前沿導(dǎo)讀

據(jù)《聯(lián)合早報(bào)》新聞指出，美國(guó)國(guó)會(huì)議員提出新法案，要求收緊在制造設(shè)備上面的出口管制，重點(diǎn)約束荷蘭ASML、日本東京電子等企業(yè)的對(duì)華出口。

新法案包括禁止相關(guān)企業(yè)工程師在中國(guó)部分地區(qū)對(duì)已有的設(shè)備進(jìn)行維護(hù)和維修服務(wù)，而且還要在現(xiàn)有的技術(shù)管控上再次將范圍擴(kuò)大，對(duì)ASML制造的所有浸潤(rùn)式DUV光刻機(jī)實(shí)施更加嚴(yán)格的限制。

目前荷蘭僅要求ASML對(duì)部分先進(jìn)的浸潤(rùn)式光刻機(jī)申請(qǐng)出口許可，并且針對(duì)的客戶群體有限，并沒(méi)有覆蓋所有中國(guó)客戶。新法案的落地，將會(huì)把覆蓋范圍拉到最大，完全禁止DUV光刻機(jī)與中國(guó)企業(yè)之間的聯(lián)系，極大壓縮ASML中國(guó)區(qū)的生存空間。

參考資料：
美議員提議收緊荷蘭日本企業(yè)對(duì)華晶片設(shè)備出口管制 | 聯(lián)合早報(bào)網(wǎng)

• https://www.zaobao.com/news/china/story20260403-8836891

持續(xù)施壓

2018年，就在美國(guó)重啟對(duì)中興的制裁之后，中芯國(guó)際用1.2億美元的價(jià)格緊急向ASML訂購(gòu)了一臺(tái)EUV光刻機(jī)。

這個(gè)采購(gòu)價(jià)格相當(dāng)于中芯國(guó)際前一年的全年利潤(rùn)，也在側(cè)面凸顯出了EUV光刻機(jī)對(duì)于中國(guó)芯片制造業(yè)的重要程度。沒(méi)有這臺(tái)設(shè)備，中芯國(guó)際的國(guó)產(chǎn)7nm工藝就無(wú)法進(jìn)入測(cè)試階段，更不要說(shuō)實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)了。

EUV光刻機(jī)屬于歐洲企業(yè)制造的芯片產(chǎn)業(yè)最頂級(jí)的工業(yè)設(shè)備，需要受到《瓦森納協(xié)議》的影響?！锻呱{協(xié)議》是由美國(guó)主導(dǎo)建立的制裁條例，禁止歐美地區(qū)的企業(yè)未經(jīng)允許將最先進(jìn)的科技設(shè)備運(yùn)送到中國(guó)本土企業(yè)手中。

不過(guò)ASML發(fā)言人表示，此次合作并沒(méi)有違反瓦森納協(xié)議，所有客戶都是平等的，而且中芯國(guó)際是由美籍華人張汝京所建立，其股東構(gòu)成多元化，業(yè)務(wù)板塊面向全球，EUV光刻機(jī)出口到中國(guó)完全沒(méi)有問(wèn)題。

參考資料：
日媒：中芯1.2億美元下單最先進(jìn)EUV光刻機(jī)，相當(dāng)于去年利潤(rùn)

• https://www.guancha.cn/industry-science/2018_05_17_457129.shtml

但是時(shí)至今日，這臺(tái)EUV光刻機(jī)不但沒(méi)有交付給中芯國(guó)際，反而還連帶著上一代浸潤(rùn)式光刻機(jī)也被實(shí)施限制。

根據(jù)復(fù)旦大學(xué)一帶一路及全球治理研究院發(fā)布的資料顯示，2019年12月，瓦森納協(xié)議進(jìn)行了新一輪修訂，新增了對(duì)計(jì)算光刻軟件、12英寸大硅片切磨拋技術(shù)的出口管制。隨后美國(guó)工業(yè)和安全局便依照瓦森納協(xié)議新增加的項(xiàng)目，對(duì)中國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)實(shí)施更加嚴(yán)厲的制裁措施。

參考資料：
“瓦森納安排”轉(zhuǎn)向，技術(shù)打壓中國(guó)？ - 研究資訊 - 復(fù)旦大學(xué)一帶一路及全球治理研究院

• https://brgg.fudan.edu.cn/articleinfo_2788_9.html/images/images/webeditor/uploadfile/file/articleinfo_3695.html

