空天微納系統(tǒng)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室（以下簡稱“實(shí)驗(yàn)室”）依托于西北工業(yè)大學(xué)，在航空航天特種MEMS制造、微納敏感機(jī)理與慣性器件、MEMS集成設(shè)計(jì)軟件、微納光學(xué)、先進(jìn)流動(dòng)測控、柔性微納防除冰結(jié)構(gòu)、微流控芯片與醫(yī)療裝備等研究方面處于國內(nèi)領(lǐng)先、國際先進(jìn)水平，已成為我國重要的微納系統(tǒng)科研及創(chuàng)新人才培養(yǎng)基地。實(shí)驗(yàn)室硬件條件達(dá)到國內(nèi)一流、國際先進(jìn)水平，在友誼校區(qū)擁有一條四/六英寸微加工工藝線，能夠?qū)崿F(xiàn)硅表面加工、濕法體硅加工、ICP深刻蝕等多種典型工藝；在寧波建立了一條8英寸MEMS中試線，是國內(nèi)少有的面向全國開放的微納制造和研發(fā)平臺(tái)之一。實(shí)驗(yàn)室現(xiàn)有專任教師27人，其中國家級(jí)領(lǐng)軍人才7人，國家級(jí)青年人才8人，形成了一支以國家級(jí)領(lǐng)軍人才為學(xué)術(shù)帶頭人、以中青年教師為骨干的高水平研究隊(duì)伍。實(shí)驗(yàn)室累計(jì)獲得國家技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)3項(xiàng)、國家教學(xué)成果一等獎(jiǎng)1項(xiàng)、省部級(jí)一等獎(jiǎng)8項(xiàng)。近五年來，承擔(dān)國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)，民機(jī)專項(xiàng)，國家自然科學(xué)基金重點(diǎn)項(xiàng)目等項(xiàng)目，累計(jì)經(jīng)費(fèi)超過2億元。

根據(jù)實(shí)驗(yàn)室發(fā)展規(guī)劃及教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室管理要求，為貫徹“開放、共享、融合、創(chuàng)新”的理念，積極開展學(xué)術(shù)交流與產(chǎn)學(xué)研合作研究、共享儀器設(shè)備/設(shè)施平臺(tái)，促進(jìn)MEMS領(lǐng)域科技進(jìn)步與創(chuàng)新，誠邀國內(nèi)外從事MEMS傳感器與執(zhí)行器相關(guān)的研究人員申報(bào)2025年度開放課題。

一、資助對(duì)象

申請本實(shí)驗(yàn)室開放課題者，需為國內(nèi)外具有中級(jí)及以上職稱或具有博士以上學(xué)位，并在高等院校和科研機(jī)構(gòu)工作的專業(yè)技術(shù)人員。

二、資助領(lǐng)域

本年度實(shí)驗(yàn)室優(yōu)先資助但不僅限于下列研究領(lǐng)域的課題申請：

1. 金硅/金錫鍵合可靠性研究

2. 膠體與表面微流控芯片研究

三、資助金額與研究期限

1、資助金額：3萬/項(xiàng)

2、研究期限：1~2年。

四、申請程序

1、本次開放課題基金申請截止時(shí)間為2025年11月10日。開放課題申請書電子版請于截止日期前發(fā)送至mems_npu@163.com，紙質(zhì)版申請書請于2025年11月20日前寄到本實(shí)驗(yàn)室。

2、申請者須填寫“空天微納系統(tǒng)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室開放課題基金申請書”，開放課題基金申請書一式4份，經(jīng)所在單位簽署意見并加蓋公章（封面處）后寄送本實(shí)驗(yàn)室，并將電子版申請書發(fā)送至電子信箱：mems_npu@163.com。

3、申請書經(jīng)本實(shí)驗(yàn)室初審后提交實(shí)驗(yàn)室學(xué)術(shù)委員會(huì)進(jìn)行評(píng)審，確定資助項(xiàng)目和資助金額。評(píng)審結(jié)果由實(shí)驗(yàn)室主任簽發(fā)，并通知申請者及其所在單位，未獲批準(zhǔn)的申請材料概不退還。

4、申請者收到批準(zhǔn)資助通知后，應(yīng)按批準(zhǔn)金額、研究年限和評(píng)審意見，在收到立項(xiàng)通知后2周內(nèi)編寫開放課題合同書，經(jīng)申請人所在單位簽字蓋章后提交至本實(shí)驗(yàn)室，核準(zhǔn)后正式列為本實(shí)驗(yàn)室科研課題，撥付課題經(jīng)費(fèi)。

5、立項(xiàng)成功后需根據(jù)空天微納系統(tǒng)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室開放課題申請與管理辦法執(zhí)行，按時(shí)填寫結(jié)題報(bào)告。

五、聯(lián)系方式

聯(lián)系人：郝老師

電子郵箱：mems_npu@163.com

通信地址：陜西省西安市碑林區(qū)友誼西路127號(hào)航空樓D座212，郵編710072

發(fā)布時(shí)間：2025年10月20日

責(zé)任編輯：李 娜

責(zé)任校對(duì)： 金 程

審 核： 張 彤

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