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火眼新材料謝黎明:面向未來集成電路的二維半導(dǎo)體制造

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科學(xué)家創(chuàng)業(yè) 十年磨一劍。在實驗室與廣闊市場之間,橫亙著一條條鴻溝。是誰,能為這些深藏于試管、代碼與公式中的顛覆性力量搭橋鋪路,讓創(chuàng)新的種子穿越險阻,生長為參天大樹?
中關(guān)村資本和融中財經(jīng)聯(lián)合推出“讓創(chuàng)新生長”科學(xué)家創(chuàng)業(yè)專欄,專訪由中關(guān)村資本投資并陪伴成長的科學(xué)家創(chuàng)業(yè)團隊,將目光投向這群特殊的創(chuàng)業(yè)者——他們是實驗室里的首席科學(xué)家,也是搏擊商海的創(chuàng)始人。讓我們記錄科學(xué)家創(chuàng)業(yè)者從“論文”到“產(chǎn)品”、從“技術(shù)”到“產(chǎn)業(yè)”的跨越之路。面對面聆聽領(lǐng)航者們的初心與夢想,揭開他們從“書架”走向“貨架”的奮斗故事。我們更將探尋,在這段充滿未知與挑戰(zhàn)的征程上,中關(guān)村資本如何以“耐心資本”的姿態(tài),提供超越簡單財務(wù)投資的全方位服務(wù)——從戰(zhàn)略布局、資源嫁接,到市場開拓、長期陪伴,成為科學(xué)家們最堅實的同行者。
讓我們一起,讀懂創(chuàng)新生長的力量,見證資本與智慧共同寫就的傳奇。

全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正站在一個關(guān)鍵的歷史十字路口,傳統(tǒng)的硅基集成電路技術(shù)在狂奔數(shù)十年后,正無可避免地逼近物理極限。

隨著晶體管器件的微縮變得愈發(fā)困難,曾經(jīng)被視為鐵律的摩爾定律延續(xù)面臨巨大挑戰(zhàn),芯片性能的提升不再像過去那樣輕而易舉。與此同時,邏輯計算單元與存儲單元之間的數(shù)據(jù)傳輸功耗和時間延遲構(gòu)成的“存儲墻”問題,也嚴重制約著系統(tǒng)性能的進一步躍升。

在這一“后摩爾時代”的背景下,尋找能夠突破硅基極限的新材料與新路徑,成為了關(guān)乎集成電路產(chǎn)業(yè)未來的戰(zhàn)略命題。國際器件與系統(tǒng)路線圖(IRDS)已經(jīng)給出了預(yù)測,預(yù)計在2031年左右,二維半導(dǎo)體將用于集成電路制造,這種僅有幾個原子層厚度的新材料,具備制備物理尺寸小于1納米晶體管器件的潛力,并能與硅基器件實現(xiàn)三維集成,被視為打破僵局的關(guān)鍵鑰匙。

在這一宏大的產(chǎn)業(yè)變革浪潮中,火眼新材料應(yīng)運而生。致力于將最前沿的科學(xué)研究成果轉(zhuǎn)化為新質(zhì)生產(chǎn)力,火眼新材料確立了明確的使命:將幾個原子層厚度的二維半導(dǎo)體材料真正應(yīng)用到芯片制造中,為中國集成電路產(chǎn)業(yè)開辟全新的技術(shù)路徑。

不同于單點突破的創(chuàng)業(yè)公司,火眼新材料將構(gòu)建了“裝備+工藝+檢測”的全產(chǎn)業(yè)鏈護城河。公司圍繞二維半導(dǎo)體材料,布局了生長裝備、液相生長技術(shù)以及晶圓質(zhì)量檢測技術(shù),形成了獨特的“圍欄效應(yīng)”。

