四(二甲胺基)鉿（TDMAH）是鉿基薄膜前驅體 我國生產能力不斷提升

四(二甲胺基)鉿，也稱四(二甲氨基)鉿、四(二甲基氨基)鉿，英文簡稱TDMAH或TDMAHf，分子式C8H24HfN4，分子量354.793，CAS號19782-68-4，外觀為無色至淡黃色結晶固體狀，對眼睛、皮膚有腐蝕性，密度1.098g/mL，熔點26-29℃，沸點60℃，閃點43℃，易燃燒，遇水劇烈反應釋放出易燃氣體，存儲需密封并遠離火種、熱源。

根據新思界產業(yè)研究中心發(fā)布的《2025年中國四（二甲胺基）鉿（TDMAH）市場專項調研及企業(yè)“十五五規(guī)劃”建議報告》顯示，四(二甲胺基)鉿是一種鉿基薄膜前驅體材料，可以利用化學氣相沉積法（CVD）、原子層沉積法（ALD）在基底材料上沉積得到二氧化鉿薄膜、氮化鉿薄膜，也可以與其他前驅體材料配合使用，在襯底上沉積得到稀土摻雜氧化鉿薄膜，例如Ce:HfO2薄膜，進而能夠應用在半導體、存儲器、功率器件等制備領域，還可以應用在光學涂層、納米復合材料等制備方面。

鉿基薄膜具有高介電常數特點，可以制備得到厚度更薄的膜層，作為晶體管柵極介電層材料使用時，能夠避免傳統(tǒng)硅基薄膜介電層因過薄而導致的柵極直接隧穿漏電問題，可以滿足小尺寸晶體管制造需求，進而滿足芯片行業(yè)技術發(fā)展要求。在芯片性能不斷提高、尺寸不斷縮小背景下，四(二甲胺基)鉿作為鉿基薄膜前驅體材料，在替代傳統(tǒng)硅基薄膜前驅體材料方面發(fā)展前景廣闊。

在我國，四(二甲胺基)鉿制備方法相關專利申請數量不斷增多，主要有南京大學“四(二甲胺基)鉿的合成方法”，浙江博瑞電子科技有限公司“一種四(二甲氨基)鉿的制備方法”與“一種四(二甲氨基)鉿的精制方法”，合肥安德科銘半導體科技有限公司“一種四(二甲胺基)鉿的制備方法”等。

其中，浙江博瑞電子科技有限公司“一種四(二甲氨基)鉿的制備方法”專利，是在有機溶劑存在下，在正丁基鋰提供的堿性環(huán)境中，以二甲基胺、四氯化鉿為原料，添加催化劑進行脫酸反應，制備得到四(二甲氨基)鉿，具有方法簡單、原料利用率高、反應速度快、收率高、產物純度高等特點。

新思界行業(yè)分析人士表示，我國四(二甲胺基)鉿市場布局企業(yè)主要有南京大學材料MO源研究開發(fā)中心、江蘇南大光電材料股份有限公司、合肥安德科銘半導體科技有限公司等。2025年5月，江西華特電子化學品有限公司華特電子永修半導體新材料中試基地項目環(huán)境影響報告書擬批準公示，一期建設項目中包括四(二甲氨基)鉿生產線。我國四(二甲胺基)鉿生產能力還在不斷提升。

