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中科院學(xué)者:中國(guó)半導(dǎo)體突圍的關(guān)鍵,不是抄襲 ASML,而是創(chuàng)造屬于自己的制造體系

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在全球科技競(jìng)爭(zhēng)日益激烈的今天,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)已成為經(jīng)濟(jì)、科技與國(guó)家安全的戰(zhàn)略核心。中國(guó)作為全球最大芯片消費(fèi)國(guó),芯片自立自強(qiáng)不僅是產(chǎn)業(yè)發(fā)展的迫切需求,更是國(guó)家戰(zhàn)略的重大戰(zhàn)略支點(diǎn)。然而,在如何突破半導(dǎo)體關(guān)鍵技術(shù)瓶頸問題上,一個(gè)真實(shí)而深刻的聲音正在行業(yè)內(nèi)部悄然形成:中科院等科研力量認(rèn)為,中國(guó)半導(dǎo)體的突圍,關(guān)鍵不在于“抄襲”或復(fù)制國(guó)外技術(shù)如荷蘭 ASML 的光刻機(jī),而在于構(gòu)建屬于自己的全鏈條制造體系。

提起中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè),不少外界觀點(diǎn)過度聚焦于一件事:逆向工程、拆解光刻機(jī)、甚至“抄襲”國(guó)外先進(jìn)設(shè)備。近年來(lái),有媒體和互聯(lián)網(wǎng)上屢次出現(xiàn)中國(guó)科研團(tuán)隊(duì)拆解外購(gòu)光刻機(jī)、反向分析設(shè)備功能的說(shuō)法,稱這或許是中國(guó)突破“卡脖子”技術(shù)的捷徑。

但事實(shí)遠(yuǎn)沒有表面那么簡(jiǎn)單。

一方面,荷蘭 ASML 在極紫外(EUV)和高端 DUV 光刻機(jī)領(lǐng)域長(zhǎng)期保持絕對(duì)技術(shù)領(lǐng)先與產(chǎn)業(yè)壟斷。從設(shè)備制造精密度、光學(xué)組件、控制軟件到制造工藝體系,這些技術(shù)都經(jīng)過數(shù)十年積累與全球供應(yīng)鏈協(xié)同優(yōu)化。即使逆向工程與拆解,也很難真正“復(fù)制”其核心技術(shù)。更重要的是,僅僅靠模仿構(gòu)件結(jié)構(gòu),并不能真正掌握先進(jìn)制造的能力。

另一方面,國(guó)外專家指出,即使中國(guó)團(tuán)隊(duì)獲得了某些設(shè)備樣機(jī)并分析其結(jié)構(gòu),這些機(jī)器的關(guān)鍵部件和高精度性能仍無(wú)法單靠“模仿”就能達(dá)標(biāo),更無(wú)法實(shí)現(xiàn)大規(guī)模量產(chǎn)與穩(wěn)定良率。

因此,“抄襲 ASML”在技術(shù)層面既不現(xiàn)實(shí),也無(wú)法形成可持續(xù)的競(jìng)爭(zhēng)力。而且,這種討論本身也對(duì)中國(guó)自主創(chuàng)新的路徑產(chǎn)生誤解——這不是技術(shù)成長(zhǎng)的主線,而是旁支。

真正的突破,始于中國(guó)自主創(chuàng)新體系的建設(shè)。這不僅是技術(shù)研發(fā)的問題,更涉及產(chǎn)業(yè)鏈、人才培養(yǎng)、生態(tài)系統(tǒng)與戰(zhàn)略布局等多層面協(xié)同推進(jìn)。

1. 構(gòu)建全鏈條的設(shè)備與材料創(chuàng)新體系

半導(dǎo)體制造體系并非只是某一臺(tái)光刻機(jī),而是一個(gè)由材料、設(shè)備、軟件、制造工藝、測(cè)試系統(tǒng)等環(huán)境構(gòu)成的完整生態(tài)。中國(guó)在材料、工藝裝備方面已經(jīng)逐步形成自己的力量。例如在清洗、刻蝕、離子注入等多個(gè)環(huán)節(jié),中國(guó)企業(yè)在成熟工藝節(jié)點(diǎn)上快速取得進(jìn)展,推動(dòng)國(guó)產(chǎn)設(shè)備逐步進(jìn)入全球供應(yīng)鏈。

