1879年10月，愛迪生團(tuán)隊在歷經(jīng)數(shù)千次試驗、測試1600多種材料后，終于制成第一個可供實用的碳絲燈泡。然而，通電后的碳絲瞬間燒斷，其癥結(jié)在于高溫碳絲與空氣中的氧氣發(fā)生劇烈反應(yīng)。為解決這一難題，愛迪生團(tuán)隊改進(jìn)了當(dāng)時尚屬原始的真空泵，成功將玻璃泡內(nèi)空氣抽離。在真空環(huán)境下，碳絲最終實現(xiàn)了穩(wěn)定發(fā)光。

此后，隨著工業(yè)與科技的突飛猛進(jìn)，人們發(fā)現(xiàn)真空環(huán)境對于許多高精尖研究而言都不可或缺，這極大地推動了真空泵技術(shù)的發(fā)展。時至今日，真空泵已成為集成電路、光伏、重大科技基礎(chǔ)設(shè)施等領(lǐng)域不可替代的核心裝備。而中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司（以下簡稱“中科儀”）正是我國真空技術(shù)領(lǐng)域的重要企業(yè)。公司數(shù)十年如一日深耕此領(lǐng)域，多次打破國外技術(shù)壟斷，為國家的重大科學(xué)研究提供了堅實支撐。1月16日，這家領(lǐng)先的真空泵供應(yīng)商即將在北交所上會，攜近70年的深厚技術(shù)積淀，開啟資本市場新征程。

中國真空技術(shù)發(fā)展推動者，持續(xù)賦能戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)

真空技術(shù)的價值，深植于每一個高精尖產(chǎn)業(yè)的細(xì)微環(huán)節(jié)之中。

在集成電路制造車間，一片12英寸晶圓需經(jīng)歷上千道工藝，其中15個核心環(huán)節(jié)有11個依賴真空環(huán)境——光刻時需隔絕空氣避免光線折射，刻蝕時需防止雜質(zhì)影響線路精度，薄膜沉積時需保證涂層均勻。缺乏可靠的真空環(huán)境，芯片良率將急劇下滑，甚至導(dǎo)致整條產(chǎn)線停產(chǎn)。

在光伏產(chǎn)業(yè)，晶體生長和電池片鍍膜過程中，真空環(huán)境能有效提升硅材料純度，直接決定太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率。而在國家重大科技基礎(chǔ)設(shè)施領(lǐng)域，如北京正負(fù)電子對撞機(jī)、上海同步輻射光源等“國之重器”，更是需要超高真空環(huán)境來保障粒子加速和實驗的精確性。

真空泵是實現(xiàn)上述要求的關(guān)鍵設(shè)備。然而，在很長一段時間里，中國高端真空泵市場被英國Edwards、日本Ebara等海外巨頭壟斷。這些企業(yè)憑借數(shù)十年技術(shù)積累，曾占據(jù)國內(nèi)集成電路領(lǐng)域主要的市場份額，不僅定價高昂，更在關(guān)鍵時期存在斷供風(fēng)險。對于中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)而言，真空泵的“卡脖子”問題，猶如汽車缺少核心發(fā)動機(jī)，再先進(jìn)的生產(chǎn)線也難以順暢運轉(zhuǎn)。

中科儀的崛起，恰逢其時地填補(bǔ)了這一空白。

公開資料顯示，中科儀的歷史可追溯至20世紀(jì)50年代中科院下屬的真空科研事業(yè)單位。自成立以來，公司始終專注于這一細(xì)分領(lǐng)域。1979年，中科儀成功研制出中國第一臺分子束外延設(shè)備（MBE），打破了國外禁運，并先后參與北京正負(fù)電子對撞機(jī)、蘭州重離子加速器等11項國家重大科技基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)，并為上海同步輻射光源提供了70%以上的前端區(qū)設(shè)備。2001年，公司成功研發(fā)出用于科研領(lǐng)域的渦旋干式真空泵，實現(xiàn)了清潔真空環(huán)境，開啟了干式真空泵國產(chǎn)化的序幕；2017年，公司承擔(dān)的國家重大專項成果——干式真空泵產(chǎn)品取得重大突破，實現(xiàn)在中芯國際多條產(chǎn)線的批量應(yīng)用，成為首個批量應(yīng)用于集成電路制造工藝的國產(chǎn)真空獲得設(shè)備制造企業(yè)。徹底打破了國外企業(yè)在該市場的壟斷地位。