2025年中國四（二甲胺基）鉿（TDMAH）市場專項調研及企業(yè)“十五五規(guī)劃”建議報告

新思界目錄

第七章 重點產品——C市場分析

第一節(jié) C產品分類及主要應用

第二節(jié) 2020-2024年中國C市場容量及增長率分析

第三節(jié) 2020-2024年中國C供給情況分析

一、產能（含部分擬在建項目整理）

二、產量

三、產能利用率

第四節(jié) 2020-2024年中國C需求情況分析

第五節(jié) 中國C產品消費結構（按產品類型）

第六節(jié) 中國C價格走勢分析

第七節(jié) 中國C主要應用領域及需求趨勢

一、主要應用領域示意圖

二、主要應用領域對C需求情況

三、主要應用領域對C需求趨勢

第八節(jié) C產品市場競爭格局

一、現(xiàn)有企業(yè)間競爭

二、潛在進入者

三、替代品威脅

四、上游議價能力

五、下游議價能力

第九節(jié) C技術發(fā)展現(xiàn)狀及趨勢分析

第十節(jié) C市場發(fā)展趨勢

第八章 重點下游應用領域對四(二甲胺基)鉿（TDMAH）需求情況

第一節(jié) 下游市場界定及產業(yè)鏈

第二節(jié) 下游市場規(guī)模

第三節(jié) 下游市場發(fā)展現(xiàn)狀

第四節(jié) 2020-2024下游領域四(二甲胺基)鉿（TDMAH）供需情況分析

一、供給情況

二、需求情況

第五節(jié) 下游領域下游主要應用場景

第六節(jié) 下游領域下游替代品分析

第七節(jié) 下游領域下游市場需求空間及需求趨勢

第九章 重點企業(yè)發(fā)展戰(zhàn)略調研

第一節(jié) 四(二甲胺基)鉿（TDMAH）X

一、企業(yè)簡介

二、企業(yè)業(yè)務分析

1、企業(yè)業(yè)務線及主要產品

2、企業(yè)主要產品業(yè)務表現(xiàn)

3、企業(yè)新產品動態(tài)

三、企業(yè)產能及產量

四、企業(yè)市場表現(xiàn)

五、企業(yè)競爭力分析

1、優(yōu)勢

2、劣勢

六、企業(yè)戰(zhàn)略規(guī)劃分析

第二節(jié) 四(二甲胺基)鉿（TDMAH）X

一、企業(yè)簡介

二、企業(yè)業(yè)務分析

1、企業(yè)業(yè)務線及主要產品

2、企業(yè)主要產品業(yè)務表現(xiàn)

3、企業(yè)新產品動態(tài)

三、企業(yè)產能及產量

四、企業(yè)市場表現(xiàn)

五、企業(yè)競爭力分析

1、優(yōu)勢

2、劣勢

六、企業(yè)戰(zhàn)略規(guī)劃分析

第三節(jié) 四(二甲胺基)鉿（TDMAH）X

一、企業(yè)簡介

二、企業(yè)業(yè)務分析

1、企業(yè)業(yè)務線及主要產品

2、企業(yè)主要產品業(yè)務表現(xiàn)

3、企業(yè)新產品動態(tài)

三、企業(yè)產能及產量

四、企業(yè)市場表現(xiàn)

五、企業(yè)競爭力分析

1、優(yōu)勢

2、劣勢

六、企業(yè)戰(zhàn)略規(guī)劃分析

第四節(jié) 四(二甲胺基)鉿（TDMAH）X

一、企業(yè)簡介

二、企業(yè)業(yè)務分析

1、企業(yè)業(yè)務線及主要產品

2、企業(yè)主要產品業(yè)務表現(xiàn)

3、企業(yè)新產品動態(tài)

三、企業(yè)產能及產量

四、企業(yè)市場表現(xiàn)

五、企業(yè)競爭力分析

1、優(yōu)勢

2、劣勢

六、企業(yè)戰(zhàn)略規(guī)劃分析

第五節(jié) 四(二甲胺基)鉿（TDMAH）X

一、企業(yè)簡介

二、企業(yè)業(yè)務分析

1、企業(yè)業(yè)務線及主要產品

2、企業(yè)主要產品業(yè)務表現(xiàn)

3、企業(yè)新產品動態(tài)

三、企業(yè)產能及產量

四、企業(yè)市場表現(xiàn)

五、企業(yè)競爭力分析

1、優(yōu)勢

2、劣勢

六、企業(yè)戰(zhàn)略規(guī)劃分析

第十章公司分析

第一節(jié) 企業(yè)簡介

第二節(jié) 企業(yè)現(xiàn)有業(yè)務布局

第三節(jié) 企業(yè)SWOT分析

一、優(yōu)勢

二、劣勢

三、機會

四、威脅