今天，BIS發(fā)布了一個33頁的出口管制新規(guī)。初步看來，這項新規(guī)主要是對量子計算機、某些半導體和增材制造施加了新的出口管制。印象深刻的是，我們之前在中討論過的對的出口管制，今天終于出來了。

具體來說，BIS把ECCN編碼為3E905的技術(shù)添加到了商業(yè)管制清單，這項技術(shù)是使用GAAFET結(jié)構(gòu)“開發(fā)”或“生產(chǎn)”集成電路或設(shè)備的“技術(shù)”。這意味著，向全球任何目的地出口GAAFET技術(shù)，都需要向BIS申請許可證，但對盟友國家是默認批準許可，并且對在新規(guī)發(fā)布前已經(jīng)出口、再出口或國內(nèi)轉(zhuǎn)移GAAFET技術(shù)的情況，以及在盟友國家工作、但屬于禁運國家（包括中國）公民或永久居民的外籍員工“視同出口”或“視同再出口”的情況，都給了一個通用許可證，條件是每年要向BIS提交報告，包括技術(shù)描述、參與的各方信息、終端產(chǎn)品描述及其ECCN（若已知）。 對禁運國家，許可政策則是推定拒絕。

BIS新增上述管制給出的理由是國家安全（NS）和地區(qū)穩(wěn)定（RS），并解釋說，使用GAAFET技術(shù)生產(chǎn)的集成電路比早期架構(gòu)的集成電路更高效、更具能力。預計使用GAAFET技術(shù)生產(chǎn)的微縮密集型芯片也將更能耐受輻射影響。GAAFET芯片更高效、更低的功耗使其能夠支持更快、更強大的人工智能以及其他軍事和商業(yè)應(yīng)用。

根據(jù)新規(guī)，對3E905的管制，重在控制和GAAFET結(jié)構(gòu)“開發(fā)”和“生產(chǎn)”相關(guān)的“技術(shù)”。規(guī)則給出了對GAAFET技術(shù)的定義和相關(guān)技術(shù)參數(shù)的詳細說明，并且特別強調(diào)管制的是制造GAAFET芯片的“過程技術(shù)”。什么是“過程技術(shù)”？新規(guī)附帶的注釋指出：“3E905包括‘過程配方’”，是“某一特定過程步驟的條件和參數(shù)集合”。通俗點說，制造集成電路的過程中，有很多具體步驟，就像一套做菜的“菜譜”，確保生產(chǎn)的每個芯片都一致且性能優(yōu)越，GAAFET的過程技術(shù)就是生產(chǎn)這種架構(gòu)的芯片的“菜譜”。BIS還強調(diào)，設(shè)計這種結(jié)構(gòu)的芯片的工具或文件，如GDSII格式的物理布局文件或EDA工具，不是3E905的管制對象。

BIS還特別區(qū)分了對3E905的管制和現(xiàn)有的對ECCN 3E001、3E002的技術(shù)管制。大家知道，ECCN 3E001管制的是集成電路設(shè)計和生產(chǎn)方法，例如用于制造 7nm 或更先進節(jié)點的 FinFET 晶體管的技術(shù)。ECCN 3E002則涉及范圍更廣，管制的是和電子設(shè)備和計算機系統(tǒng)相關(guān)的技術(shù)，比如設(shè)計用于超級計算機的專用集成電路（ASIC）。這兩項管制，晶體管結(jié)構(gòu)不是管制的“必要”元素。因此，BIS認為ECCN 3E905與ECCN 3E001或3E002之間不存在管制的重疊，同時歡迎業(yè)界就這部分規(guī)則的文本清晰度以及澄清聲明提交意見。此外，BIS還用一個注釋說明，對ECCN 3E905的管制不適用于垂直GAAFET架構(gòu)（如用于3D NAND的架構(gòu)）。

GAAFET技術(shù)本身門檻不高，中國現(xiàn)在有一些已經(jīng)發(fā)表的論文和實驗室的研究，但了解和知道這種技術(shù)和讓它工程化和實際落地完全是兩碼事。然而，就像一些行業(yè)專家分析的，中國可以從5nm就開始探索引入GAA，在沒有EUV的情況下，用DUV和多重曝光，使用GAA結(jié)構(gòu)，雖然這樣生產(chǎn)的芯片良率肯定會很低，也不可能很快產(chǎn)業(yè)化，但畢竟可以慢慢摸索。這可能也是為什么美國要管制GAAFET的“過程技術(shù)”，就是要盡量扼殺這種可能性。

對量子計算機的新增管制并不令人意外。美國對中國在量子計算領(lǐng)域的發(fā)展一直十分警惕和焦慮。美國戰(zhàn)略與國際研究中心去年9月份曾經(jīng)發(fā)表了一篇報告《中國是否是量子技術(shù)的領(lǐng)導者？》

