在現(xiàn)代光學(xué)與光電技術(shù)領(lǐng)域，微透鏡陣列作為實(shí)現(xiàn)光束調(diào)控、圖像傳感和光學(xué)集成的核心元件，正推動(dòng)著激光加工、生物醫(yī)學(xué)成像、虛擬現(xiàn)實(shí)等前沿領(lǐng)域的革新。然而，微透鏡陣列的超精密加工長期受限于納米級(jí)結(jié)構(gòu)精度、大面積均勻性和復(fù)雜陣列排布的挑戰(zhàn)。倚光科技憑借在超精密加工領(lǐng)域的深厚積淀，成功突破微透鏡陣列加工的技術(shù)瓶頸，實(shí)現(xiàn)從亞微米級(jí)結(jié)構(gòu)到毫米級(jí)陣列的全尺度精準(zhǔn)制造，為光學(xué)元件的微型化與集成化提供了關(guān)鍵支撐。

倚光科技加工微透鏡陣列圖

微透鏡陣列加工的技術(shù)挑戰(zhàn)與突破

微透鏡陣列的加工難點(diǎn)主要體現(xiàn)在三個(gè)維度：結(jié)構(gòu)尺寸的微量化（單個(gè)透鏡直徑從 10μm 至 1mm）、面形精度的納米級(jí)要求（PV 值 < 0.1μm，Ra<5nm）以及陣列排布的一致性控制（位置誤差 < 1μm）。傳統(tǒng)加工方法如光刻 - 刻蝕工藝難以兼顧曲面精度與材料多樣性，而注塑成型則面臨模具磨損與小批量打樣成本高的問題。

倚光科技配備多臺(tái)國際領(lǐng)先的超精密加工設(shè)備，為微透鏡陣列加工奠定堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。NanoTech 650 FG 超精自由曲面加工機(jī)采用慢刀伺服（旋轉(zhuǎn)式）和柵格飛刀技術(shù)，具備卓越的復(fù)雜曲面加工能力，其編程分辨率達(dá)到線性 0.01 納米、角度 0.0000001 度，可精準(zhǔn)加工微透鏡陣列的復(fù)雜曲面結(jié)構(gòu)。東芝單點(diǎn)金剛石車床 ULC - 100D (S) 和 ULC - 100F (S) 同樣表現(xiàn)出色，ULC - 100D (S) 的 X 軸和 Z 軸分辨率達(dá) 0.000001mm，C 軸為 0.0000mm，鏡片模仁加工面形精度（Pv）可達(dá) 0.015um，表面粗糙度（Ra）低至 0.002um；ULC - 100F (S) 的 X 軸和 Z 軸分辨率高達(dá) 0.0000001mm，鏡片模仁加工 Pv 為 0.010um、Ra 為 0.001um，且具備最小 0.1 納米加工指令設(shè)定功能，為微透鏡陣列的高精度加工提供有力支持。

倚光科技設(shè)計(jì)加工的微透鏡陣列圖

多元材料加工能力與工藝創(chuàng)新

倚光科技憑借多元材料加工能力與工藝創(chuàng)新，構(gòu)建起覆蓋光學(xué)塑料、光學(xué)玻璃、紅外晶體的全材料加工體系，并針對不同材料特性開發(fā)專屬工藝。在光學(xué)塑料領(lǐng)域，針對 PMMA/PC 材料，采用 “金剛石車削 - 熱壓復(fù)制” 工藝，先加工出表面粗糙度 Ra<2nm 的高精度模具，再通過熱壓成型實(shí)現(xiàn)百萬級(jí)量產(chǎn)。光學(xué)玻璃加工中，選用熔融石英等低膨脹玻璃，適用于紫外 - 可見波段光學(xué)系統(tǒng)，采用 “車削 - 磁流變拋光” 復(fù)合工藝，先通過單點(diǎn)車削成型微透鏡曲面（面形精度 PV=0.15μm），再利用磁流變液的剪切增稠特性進(jìn)行納米級(jí)表面修正，使表面粗糙度 Ra<3nm，典型應(yīng)用于半導(dǎo)體光刻機(jī)用微透鏡陣列，可實(shí)現(xiàn) 193nm 紫外光的均勻聚焦。紅外材料加工方面，對于鍺 / 硒化鋅陣列，針對 8-12μm 紅外波段，采用超聲振動(dòng)輔助車削技術(shù)，在鍺材料上加工出直徑 200μm 的微透鏡陣列，透過率 > 90%，適用于紅外熱成像焦平面陣列；而硫系玻璃陣列則利用 As?Se?材料的高紅外透過性，通過低溫車削工藝抑制材料脆性斷裂。

倚光科技檢測設(shè)備

超精密檢測體系與質(zhì)量控制

為確保微透鏡陣列的加工質(zhì)量，倚光科技配置完善的檢測設(shè)備。松下超高精度三維測量儀 - UA3P - 300 和 - UA3P - 400T，X、V、Z 軸分辨率均為 0.000001mm，可對微透鏡陣列進(jìn)行精確的輪廓面型檢測與尺寸檢測。Zygo 非接觸干涉儀以 Z 軸分辨率 0.00000001mm 的高精度，檢測微透鏡表面粗糙度，保障表面光潔度符合要求。全歐光學(xué)偏心測量設(shè)備可實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)的光學(xué)反射偏心檢測，確保微透鏡陣列的偏心精度，為光學(xué)系統(tǒng)的準(zhǔn)確裝配提供保障。

倚光科技擁有一支實(shí)力強(qiáng)勁的專業(yè)團(tuán)隊(duì)，團(tuán)隊(duì)成員匯聚了來自新加坡南洋理工大學(xué)、法國斯特拉斯堡大學(xué)、中科院長春光機(jī)所、浙江大學(xué)等國內(nèi)外頂尖院校與科研機(jī)構(gòu)的人才。他們在光學(xué)設(shè)計(jì)、超精密加工、材料科學(xué)等領(lǐng)域具備深厚的理論知識(shí)與豐富的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)，能夠針對微透鏡陣列加工中的各類技術(shù)難題，研發(fā)創(chuàng)新工藝與解決方案。

倚光科技檢測設(shè)備三豐輪廓儀等

團(tuán)隊(duì)在微透鏡陣列加工技術(shù)研發(fā)中，充分發(fā)揮專業(yè)優(yōu)勢?；趯鈱W(xué)設(shè)計(jì)的深入理解，精準(zhǔn)把握微透鏡陣列的光學(xué)性能需求；憑借對超精密加工設(shè)備的熟練操控與工藝優(yōu)化能力，不斷提升微透鏡陣列的加工精度與效率。從加工工藝的研發(fā)到設(shè)備參數(shù)的優(yōu)化，團(tuán)隊(duì)成員緊密協(xié)作，為倚光科技在微透鏡陣列超精密加工領(lǐng)域的技術(shù)領(lǐng)先提供了堅(jiān)實(shí)的人才支撐。

倚光科技通過先進(jìn)設(shè)備與專業(yè)團(tuán)隊(duì)的協(xié)同，在微透鏡陣列加工技術(shù)上實(shí)現(xiàn)突破。利用超精密單點(diǎn)金剛石車削技術(shù)，配合五軸聯(lián)動(dòng)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)微透鏡陣列的高精度成型。加工過程中，自主研發(fā)的智能刀具路徑規(guī)劃算法，根據(jù)微透鏡形狀自動(dòng)生成最優(yōu)切削軌跡，提高加工效率的同時(shí)，確保陣列的精度與一致性。