值得一提的是，國家集成電路產(chǎn)業(yè)基金作為公司重要股東，持股比例達(dá)19.73%，其戰(zhàn)略投資不僅為公司發(fā)展提供了資金支持，更彰顯了公司在集成電路核心零部件領(lǐng)域的行業(yè)地位與發(fā)展?jié)摿Α?/p>

中科儀亦不負(fù)所望，歷經(jīng)多年發(fā)展，公司已成為國內(nèi)集成電路領(lǐng)域出貨量最大的國產(chǎn)干式真空泵企業(yè)，累計出貨量超4萬臺（其中集成電路領(lǐng)域超3萬臺），2024年國內(nèi)市占率達(dá)12.72%。尤為重要的是，公司是唯一能在14nm先進(jìn)制程實現(xiàn)批量應(yīng)用、唯一能覆蓋清潔/中等/苛刻全工藝的國產(chǎn)廠商。

硬核實力構(gòu)建壁壘，多領(lǐng)域驗證彰顯價值

基于深厚的技術(shù)積淀，中科儀形成了以干式真空泵和真空科學(xué)儀器設(shè)備為核心的產(chǎn)品體系。

其中，干式真空泵是公司主要的收入來源，2024年收入占比達(dá)72.44%。具體而言，中科儀干式真空泵分為L、M、H三大系列：L系列專攻清潔工藝，抽速110-1000m3/h，具有能耗低、體積小的優(yōu)勢；M系列面向中等工藝，突出耐腐蝕性和溫度可控性；H系列則針對苛刻工藝，抽速可達(dá)600-2800m3/h，能耐受強(qiáng)腐蝕和高粉塵環(huán)境，廣泛應(yīng)用于集成電路、光伏、化合物半導(dǎo)體等領(lǐng)域。截至目前，公司已推出近四十款不同型號的干式真空泵，能夠適配AMAT、LAM Research、北方華創(chuàng)、中微、拓荊等30余家國內(nèi)外主流設(shè)備廠商的數(shù)百種機(jī)臺，堪稱為不同應(yīng)用場景量身定制的“潔凈衛(wèi)士”。

公司的真空科學(xué)儀器設(shè)備主要服務(wù)于國家重大科技基礎(chǔ)設(shè)施和前沿科學(xué)研究，客戶多為高校、科研院所，2024年收入占比為16.22%。其中，MBE設(shè)備已迭代至第六代，累計交付60余臺，成功打破了《瓦森納協(xié)定》對我國的禁運限制；為上海同步輻射光源提供了32條前端區(qū)中的23條、34條光束線中的18條，技術(shù)水平達(dá)到國際先進(jìn)。

這些豐碩的技術(shù)成果，源于中科儀強(qiáng)大的研發(fā)體系。公司源自中科院，擁有真空技術(shù)裝備國家工程研究中心、國家真空儀器裝置工程技術(shù)研究中心、國家企業(yè)技術(shù)中心三個國家級研發(fā)平臺。依托于此，公司持續(xù)加大研發(fā)投入，近三年（2022-2024）研發(fā)投入分別為6,008.05萬元、8,465.08萬元和11,008.08萬元，不斷深化技術(shù)積累。截至2025年6月30日，中科儀已擁有發(fā)明專利100項，并作為主要起草方參與制定了13項真空技術(shù)相關(guān)的國家、行業(yè)及團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)，使技術(shù)創(chuàng)新成為驅(qū)動企業(yè)發(fā)展的核心引擎。

此外，公司技術(shù)實力多次獲得權(quán)威認(rèn)可，曾先后獲國家科學(xué)技術(shù)進(jìn)步特等、一等、二等、三等獎共6項，中國科學(xué)院及省部級科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎20余項，其中多項成果填補(bǔ)了國內(nèi)技術(shù)空白。

