【前沿未來培訓(xùn)】原子級(jí)制造發(fā)展現(xiàn)狀、關(guān)鍵技術(shù)、應(yīng)用創(chuàng)新、產(chǎn)業(yè)變革和發(fā)展趨勢(shì)

一、緒論與戰(zhàn)略定位：原子尺度的制造革命

1.1 原子級(jí)制造的概念與內(nèi)涵

1.1.1 從微米制造到原子制造：精度極限的跨越

1.1.2 原子級(jí)制造的核心目標(biāo)：批量原子操控

1.1.3 后摩爾時(shí)代的戰(zhàn)略制高點(diǎn)與技術(shù)意義

1.2 全球發(fā)展態(tài)勢(shì)與國家戰(zhàn)略布局

1.2.1 歐美日等主要經(jīng)濟(jì)體研究進(jìn)展

1.2.2 中國自然科學(xué)基金重大研究計(jì)劃的科學(xué)目標(biāo)

1.2.3 2026政策元年：北京行動(dòng)計(jì)劃的出臺(tái)與目標(biāo)解讀

1.3 核心科學(xué)問題與攻關(guān)方向

1.3.1 原子級(jí)結(jié)構(gòu)基元與能場(chǎng)的相互作用機(jī)制

1.3.2 限域空間內(nèi)原子級(jí)基元的傳質(zhì)與組裝機(jī)理

1.3.3 原子級(jí)形性參量探測(cè)的敏感機(jī)制與增強(qiáng)方法

二、發(fā)展現(xiàn)狀：從基礎(chǔ)研究向工程化邁進(jìn)

2.1 國家科技計(jì)劃布局

2.1.1 2026年度國家自然科學(xué)基金資助體系（培育/重點(diǎn)/集成項(xiàng)目）

2.1.2 重點(diǎn)支持方向：高端芯片、新能源材料、航空航天

2.1.3 企業(yè)聯(lián)合申報(bào)機(jī)制的建立

2.2 區(qū)域創(chuàng)新高地建設(shè)

2.2.1 北京方案：2026-2028年“軟件-裝備-應(yīng)用”全鏈條布局

2.2.2 南京大學(xué)牽頭：原子級(jí)制造重大科技基礎(chǔ)設(shè)施簽約

2.2.3 京津冀、長三角、成渝地區(qū)的差異化定位

2.3 當(dāng)前研發(fā)階段與核心瓶頸

2.3.1 基礎(chǔ)原理層：量子效應(yīng)與界面態(tài)調(diào)控的認(rèn)知深化

2.3.2 關(guān)鍵裝備層：國產(chǎn)化率與“卡脖子”環(huán)節(jié)識(shí)別

2.3.3 工程化瓶頸：從實(shí)驗(yàn)室走向產(chǎn)線的效率與良率挑戰(zhàn)

2.3.4 人才短板：多學(xué)科交叉復(fù)合型人才的培養(yǎng)需求

三、關(guān)鍵技術(shù)：四類核心裝備與軟件體系

3.1 原子級(jí)制造軟件支撐體系（大腦與設(shè)計(jì)）

3.1.1 原子級(jí)動(dòng)態(tài)仿真軟件：多場(chǎng)耦合模擬與工藝優(yōu)化

3.1.2 原子級(jí)制造工藝設(shè)計(jì)軟件：界面性質(zhì)預(yù)測(cè)與材料設(shè)計(jì)

3.1.3 原子級(jí)相變調(diào)控軟件：遍歷性搜索與良率改良

3.1.4 原子級(jí)表面檢測(cè)軟件：檢測(cè)裝備配套與工程應(yīng)用

3.1.5 原子級(jí)制造基礎(chǔ)數(shù)據(jù)庫：結(jié)構(gòu)篩選與逆向設(shè)計(jì)支撐

3.2 原子級(jí)加工裝備（去除與減?。?/p>

3.2.1 單晶硅晶圓埃米級(jí)去除裝備（化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)）

3.2.2 硅晶圓原子級(jí)精度刻蝕裝備

3.2.3 半導(dǎo)體晶圓微米級(jí)減薄裝備（先進(jìn)封裝需求）

3.2.4 超高速軸承材料制備裝備（超滑近零損傷）

3.2.5 二維金屬材料制備裝備（范德華擠壓技術(shù)）

3.2.6 半導(dǎo)體超高真空環(huán)境保持裝備

3.3 原子級(jí)構(gòu)筑裝備（生長與添加）

3.3.1 薄膜沉積裝備：原子級(jí)厚度薄膜制備

3.3.2 靶材制備裝備：?jiǎn)尉с~靶材規(guī)?；苽?/p>

3.3.3 外延生長裝備：二維半導(dǎo)體材料單原子層薄膜

3.3.4 離子注入裝備：精準(zhǔn)摻雜控制技術(shù)

3.3.5 原子級(jí)圖案化結(jié)構(gòu)構(gòu)筑裝備（自組裝/掃描探針/納米壓?。?/p>

3.3.6 硅基可控碳原子連續(xù)沉積裝備

3.4 原子級(jí)測(cè)量裝備（檢測(cè)與表征）

3.4.1 激光干涉測(cè)量裝備：亞埃級(jí)精度位置測(cè)量

3.4.2 封裝檢測(cè)裝備：磁場(chǎng)/溫度場(chǎng)/原子力/掃描電鏡

3.4.3 超低濃度污染物檢測(cè)裝備：ppb級(jí)氣體傳感

3.4.4 原子級(jí)測(cè)控一體化前沿技術(shù)