從實驗室的象牙塔邁向嚴苛的產(chǎn)業(yè)戰(zhàn)場,火眼新材料完成了一場從發(fā)散性科研思維到聚焦產(chǎn)業(yè)需求的深刻轉(zhuǎn)型。在這條充滿不確定性的硬科技創(chuàng)業(yè)之路上,早期投資方中關(guān)村資本給予了關(guān)鍵性支持——不僅提供了堅實的資金保障,更以其對國家戰(zhàn)略方向的深刻理解,幫助公司錨定發(fā)展定位、堅定技術(shù)信念,并高效對接產(chǎn)業(yè)與資本資源。正是這份兼具戰(zhàn)略視野與長期耐心的陪伴,使火眼新材料得以穿越硬科技創(chuàng)業(yè)常遇的“死亡之谷”,在技術(shù)爆發(fā)的前夜穩(wěn)步前行。

破局“后摩爾時代”:二維半導(dǎo)體的新質(zhì)生產(chǎn)力突圍

火眼新材料創(chuàng)立的核心初衷,在于將最前沿的科學(xué)研究成果轉(zhuǎn)化為新質(zhì)生產(chǎn)力。

具體而言,就是將僅有幾個原子層厚度的二維半導(dǎo)體材料應(yīng)用到芯片制造中,旨在為國家集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供一條全新的技術(shù)路徑。這一戰(zhàn)略選擇的背后,是對當前全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)困境的深刻洞察。

目前的集成電路發(fā)展正遭遇兩個難以逾越的瓶頸問題:首先是晶體管器件的微縮變得愈發(fā)困難,這意味著摩爾定律的延續(xù)面臨巨大挑戰(zhàn);其次是“存儲墻”問題,即邏輯計算單元與存儲單元之間的數(shù)據(jù)傳輸功耗和時間延遲,嚴重制約了系統(tǒng)性能的進一步提升。

正是這些嚴峻的行業(yè)挑戰(zhàn),給以單層二硫化鉬為代表的二維半導(dǎo)體材料帶來了巨大的歷史性機遇。這類只有幾個原子層厚度的新材料,具備制備物理尺寸小于1納米晶體管器件的潛力,并且能夠與硅基器件實現(xiàn)三維集成。鑒于其巨大的應(yīng)用前景,該技術(shù)路線已被納入半導(dǎo)體領(lǐng)域權(quán)威的IRDS(國際器件與系統(tǒng)路線圖),預(yù)計在2031年左右將用于集成電路制造。

在這一巨大的應(yīng)用前景牽引下,無論是學(xué)術(shù)界還是半導(dǎo)體工業(yè)界,都已全面啟動對這種新材料的深入研究。

火眼新材料正是在這樣的背景下應(yīng)運而生。公司由一支兼具頂尖學(xué)術(shù)背景與工程化能力的科學(xué)家團隊創(chuàng)立,專注于原子級厚度的二維半導(dǎo)體材料及其生長裝備、檢測設(shè)備的研發(fā)與制造,目標是為后摩爾時代的集成電路提供可量產(chǎn)、高可靠的新材料解決方案。其核心產(chǎn)品包括2英寸單層二硫化鉬(MoS?)晶圓、搭載高溫原位成像技術(shù)的化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(FE-MIC-900),以及晶圓缺陷檢測系統(tǒng)(FE-WDI-200)。依托自主研發(fā)的液相外延生長、定點生長、耐高溫原位顯微監(jiān)控及晶圓級檢測等核心技術(shù),火眼新材料初步構(gòu)建起覆蓋“材料—工藝—裝備—檢測”全鏈條技術(shù)體系,并擁有多項關(guān)鍵專利。


公司創(chuàng)始人謝黎明博士,本科與博士均畢業(yè)于北京大學(xué),曾于2007至2008年作為訪問博士生赴美國麻省理工學(xué)院(MIT)開展研究,并于2009至2012年在斯坦福大學(xué)從事博士后工作。2012年回國后,他被聘為國家納米科學(xué)中心研究員、博士生導(dǎo)師,長期聚焦二維半導(dǎo)體材料的可控生長、精密表征及專用設(shè)備開發(fā)。至今,他在《Nature Materials》《JACS》《Advanced Materials》《Nano Letters》《ACS Nano》等國際頂級期刊發(fā)表論文110余篇,申請發(fā)明專利10余項,牽頭制定國家標準3項,并先后入選北京市科技新星、北京市高層次創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)人才支持計劃青年拔尖人才、國家自然科學(xué)基金優(yōu)秀青年科學(xué)基金等重要人才項目。正是這樣一位兼具國際視野、科研深度與工程落地能力的科學(xué)家,帶領(lǐng)火眼新材料從實驗室走向產(chǎn)業(yè)前沿,錨定二維半導(dǎo)體這一戰(zhàn)略賽道,堅定推進從“書架”到“貨架”的跨越。