業(yè)績增長驗證技術(shù)，優(yōu)質(zhì)客戶奠定基礎(chǔ)

技術(shù)的價值，最終需要通過市場表現(xiàn)和財務(wù)業(yè)績來驗證。中科儀持續(xù)增長的財務(wù)數(shù)據(jù)，正是技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)需求同頻共振的最佳體現(xiàn)。

招股書顯示，2022至2024年，公司營業(yè)收入從6.98億元穩(wěn)步增長至10.82億元，復(fù)合增長率達(dá)24.51%；

同期公司扣非歸母凈利潤從6,186.11萬元增至8,787.75萬元，復(fù)合增長率為19.19%。

進(jìn)入2025年，公司業(yè)績增長勢頭不減，前三季度營收同比增長21.93%，扣非歸母凈利潤同比增長8.04%，在行業(yè)波動中展現(xiàn)出穩(wěn)健的增長韌性。

這份增長背后，離不開優(yōu)質(zhì)客戶群的廣泛認(rèn)可與信賴。在集成電路領(lǐng)域，中科儀的產(chǎn)品已進(jìn)入國內(nèi)各大主流晶圓廠，并成功通過臺積電、大連Intel、SK海力士的測試驗證，實現(xiàn)小批量出貨；在光伏領(lǐng)域，2023年公司對隆基綠能的銷售收入達(dá)1.59億元，占當(dāng)年營業(yè)收入的18.67%，成為其核心供應(yīng)商；在科研領(lǐng)域，中國科學(xué)院高能物理研究所、中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)等頂尖科研機(jī)構(gòu)長期選用其真空科學(xué)儀器設(shè)備。

從實驗室的技術(shù)突破到產(chǎn)線的規(guī)?；瘧?yīng)用，從中科院的科研項目到上市公司的業(yè)績增長，中科儀成功完成了從技術(shù)研發(fā)到商業(yè)落地的完整閉環(huán)，讓國產(chǎn)真空技術(shù)不僅實現(xiàn)了自主可控，更具備了強(qiáng)勁的市場競爭力。

政策市場雙重驅(qū)動，募投擴(kuò)產(chǎn)開拓空間

隨著“十四五”規(guī)劃圓滿收官，我國經(jīng)濟(jì)發(fā)展在“十五五”期間迎來新的戰(zhàn)略目標(biāo)：既要大力發(fā)展新型工業(yè)化以取得高質(zhì)量發(fā)展顯著成效，同時必須持續(xù)推進(jìn)科技自立自強(qiáng)，實現(xiàn)重點領(lǐng)域關(guān)鍵核心技術(shù)的快速突破，深化科技創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新融合，顯著增強(qiáng)創(chuàng)新驅(qū)動效能。值得注意的是，“十五五”規(guī)劃明確強(qiáng)調(diào)了集成電路、高端儀器等關(guān)鍵領(lǐng)域的核心技術(shù)攻關(guān)，而“雙碳”目標(biāo)則持續(xù)推動光伏產(chǎn)業(yè)規(guī)模擴(kuò)張，這些政策導(dǎo)向為真空技術(shù)帶來了廣闊的市場前景。

從市場需求端看，近年來人工智能、自動駕駛、物聯(lián)網(wǎng)、機(jī)器人等新興產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展，對算力、存儲、傳感器的需求激增，有力推動了集成電路產(chǎn)業(yè)的持續(xù)向好。根據(jù)SEMI統(tǒng)計數(shù)據(jù)，全球晶圓廠設(shè)備銷售額近年來保持增長態(tài)勢，2024年達(dá)到創(chuàng)紀(jì)錄的1,042.7億美元，預(yù)計2025年將增長至1,107.7億美元。隨著新晶圓廠項目啟動、產(chǎn)能擴(kuò)張及技術(shù)迭代，SEMI預(yù)計2026年銷售額將躍升至1,221.0億美元，較2025年大幅增長10.23%。

