一顆比太陽(yáng)還熱的“錫炸彈”，正在悄悄改寫整個(gè)半導(dǎo)體行業(yè)的游戲規(guī)則。

全球芯片制造業(yè)的“心臟”剛剛跳動(dòng)出新的節(jié)奏。

2月23日，荷蘭光刻機(jī)巨頭阿斯麥（ASML）扔出了一枚重磅消息：他們的研究人員找到了給極紫外（EUV）光刻機(jī)“加功率”的新方法。到2030年，芯片的產(chǎn)量可能會(huì)直接拉高50%。

這意味著什么？簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)，就是以后咱們用的手機(jī)、電腦里的芯片，生產(chǎn)成本可能會(huì)更低，產(chǎn)能也可能沒(méi)那么緊張了。

從600瓦到1000瓦，難的其實(shí)不是“加馬力”

先給大家科普個(gè)小知識(shí)?，F(xiàn)在的芯片，大多都是用光“刻”出來(lái)的。而到了最先進(jìn)的制程（比如3納米、2納米），就得用ASML家的極紫外光刻機(jī)。這種機(jī)器能發(fā)出的光，波長(zhǎng)只有13.5納米，可以用來(lái)“畫”出極小極小的電路 。

但是，要產(chǎn)生這種光，難度極大。

ASML的首席技術(shù)官邁克爾·珀維斯打了個(gè)比方，這個(gè)過(guò)程不像擰個(gè)燈泡那么簡(jiǎn)單。目前的光源功率是600瓦，現(xiàn)在他們做到了穩(wěn)定輸出1000瓦。

怎么做到的呢？關(guān)鍵在于那個(gè)產(chǎn)生光的“心臟”部件——錫滴發(fā)生器。

這就像在高速公路上，精準(zhǔn)擊中兩顆飛行的子彈

為了產(chǎn)生極紫外光，機(jī)器得先往真空室里噴出一串串 molten（熔融狀態(tài)）的錫滴?，F(xiàn)在，這個(gè)速度被提到了每秒大約10萬(wàn)滴

然后，用二氧化碳激光去轟擊這些錫滴，把它加熱成等離子體（一種比太陽(yáng)表面還熱的物質(zhì)狀態(tài)），等離子體再發(fā)出極紫外光。

以前是打一槍，現(xiàn)在為了提高功率，ASML改成了先用兩次小的激光脈沖去“塑形”，再用主激光去轟擊 。這就好比以前是一槍打一個(gè)飛盤，現(xiàn)在要精確計(jì)算，用兩次輕碰先把飛盤調(diào)整好位置，再一擊必殺。

珀維斯說(shuō)，這需要把激光技術(shù)、材料科學(xué)和等離子體科學(xué)揉在一起，還得掌握納米級(jí)的精準(zhǔn)度。所以這根本不是“花拳繡腿”，是實(shí)打?qū)嵞茉诠S里24小時(shí)不停干活的技術(shù) 。

對(duì)先進(jìn)制造業(yè)的沖擊波：不僅僅是變快

這項(xiàng)技術(shù)突破，對(duì)于我們先進(jìn)制造業(yè)的觀察來(lái)說(shuō)，有三層深意：

1. 單顆芯片的成本真的能降下來(lái)

目前ASML的NXE系列光刻機(jī)，每小時(shí)能處理大概220片晶圓。升級(jí)后，到2030年這個(gè)數(shù)字會(huì)飆升到330片。別看只是多了這110片，每片晶圓上能切出幾百甚至幾千顆芯片。按這個(gè)算法，總產(chǎn)量提升接近50% 。產(chǎn)量高了，分?jǐn)偟矫款w芯片上的設(shè)備折舊費(fèi)、電費(fèi)、時(shí)間成本自然就低了。

2. 給2納米乃至1納米鋪路

更高的光源功率，不僅僅是為了快。高功率能讓曝光過(guò)程更穩(wěn)定，圖案轉(zhuǎn)移更精準(zhǔn)，這就直接提升了良率。對(duì)于正在攻關(guān)2納米及以下制程的臺(tái)積電、英特爾、三星來(lái)說(shuō)，光源功率不夠，后面的路就走不下去。千瓦級(jí)的光源，是通往更先進(jìn)制程的入場(chǎng)券。

3. AI算力饑渴的“解藥”

現(xiàn)在AI大模型這么火，算力卡脖子的一大原因就是先進(jìn)芯片不夠用。OpenAI這類公司燒錢燒得厲害，就是買不到足夠的GPU 。ASML這一波加功率，相當(dāng)于直接給AI軍備競(jìng)賽的“后方彈藥庫(kù)”補(bǔ)充了產(chǎn)能。

光刻機(jī)里的“三體”問(wèn)題

值得一提的是，把功率做大了，還會(huì)帶來(lái)新麻煩。

就像電腦超頻后散熱會(huì)壓不住一樣，1000瓦的極紫外光功率，對(duì)機(jī)器里的零件是個(gè)巨大考驗(yàn)。特別是那塊用來(lái)保護(hù)光刻掩模版、薄到透明的“pellicle”（防塵膜）。以前四五百瓦的時(shí)候，這東西幾天就被上萬(wàn)度的高溫蒸發(fā)了 。

現(xiàn)在功率翻倍，怎么讓這些脆弱又關(guān)鍵的膜扛得??？這又是一個(gè)材料學(xué)上的難題。但ASML表示，他們看到的是一條通往1500瓦甚至2000瓦的清晰路徑 。

留給追趕者的時(shí)間不多了

目前，ASML是全球唯一能造這種級(jí)別極紫外光刻機(jī)的公司。雖然美國(guó)有幾家初創(chuàng)公司（比如xLight）拿到了政府錢想搞競(jìng)爭(zhēng)，中國(guó)也在拼命攻關(guān)，但ASML這一波操作，又把起跑線往前挪了一大截 。

當(dāng)別人還在研究怎么把光“點(diǎn)著”的時(shí)候，ASML已經(jīng)在研究怎么把火“燒得更旺”還能“不燒壞鍋”了。

對(duì)于我們這個(gè)手機(jī)不離手、AI應(yīng)用不斷涌現(xiàn)的時(shí)代來(lái)說(shuō)，藏在背后的這些冰冷機(jī)器和滾燙的錫滴，才是真正的“推手”。