報告指出：中國正在努力成為量子計算領(lǐng)域的領(lǐng)導者。2021年，中國成為繼加拿大和美國之后第三個開發(fā)出完整的國產(chǎn)量子計算機的國家。從那時起，中國開發(fā)了新的量子計算機和處理器。2023年5月，中國176量子比特處理器“祖沖之”上線，成為中國量子比特數(shù)量最多的量子處理器。由中科院開發(fā)的“祖沖之”已經(jīng)能夠以比傳統(tǒng)超級計算機快數(shù)百萬倍的速度處理任務(wù)。該報告還指出，中國特別重視量子計算的軍事意義，稱之為“一匹即將改變未來軍事勝利機制的黑馬”，對量子加密尤為關(guān)注。中國研究人員聲稱已經(jīng)開發(fā)出一種可以在小型量子計算機上運行的算法，該算法可以破譯政府和金融機構(gòu)常用的高級加密系統(tǒng)。

在這次新規(guī)中，量子計算機及相關(guān)組件被歸類在ECCN 4A906下，基于國家安全（NS）、地區(qū)穩(wěn)定（RS）和反恐（AT）的考慮予以控制。新規(guī)按照能夠控制的量子比特數(shù)量以及C-NOT門的平均錯誤率來劃定受控“量子計算機”的范圍，對其具體定義是：包括支持34個或更多、但少于100個“完全可控”、“連接”和“工作”的“物理量子比特”，并且具有特定錯誤率的量子計算機。不管全球任何地方，出口、再出口或國內(nèi)轉(zhuǎn)移此類量子計算機都需要BIS的許可證，但對盟友是推定許可，對禁運國家是推定拒絕。

另外一個值得注意的地方是，新規(guī)還對刻蝕設(shè)備（3B001.c.1.a用于各向同性干法刻蝕的設(shè)備）、3B001.c.1.c用于各向異性干法刻蝕的設(shè)備）加碼了管制。各向同性干法刻蝕設(shè)備的管制標準：能均勻地刻蝕材料，無論方向如何，適用于硅鍺與硅之間的高選擇性刻蝕（能非常有效地區(qū)分并刻蝕特定材料），選擇性比達到100:1。各向異性干法刻蝕設(shè)備的管制標準：專門用于刻蝕介電材料，能夠制作出高縱橫比的細小結(jié)構(gòu)（比如高度大于寬度30倍的納米級結(jié)構(gòu)），同時需要具備以下特性：1）配備至少一個脈沖射頻（RF）電源；2）配有能快速切換氣體的閥門（切換時間小于300毫秒）；3）配備具有20個或更多獨立可控溫度元件的靜電卡盤，用于精確控制刻蝕過程中的溫度。

這個主要打擊的是國產(chǎn)128層閃存（如3D NAND閃存），對長江存儲影響會比較大，因為他們生產(chǎn)128層閃存需要精確的刻蝕技術(shù)來在垂直結(jié)構(gòu)中堆疊多個存儲層，刻蝕設(shè)備尤其是各向異性干法刻蝕設(shè)備在這個過程中至關(guān)重要，如在3D NAND中用來制作堆疊結(jié)構(gòu)。但新規(guī)出來后，東京電子（TEL）、和泛林（LAM Research）沒法再賣給長江存儲這些刻蝕設(shè)備了。

在這個方面，中微和北方華創(chuàng)的國產(chǎn)刻蝕設(shè)備已經(jīng)取得了一些突破。中微在各向異性干法刻蝕領(lǐng)域取得了顯著進展，尤其是在高端制程的應(yīng)用中，技術(shù)水平逐漸接近國際領(lǐng)先水平，但在最先進的制程（如5nm及以下）上，仍然面臨諸多技術(shù)挑戰(zhàn)，特別是在刻蝕精度、穩(wěn)定性以及效率方面和東京電子和泛林仍有不小差距。北方華創(chuàng)聚焦各向同性干法刻蝕設(shè)備，在部分中低端領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了一定程度的替代，但在用于7nm及以下制程的高端設(shè)備上，國內(nèi)主要還依賴從東京電子和泛林進口。因此，上述管制可能會影響長江存儲的128層閃存產(chǎn)線。

新規(guī)還增加了對用于逆向工程芯片設(shè)計的掃描電子顯微鏡（SEM）工具的限制。這些限制并不適用于在晶圓制造過程中使用的SEM工具，而是針對那些對已經(jīng)組裝完成并從封裝中取出的芯片進行操作的工具。具體來說，管制內(nèi)容包括：1）圖像拼接能力：拼接圖像的精度要求高，需小于50納米；2）單個圖像的大小：圖像的視場（FOV）限制在大約15微米，分辨率達到1納米；3）臺面精度和硬件要求：特定的硬件要求以確保在極小尺度上的精確操作。這些新規(guī)定的目的是為了更嚴格地執(zhí)行針對14納米及以下邏輯芯片的管控，確保這些高級技術(shù)不會被用于不當?shù)哪嫦蚬こ毯托酒O(shè)計恢復。

整體來看，這次新規(guī)應(yīng)該是下個月大規(guī)模出口管制更新的一次預熱，對荷蘭和日本的影響比較大。從中國方面來看，似乎也在加大對日本、荷蘭的施壓力度。據(jù)國外媒體報道，中國政府已經(jīng)嚴正要求日本不得配合美國加碼管制，否則將會采取激烈的反制。環(huán)球時報本周也發(fā)了一篇評論，警告荷蘭和ASML如果繼續(xù)順從美國，可能有被徹底趕出中國市場的風險。總之，九十月份半導體出口管制領(lǐng)域發(fā)生的大事會比較多，值得關(guān)注。

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