最近美國論壇上吵翻了天。

一群美國人滿臉疑惑，覺得中國太“大膽”，沒經(jīng)過美國允許就敢私自研發(fā)DUV光刻板。

他們壓根想不通，為啥中國不乖乖聽話，非要自己搞這種“高精尖”設(shè)備。

其實這事兒說起來一點不復(fù)雜。

不是中國故意對著干，而是現(xiàn)實逼得不得不干。

更是中國作為主權(quán)國家的正當(dāng)權(quán)利。

美國瘋狂卡脖子

DUV光刻板是制造芯片的關(guān)鍵部件。

手機(jī)、電腦、汽車?yán)锏男酒?，大多得靠它來生產(chǎn)。

中國是全球最大的芯片消費國，對DUV相關(guān)設(shè)備的需求一直特別大。

以前中國企業(yè)還能從荷蘭ASML公司進(jìn)口DUV光刻機(jī)。

巔峰時期中國市場占了ASML全球營收的40%，進(jìn)口的DUV光刻機(jī)超120臺。

可美國早就看不得中國順暢發(fā)展，一步步收緊封鎖。

2022年美國出臺新規(guī)，把高端DUV光刻機(jī)納入出口管制，審批周期硬生生拉長到18個月。

到了2023年，更是逼著荷蘭禁售大部分浸沒式DUV機(jī)型，還威脅制裁相關(guān)供應(yīng)商。

這還不算完，美國連設(shè)備維修備件都限制供應(yīng)，導(dǎo)致國內(nèi)部分晶圓廠的老設(shè)備壞了修不了，只能閑置。

美國的心思很明顯，就是想通過封鎖讓中國芯片產(chǎn)業(yè)停擺。

他們覺得只要鎖死高端設(shè)備，中國就沒法生產(chǎn)先進(jìn)芯片，只能一直依賴進(jìn)口。

可他們忘了，中國從來不吃“威脅恐嚇”這一套，你越不讓我用，我越要自己造。

不研發(fā)就被拿捏

中國的制造業(yè)規(guī)模擺在這。

從日常的手機(jī)電腦，到工業(yè)用的機(jī)床、汽車電子，每年需要海量芯片。

2025年國內(nèi)對DUV光刻機(jī)的需求量已經(jīng)達(dá)到280臺。

光汽車電子領(lǐng)域的芯片需求，每年就以23%的速度增長。

如果不自主研發(fā)DUV光刻板，中國企業(yè)就只能被別人卡脖子。

進(jìn)口設(shè)備價格高不說，還隨時可能被斷供。

一旦斷供，下游的電子、通信、汽車等眾多產(chǎn)業(yè)都會受影響。

無數(shù)企業(yè)可能面臨停工，相關(guān)崗位也會受波及。

這不是危言聳聽，而是實實在在的風(fēng)險。

更關(guān)鍵的是，別人的技術(shù)再好，也不會真心分享。

西方一直覺得中國囤積的DUV光刻機(jī)頂多只能生產(chǎn)低端芯片，突破不了先進(jìn)制程。

可中國通過技術(shù)創(chuàng)新，用多重曝光技術(shù)實現(xiàn)了高端芯片生產(chǎn)。

中芯國際依托儲備的DUV光刻機(jī)，采用N+2工藝已經(jīng)實現(xiàn)7nm芯片穩(wěn)定量產(chǎn)，良率超過80%。

這說明DUV技術(shù)還有很大潛力。

中國必須牢牢抓在自己手里。

中國硬氣有底氣

中國敢研發(fā)DUV光刻板，不是一時沖動。

而是有實打?qū)嵉牡讱狻?/strong>

國家早就把集成電路產(chǎn)業(yè)當(dāng)成重點發(fā)展領(lǐng)域。

出臺了專門政策支持關(guān)鍵核心技術(shù)研發(fā)，構(gòu)建新型舉國體制攻關(guān)。

國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金三期還劃撥300億元專項支持。

重點投向光源、光學(xué)系統(tǒng)等核心模塊。

企業(yè)和科研機(jī)構(gòu)更是全力沖刺。

上海微電子推出的SSA800系列DUV光刻機(jī)，已經(jīng)實現(xiàn)28nm制程的曝光能力，還通過了中芯國際的驗證。

核心部件的突破更是讓人振奮。

杭州雷聲激光的全固態(tài)深紫外激光器實現(xiàn)規(guī)模化穩(wěn)定量產(chǎn)，核心性能達(dá)到國際領(lǐng)先水平。

科益虹源的40W級ArF準(zhǔn)分子激光光源量產(chǎn)，華卓精科的雙工件臺定位精度達(dá)到1.7nm。

都打破了國外壟斷。

科研力量和企業(yè)的協(xié)同作戰(zhàn)更是高效。

中科院、清華大學(xué)等科研機(jī)構(gòu)和企業(yè)合作，把光刻膠驗證周期從18個月壓縮到14個月。

國內(nèi)晶圓廠也紛紛掌握多重曝光技術(shù)。

不僅滿足了國內(nèi)產(chǎn)業(yè)需求，還逐步打破西方壟斷。

2025年DUV相關(guān)設(shè)備國產(chǎn)化率已經(jīng)從2023年的不足5%提升至15%。

上海微電子的600系列90nm光刻機(jī)，占據(jù)了國內(nèi)80%的市場份額。

中國研發(fā)DUV光刻板，從來不需要美國“允許”。

每個主權(quán)國家都有權(quán)利發(fā)展自己的核心技術(shù)，保障本國產(chǎn)業(yè)安全。

美國的封鎖不僅沒攔住中國，反而倒逼中國加快了自主研發(fā)的腳步。

現(xiàn)在的中國，已經(jīng)在DUV領(lǐng)域走出了自己的路。

未來還會繼續(xù)穩(wěn)步前進(jìn)，打破更多技術(shù)壟斷。

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