四、應(yīng)用創(chuàng)新：半導(dǎo)體引領(lǐng)，新材料跟進(jìn)

4.1 半導(dǎo)體制造領(lǐng)域（核心主戰(zhàn)場(chǎng)）

4.1.1 先進(jìn)制程芯片制造：埃米級(jí)去除與原子層刻蝕

4.1.2 三維芯片互連：超高深寬比納米結(jié)構(gòu)的原子級(jí)填充

4.1.3 先進(jìn)封裝：晶圓減薄與高帶寬存儲(chǔ)器堆疊

4.1.4 單晶硅/碳化硅襯底原子級(jí)平坦化

4.2 新材料創(chuàng)制領(lǐng)域

4.2.1 二維材料制備：二硫化鉬等單原子層薄膜

4.2.2 單晶銅靶材與高純金屬材料

4.2.3 新型耐高溫半導(dǎo)體材料的原子級(jí)構(gòu)筑

4.2.4 多元氧化物界面缺陷精準(zhǔn)調(diào)控

4.3 前沿器件與特種應(yīng)用

4.3.1 量子計(jì)算器件：原子級(jí)精度結(jié)構(gòu)構(gòu)筑

4.3.2 柔性電子器件：宏觀基底上的納米材料圖案化

4.3.3 航空航天：超高速軸承與高性能核心部件

4.3.4 拓?fù)涔庾悠骷c原子級(jí)光學(xué)反射器件

五、產(chǎn)業(yè)變革：從實(shí)驗(yàn)室走向產(chǎn)業(yè)鏈

5.1 產(chǎn)業(yè)鏈結(jié)構(gòu)分析

5.1.1 上游：原子級(jí)制造軟件、基礎(chǔ)數(shù)據(jù)庫、核心材料

5.1.2 中游：加工/構(gòu)筑/測(cè)量裝備的國產(chǎn)化進(jìn)程

5.1.3 下游：半導(dǎo)體、新材料、航空航天等應(yīng)用領(lǐng)域

5.2 產(chǎn)業(yè)生態(tài)培育

5.2.1 企業(yè)梯度培育體系：從科技型中小企業(yè)到單項(xiàng)冠軍

5.2.2 “產(chǎn)學(xué)研用”協(xié)同創(chuàng)新模式：南京大學(xué)-國機(jī)集團(tuán)合作案例

5.2.3 原子級(jí)制造創(chuàng)新發(fā)展聯(lián)盟的組建

5.2.4 標(biāo)準(zhǔn)化委員會(huì)與中試平臺(tái)建設(shè)

5.3 投融資與政策支持

5.3.1 國家專項(xiàng)資金與市區(qū)財(cái)政統(tǒng)籌

5.3.2 “創(chuàng)贏未來”早期項(xiàng)目路演與孵化

5.3.3 瞪羚企業(yè)、獨(dú)角獸企業(yè)的識(shí)別與培育

5.3.4 軍民融合與國家戰(zhàn)略場(chǎng)景對(duì)接

六、發(fā)展趨勢(shì)：邁向原子精準(zhǔn)制造時(shí)代

6.1 技術(shù)演進(jìn)趨勢(shì)

6.1.1 從單一工藝到“成組連線”集成驗(yàn)證

6.1.2 人工智能賦能：機(jī)器學(xué)習(xí)加速工藝優(yōu)化與仿真

6.1.3 多物理場(chǎng)耦合技術(shù)的深度應(yīng)用

6.1.4 跨尺度制造：從原子級(jí)到宏觀性能的關(guān)聯(lián)建模

6.2 產(chǎn)業(yè)應(yīng)用拓展

6.2.1 亞納米級(jí)芯片制造的終極解決方案

6.2.2 新能源材料與高效能源器件的突破

6.2.3 生物醫(yī)療與精密儀器領(lǐng)域的潛在應(yīng)用

6.2.4 特種粉末材料制備的產(chǎn)業(yè)化前景

6.3 投資機(jī)會(huì)與戰(zhàn)略建議

6.3.1 核心增量環(huán)節(jié)：原子級(jí)仿真軟件與檢測(cè)裝備

6.3.2 關(guān)鍵耗材：高純靶材、拋光液、真空部件

6.3.3 平臺(tái)型設(shè)施：重大科技基礎(chǔ)設(shè)施的開放共享

6.3.4 風(fēng)險(xiǎn)提示：基礎(chǔ)理論突破難度與產(chǎn)業(yè)化周期過長

6.3.5 戰(zhàn)略建議：搶占標(biāo)準(zhǔn)制定權(quán)與人才培養(yǎng)體系

授課老師：北京前沿未來科技產(chǎn)業(yè)發(fā)展研究院院長 陸峰博士

聯(lián)系電話13716300228（微信同號(hào)）

（信息來源：北京前沿未來科技產(chǎn)業(yè)發(fā)展研究院）