而作為企業(yè)的早期資方,中關(guān)村資本給予火眼新材料的支持是全方位且意義深遠的。

首先,資金支持無疑是至關(guān)重要的,為企業(yè)發(fā)展提供了堅實保障。更為關(guān)鍵的是,作為代表中關(guān)村的科技投資機構(gòu),中關(guān)村資本深刻把握國家發(fā)展的實際需求與長遠戰(zhàn)略方向。

在與火眼新材料的深入交流中,他們不僅幫助厘清企業(yè)的發(fā)展定位與戰(zhàn)略目標,更如一盞明燈,為公司指明了前行的方向。此外,中關(guān)村資本對科技創(chuàng)新所展現(xiàn)出的熱忱與信念,極大地鼓舞了團隊士氣,堅定了公司實現(xiàn)發(fā)展目標的信心。

與此同時,他們在資源整合方面也給予了有力支持,積極協(xié)助對接優(yōu)質(zhì)的投資資源與產(chǎn)業(yè)生態(tài),全面助力企業(yè)成長壯大。

煉就“火眼金睛”:構(gòu)建“裝備+工藝+檢測”的技術(shù)護城河

公司取名“火眼”,其寓意深遠且直接指向其核心技術(shù)壁壘。

所謂“火眼”,本意即在烈火中能看清事物。這形象地概括了火眼新材料的一項獨門絕技——耐高溫原位光學(xué)成像技術(shù),這項技術(shù)能夠在極高溫度的環(huán)境下,清晰地觀測材料的生長過程,實現(xiàn)對生長情況的實時監(jiān)控與反饋,從而從源頭上保證材料的高質(zhì)量生長?;鹧坌虏牧舷Mㄟ^“火眼”這一概念,表達其利用先進的制造技術(shù)與設(shè)備,以及先進的晶圓檢測技術(shù),全面應(yīng)用到二維半導(dǎo)體晶圓材料的制造環(huán)節(jié)中,為芯片應(yīng)用提供最高質(zhì)量的半導(dǎo)體材料。

目前,火眼新材料已初步構(gòu)建起堅實的技術(shù)護城河。除了耐高溫原位光學(xué)成像技術(shù)外,公司還掌握了全單層二維半導(dǎo)體制備的液相外延技術(shù)、定點生長技術(shù)以及二維半導(dǎo)體晶圓的質(zhì)量檢測技術(shù)。與國內(nèi)外同行相比,火眼新材料并非單點突破,而是圍繞二維半導(dǎo)體材料進行了全產(chǎn)業(yè)鏈布局,涵蓋生長裝備、生長方法與工藝、檢測技術(shù)與裝備三個方面。

這種在多個環(huán)節(jié)形成的閉環(huán),構(gòu)成了獨特的“圍欄效應(yīng)”,能夠全方位保障材料的高質(zhì)量與高可靠性制造,從而在產(chǎn)品質(zhì)量和制造成果等方面形成顯著優(yōu)勢。

在產(chǎn)品落地方面,公司目前具有代表性的產(chǎn)品是一款搭載“火眼”技術(shù)的化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)。

該系統(tǒng)能夠在微米分辨率層次上,對高溫工藝過程進行全流程監(jiān)控。通過實時反饋控制,系統(tǒng)可以精準調(diào)節(jié)高溫材料生長、材料刻蝕、材料加工等過程的工藝參數(shù),有效解決了新材料制備、新工藝優(yōu)化以及產(chǎn)品良率提升等關(guān)鍵難題。目前,該產(chǎn)品正處于初步推廣階段,并已實現(xiàn)了面向科研用戶的銷售。

