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)自主可控的標(biāo)志性成果，彰顯高?？蒲辛α糠?wù)國家戰(zhàn)略需求的硬核實(shí)力，為科技自立自強(qiáng)注入強(qiáng)大信心。
• 產(chǎn)業(yè)層面：直接支撐 12 英寸晶圓、28nm 及以下先進(jìn)制程芯片制造，助力我國在存儲、邏輯芯片等高端領(lǐng)域突破產(chǎn)能瓶頸、提升技術(shù)能級，為人工智能、新能源汽車、數(shù)據(jù)中心等戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)提供堅(jiān)實(shí)的芯片材料保障。
• 行業(yè)層面：樹立 “產(chǎn)學(xué)研” 協(xié)同創(chuàng)新標(biāo)桿，激勵(lì)更多高校與企業(yè)投身高端電子化學(xué)品研發(fā)，加速我國電子特氣行業(yè)從低端向高端、從分散向集聚、從進(jìn)口向出口轉(zhuǎn)型，推動(dòng)中國從電子特氣大國邁向強(qiáng)國。