另一方面，在產(chǎn)業(yè)政策推動、技術(shù)持續(xù)進(jìn)步和成本不斷下降的共同作用下，中國光伏產(chǎn)業(yè)中長期發(fā)展前景依然光明。光伏年新增裝機(jī)容量從2020年的48.2GW飆升至2024年的277.57GW，年均復(fù)合增長率達(dá)驚人的54.91%。中國光伏行業(yè)協(xié)會（CPIA）預(yù)計，到2030年，我國光伏新增裝機(jī)容量將達(dá)到280-300GW。

在政策與市場的雙輪驅(qū)動下，真空泵市場規(guī)模持續(xù)擴(kuò)容。根據(jù)SEMI預(yù)計數(shù)據(jù)及測算，2024年全球集成電路領(lǐng)域干式真空泵市場規(guī)模約125.74億元。中國作為全球最主要的集成電路市場之一，在政府大力支持下制造能力迅速提升。據(jù)SEMI數(shù)據(jù)測算，2024年中國大陸集成電路領(lǐng)域干式真空泵市場規(guī)模約52.11億元。另據(jù)CPIA《2023-2024年中國光伏產(chǎn)業(yè)年度報告》及iVacuum真空聚焦測算，2024年我國光伏領(lǐng)域干式真空泵市場規(guī)模約47.0-57.2億元，國產(chǎn)替代空間依然廣闊。

面對廣闊的市場機(jī)遇，中科儀已前瞻布局。本次IPO，公司擬募集資金8.25億元，主要投向以下三個項目：

其中干式真空泵產(chǎn)業(yè)化建設(shè)項目達(dá)產(chǎn)后，公司各類干式真空泵年產(chǎn)能將提升至2.65萬臺，進(jìn)一步強(qiáng)化生產(chǎn)制造優(yōu)勢，滿足市場持續(xù)增長的需求。

高端半導(dǎo)體設(shè)備擴(kuò)產(chǎn)及研發(fā)中心建設(shè)項目聚焦于H系列干式真空泵。該系列產(chǎn)品是集成電路設(shè)備（如刻蝕、PVD、CVD等工藝）中的重要配套設(shè)備，同時也可應(yīng)用于包括光伏在內(nèi)的泛半導(dǎo)體領(lǐng)域。

新一代干式真空泵及大抽速干式螺桿泵研發(fā)項目則旨在針對半導(dǎo)體領(lǐng)域研發(fā)超高速節(jié)能泵、超高溫泵等新一代干式真空泵產(chǎn)品；同時面向泛半導(dǎo)體、工業(yè)真空、儀器制造及科學(xué)研究等市場，開發(fā)大抽速干式螺桿真空泵及羅茨螺桿真空泵機(jī)組。項目完成后將極大豐富公司產(chǎn)品線、增強(qiáng)技術(shù)優(yōu)勢，并進(jìn)一步拓展干式真空泵的應(yīng)用場景和市場空間。

資本市場稀缺標(biāo)的，自主可控關(guān)鍵力量

從中科院的實驗室到半導(dǎo)體工廠的產(chǎn)線，從“兩彈一星”時期的技術(shù)攻關(guān)到當(dāng)下的國產(chǎn)替代浪潮，中科儀的歷程，正是中國真空技術(shù)從無到有、從弱到強(qiáng)的生動縮影。

從資本市場視角審視，中科儀具備顯著的稀缺性與先進(jìn)性。公司不僅身處集成電路、光伏等高增長賽道，擁有穩(wěn)定的優(yōu)質(zhì)客戶群和亮眼的業(yè)績表現(xiàn)，更具備清晰的募投規(guī)劃與可持續(xù)的成長路徑。在國產(chǎn)替代加速、科技自立自強(qiáng)的時代洪流中，其未來的成長具有高度的確定性。隨著IPO進(jìn)程的推進(jìn)，中科儀不僅將實現(xiàn)自身技術(shù)價值與市場價值的同步躍升，更將為中國高端裝備制造業(yè)的自主可控貢獻(xiàn)更為堅實的力量。