為了保持技術(shù)的持續(xù)領(lǐng)先,火眼新材料在研發(fā)上保持了高強度的投入。公司研發(fā)投入占比超過80%,組建了一支包括北大博士、中科院碩士等高學(xué)歷技術(shù)人員在內(nèi)的研發(fā)團隊。團隊成員背景覆蓋材料生長、光學(xué)成像、機械設(shè)計、軟件編寫等多個領(lǐng)域,全方位覆蓋了二維半導(dǎo)體材料制造工藝與裝備的研發(fā)需求。

此外,公司一直與國家納米科學(xué)中心這一國家級研究機構(gòu)開展深度合作,內(nèi)容涉及二維半導(dǎo)體的制造工藝與方法研發(fā)、裝備的試用測試與完善等。通過這種產(chǎn)學(xué)研的緊密結(jié)合,火眼新材料能夠迅速將最前沿的技術(shù)與方法轉(zhuǎn)化為產(chǎn)品,或為產(chǎn)品增質(zhì)增效,持續(xù)保持產(chǎn)品的先進性。

跨越“死亡之谷”:科學(xué)家思維轉(zhuǎn)型與耐心資本的守望

從實驗室走向市場,對于科學(xué)家創(chuàng)業(yè)團隊而言,最大的挑戰(zhàn)往往來自于思維模式的轉(zhuǎn)變。

火眼新材料在創(chuàng)業(yè)初期,面臨的關(guān)鍵挑戰(zhàn)正是如何從科研思維轉(zhuǎn)變?yōu)楫a(chǎn)業(yè)思維。科研思維通常是發(fā)散性的,關(guān)注什么問題有意思、什么課題別人沒做過;而創(chuàng)業(yè)必須基于產(chǎn)業(yè)需求,必須思考未來的大產(chǎn)業(yè)是什么,在這個產(chǎn)業(yè)中需要什么樣的產(chǎn)品和核心技術(shù),從而提早研發(fā),搶占市場需求的制高點。團隊的客服思路也隨之調(diào)整為從產(chǎn)業(yè)需求出發(fā),確定研發(fā)目標,進而整合技術(shù)、攻關(guān)技術(shù),最終研發(fā)出具有市場競爭力的產(chǎn)品。這是一個不斷試錯與反饋的過程,團隊在這一過程中不斷學(xué)習(xí)與進步。

在創(chuàng)業(yè)的征途中,火眼新材料也經(jīng)歷過“至暗時刻”。最艱難的時刻莫過于投資人認為產(chǎn)品規(guī)?;瘧?yīng)用需要的時間過長,早期投資風(fēng)險過高。這是硬科技創(chuàng)業(yè)團隊必須面對的殘酷現(xiàn)實:理想很宏偉,現(xiàn)實很殘酷。

幸運的是,作為公司的早期投資方,中關(guān)村資本對項目表現(xiàn)出了極大的耐心,并與創(chuàng)業(yè)團隊進行了深入的交流與指導(dǎo)。這種“耐心資本”的守望,對于需要長周期研發(fā)的硬科技企業(yè)來說至關(guān)重要。

展望未來3到5年,火眼新材料的戰(zhàn)略重點依然聚焦于三個方面:先進的二維半導(dǎo)體晶圓制造裝備、高質(zhì)量的二維半導(dǎo)體晶圓材料以及晶圓檢測設(shè)備。

鑒于公司的“火眼”化學(xué)氣相沉積設(shè)備與二維半導(dǎo)體材料在國內(nèi)外均處于領(lǐng)先地位,火眼新材料在國際市場上也具備極強的競爭力。因此,公司在立足國內(nèi)市場的同時,也將積極拓展國際市場,致力于在更廣闊的舞臺上證明中國新材料技術(shù)的實力。

面對新材料領(lǐng)域快速迭代的趨勢,火眼新材料將繼續(xù)筑牢技術(shù)壁壘,在方法、工藝、裝備、檢測、標準等方面齊頭并進,形成強大的綜合優(yōu)勢,等待那個屬于二維半導(dǎo)體時代的全面到來。

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