中科院以及國(guó)內(nèi)科研機(jī)構(gòu)也在光刻關(guān)鍵部件上開展創(chuàng)新。例如一些獨(dú)立路徑的光源技術(shù)、光學(xué)設(shè)計(jì)理念,試圖突破傳統(tǒng)依賴稀有氣體激光光源的設(shè)計(jì)理念,尋找新的技術(shù)路徑,這種原創(chuàng)性探索才是真正打造核心競(jìng)爭(zhēng)力的方向。

2. 打造“閉環(huán)可控”的國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體生態(tài)

國(guó)際經(jīng)驗(yàn)告訴我們,領(lǐng)先的芯片制造能力不只是擁有一兩個(gè)核心設(shè)備,而是一個(gè)“閉環(huán)可控”的體系。荷蘭的光刻機(jī)之所以領(lǐng)先,不僅因?yàn)樗暮诵募夹g(shù)積累,還因?yàn)楸澈笥扇虿牧瞎?yīng)商、精密加工制造商、系統(tǒng)集成商與軟件開發(fā)者共同組成了高效協(xié)作的創(chuàng)新生態(tài)。

中國(guó)目前在大部分半導(dǎo)體設(shè)備類別上已具備一定的產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ),但在高端光刻、EDA 軟件等核心環(huán)節(jié)仍存在明顯短板。據(jù)市場(chǎng)研究顯示,中國(guó)國(guó)內(nèi)設(shè)備自給率在一些關(guān)鍵設(shè)備上仍非常低,尤其是近年來(lái)出口管制針對(duì)成熟 DUV 及 EUV 光刻設(shè)備的限制,使得自給能力面臨巨大挑戰(zhàn)。

科技創(chuàng)新講究的是“認(rèn)知領(lǐng)先、路線領(lǐng)先”。與其試圖復(fù)制 ASML 現(xiàn)有的技術(shù)路徑,不如在某些關(guān)鍵技術(shù)上開辟全新的解決方案。這并非空中樓閣——在一些基礎(chǔ)科學(xué)與應(yīng)用技術(shù)上,中國(guó)科研團(tuán)隊(duì)已經(jīng)開始探索與傳統(tǒng)不同的創(chuàng)新方向,嘗試打通長(zhǎng)期被國(guó)外壟斷的核心環(huán)節(jié)。

這意味著,中國(guó)的半導(dǎo)體發(fā)展必須跳出“追趕式復(fù)制”的思維框架,進(jìn)入面向未來(lái)的創(chuàng)新設(shè)計(jì)體系。例如通過在某些設(shè)備本質(zhì)上采用新的光源、光學(xué)結(jié)構(gòu)、機(jī)械設(shè)計(jì)等手段來(lái)規(guī)避現(xiàn)有專利封鎖,同時(shí)形成全新的知識(shí)產(chǎn)權(quán)體系。

中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的另一關(guān)鍵是戰(zhàn)略上的全局布局和長(zhǎng)期投入。僅靠市場(chǎng)自發(fā)力量,難以形成對(duì)重技術(shù)領(lǐng)域的突破。因此,中國(guó)實(shí)施了國(guó)家級(jí)戰(zhàn)略投資(如“大基金”),并推動(dòng)科研機(jī)構(gòu)、企業(yè)共同在材料、設(shè)備、制造、設(shè)計(jì)等領(lǐng)域投入研發(fā)資源。這種系統(tǒng)性支持,是任何單一企業(yè)或短期投入無(wú)法替代的。

更重要的是,中國(guó)強(qiáng)調(diào)的是“從基礎(chǔ)到應(yīng)用、從設(shè)計(jì)到制造、從材料到設(shè)備”的全鏈條發(fā)展。這種體系化布局直接應(yīng)對(duì)了國(guó)際出口管制和技術(shù)封鎖,推動(dòng)中國(guó)在某些細(xì)分設(shè)備和制造步驟中加速趕超。

中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)面臨的挑戰(zhàn)是全方位的,但這正是中國(guó)科技力量發(fā)展的機(jī)遇所在。抄襲別人的技術(shù)或許在短期內(nèi)看似能提供某些“突破”,但只能是表面現(xiàn)象,不可能構(gòu)成持續(xù)競(jìng)爭(zhēng)力。

這是一場(chǎng)長(zhǎng)期而艱巨的戰(zhàn)略工程,沒有捷徑可走,但只要堅(jiān)持原創(chuàng)與自身體系建設(shè),中國(guó)必將在全球半導(dǎo)體舞臺(tái)上贏得立足之地。而這條路,不是抄襲別人,而是踏踏實(shí)實(shí)“造自己的半導(dǎo)體之路”。

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