2020年，被美國(guó)列入實(shí)體清單的中國(guó)企業(yè)將無(wú)法獲得制造10nm及以下技術(shù)節(jié)點(diǎn)的產(chǎn)品或技術(shù)。

2021年，美國(guó)聯(lián)合歐洲、日本、韓國(guó)、中國(guó)臺(tái)灣企業(yè)在內(nèi)的64家半導(dǎo)體供應(yīng)鏈組建美國(guó)半導(dǎo)體聯(lián)盟（芯片四方聯(lián)盟），開(kāi)始在供應(yīng)鏈層級(jí)對(duì)中國(guó)自主芯片實(shí)施出口管制。

2023年，日本宣布擴(kuò)大半導(dǎo)體制造設(shè)備的對(duì)華出口管制，將涉及芯片制造的6大類(lèi)23種設(shè)備事實(shí)限制。同年，ASML發(fā)布公告稱(chēng)，對(duì)于部分敏感的中國(guó)芯片企業(yè)，將無(wú)法獲得NXT:1970i及以上型號(hào)的浸潤(rùn)式光刻機(jī)。

參考資料：
日本政府宣布計(jì)劃限制6類(lèi)23種芯片制造設(shè)備出口，外交部回應(yīng)

• https://world.huanqiu.com/article/4CIk7e3tuc1

從整個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展歷史上面來(lái)看，美國(guó)對(duì)中國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)實(shí)施的制裁力度是巨大的，也是持續(xù)時(shí)間最長(zhǎng)的，同時(shí)也是影響最深遠(yuǎn)的。

如果將中國(guó)芯片這些年受到的制裁措施，放在其他國(guó)家企業(yè)身上，那么沒(méi)有人能夠頂住如此大規(guī)模的“制裁轟炸”，但是中國(guó)企業(yè)不同。中國(guó)企業(yè)不但掌握了7nm芯片的國(guó)產(chǎn)化制造，而且還在光刻機(jī)、硅片、制造設(shè)備、制造材料等多個(gè)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了跨越式發(fā)展。

尋求突破

據(jù)ASML官方近幾年發(fā)布的聲明表示，EUV是被完全禁止出口給中國(guó)企業(yè)，哪怕是韓國(guó)企業(yè)在華合資工廠也不允許購(gòu)買(mǎi)。

而上一代的浸潤(rùn)式DUV光刻機(jī)，中芯國(guó)際、華虹這些中國(guó)大陸地區(qū)的自主企業(yè)此前囤積過(guò)一批ASML的光刻機(jī)設(shè)備，現(xiàn)在已經(jīng)被禁止向ASML繼續(xù)采購(gòu)浸潤(rùn)式光刻機(jī)。

其他合資企業(yè)，例如三星西安工廠、SK海力士無(wú)錫工廠、臺(tái)積電南京工廠可以根據(jù)實(shí)際情況給予出口批準(zhǔn)，并且這些合資工廠也可以獲得來(lái)自于美國(guó)企業(yè)的設(shè)備材料。

為了壓制中國(guó)本土企業(yè)發(fā)展，美國(guó)還敦促ASML禁止為中國(guó)企業(yè)提供設(shè)備的售后維修服務(wù)。

但ASML中國(guó)區(qū)總裁沈波在進(jìn)博會(huì)上表示，從1988年ASML將第一臺(tái)設(shè)備運(yùn)到中國(guó)之后，中國(guó)市場(chǎng)就是ASML的重要客戶市場(chǎng)，中國(guó)市場(chǎng)上留存的光刻機(jī)與測(cè)量臺(tái)，總裝機(jī)數(shù)量已經(jīng)達(dá)到了1400臺(tái)，ASML將會(huì)在合規(guī)的情況下繼續(xù)為中國(guó)企業(yè)提供服務(wù)。

中國(guó)市場(chǎng)此前為ASML貢獻(xiàn)了40%以上的銷(xiāo)售占比，是ASML全球第一大客戶市場(chǎng)。

ASML前CEO彼得·溫寧克在接受?chē)?guó)際媒體采訪時(shí)表示，禁止ASML與中國(guó)市場(chǎng)建立有效的合作關(guān)系，這是在損失西方國(guó)家的經(jīng)濟(jì)利益。禁止他們購(gòu)買(mǎi)ASML的設(shè)備，他們會(huì)尋求進(jìn)步自己開(kāi)發(fā)。一旦中國(guó)企業(yè)開(kāi)發(fā)出他們自己的制造設(shè)備，那么下一步便是依靠自主設(shè)備與國(guó)際企業(yè)展開(kāi)競(jìng)爭(zhēng)。