前言

2024年一季度，ASML財(cái)報(bào)上出現(xiàn)讓管理層坐立難安的數(shù)字：對(duì)華銷售額占比從49%跌至27%。

兩任CEO連續(xù)警告：封鎖只會(huì)加速中國(guó)自主創(chuàng)新。

事實(shí)確實(shí)如此，中國(guó)造不成光刻機(jī)，但那就先造一個(gè)光刻工廠！

光刻巨頭黃昏

2024年1月，荷蘭光刻機(jī)巨頭ASML的財(cái)報(bào)顯示了一個(gè)讓投資者震驚的數(shù)據(jù)：中國(guó)市場(chǎng)占比從連續(xù)三季度的46%、47%、47%突然跌至27%。

這個(gè)數(shù)字像一面鏡子，照出了這家全球光刻設(shè)備霸主的尷尬處境：一邊是美國(guó)持續(xù)施壓下的出口管制枷鎖，一邊是中國(guó)市場(chǎng)這塊不得不抓的"搖錢樹"。

新任CEO克里斯托夫·富凱上任后在《華爾街日?qǐng)?bào)》采訪中直言不諱："施加的限制越多，就越會(huì)促使對(duì)方自力更生。"

這句話與其前任彼得·溫寧克的警告如出一轍。2023年初溫寧克就在財(cái)報(bào)會(huì)上敲過警鐘："出口管制會(huì)促使中國(guó)成功開發(fā)出自己的技術(shù)。"

ASML的焦慮不是沒有道理?；厮莸?023年，當(dāng)出口封鎖的風(fēng)聲剛透出來時(shí)，中國(guó)客戶立刻啟動(dòng)"戰(zhàn)略性囤貨"，短期內(nèi)讓ASML的訂單量激增，但明眼人都看得出來，這不過是提前透支未來市場(chǎng)。

更讓ASML揪心的是其在中國(guó)的維護(hù)業(yè)務(wù)，數(shù)千臺(tái)已部署設(shè)備的定期保養(yǎng)和零部件更換，早已成為公司穩(wěn)定的現(xiàn)金流來源。一旦連這些服務(wù)都被政治力量限制，ASML與中國(guó)市場(chǎng)最后的紐帶也將斷裂。

溫寧克在2023年9月的行業(yè)論壇上說得很實(shí)在："中國(guó)有足夠的人才，也有足夠資源找到替代方案。"

當(dāng)時(shí)不少西方媒體還將其視為商業(yè)游說，直到清華大學(xué)的SSMB-EUV方案逐漸浮出水面，人們才意識(shí)到這位老CEO的預(yù)判有多精準(zhǔn)。

2025年，ASML預(yù)計(jì)中國(guó)業(yè)務(wù)降到20%左右，但實(shí)際需求比預(yù)想強(qiáng)，第三季度中國(guó)占了42%。公司否認(rèn)這是囤貨引起的，說是政策和宏觀需求的作用。

這種對(duì)比讓ASML股價(jià)在2024年10月的一天直接大跌8.33%，270億美元市值憑空蒸發(fā)。

富凱后來講，中國(guó)落后先進(jìn)技術(shù)10-15年，但成熟節(jié)點(diǎn)需求穩(wěn)得一批，短期內(nèi)ASML還得靠中國(guó)吃飯。

管制越嚴(yán)，中國(guó)客戶囤貨越猛，ASML表面風(fēng)光，內(nèi)部其實(shí)捏把汗，怕哪天連備件和服務(wù)都卡死，那才是真斷糧。

封鎖反作用

2021年2月，清華大學(xué)唐傳祥教授團(tuán)隊(duì)在《自然》期刊發(fā)表了一篇論文，題目是"穩(wěn)態(tài)微聚束原理的實(shí)驗(yàn)演示"，這項(xiàng)成果為EUV光刻提供了全新可能。

雜志評(píng)論稱其"結(jié)合了同步輻射光源與自由電子激光的雙重特性"，這個(gè)看似高深的學(xué)術(shù)成果，背后有著深刻的現(xiàn)實(shí)背景。

傳統(tǒng)EUV光刻機(jī)之所以被稱為"人類工業(yè)皇冠上的明珠"，核心卡在極端小型化的光源系統(tǒng)上。ASML用了幾十年時(shí)間，整合了全球供應(yīng)鏈的頂尖技術(shù)才實(shí)現(xiàn)商業(yè)化，其光源系統(tǒng)涉及數(shù)萬零部件的精密集成，專利壁壘密不透風(fēng)。

中國(guó)要走同樣的路，無異于從零開始跟跑幾十年，這顯然不現(xiàn)實(shí)。但中國(guó)人的智慧恰恰在于不按常理出牌——既然造不出"光刻機(jī)"，那就直接建"光刻工廠"。

清華大學(xué)牽頭的SSMB-EUV方案，正是這條獨(dú)特路徑的核心。這個(gè)2017年就啟動(dòng)的項(xiàng)目，背后有著國(guó)際合作的基因。當(dāng)年7月，清華教授唐傳祥與斯坦福大學(xué)趙午組織首屆SSMB合作會(huì)議，聯(lián)合中、德、美等國(guó)科研人員攻關(guān)。

由于實(shí)驗(yàn)對(duì)電子束控制精度要求極高，團(tuán)隊(duì)先后8次前往柏林，利用德國(guó)PTB的MLS儲(chǔ)存環(huán)開展研究。2019年8月，實(shí)驗(yàn)取得關(guān)鍵突破：用1064納米激光操控電子束，讓其在48米周長(zhǎng)的儲(chǔ)存環(huán)內(nèi)繞圈后形成精微的微聚束結(jié)構(gòu)。

真正讓業(yè)界震動(dòng)的是2022年的進(jìn)展——SSMB-EUV光源輸出功率突破1千瓦，光學(xué)腔穩(wěn)定鎖定時(shí)間超過4小時(shí)。這兩個(gè)關(guān)鍵指標(biāo)意味著"光刻工廠"從概念走向現(xiàn)實(shí)有了基礎(chǔ)技術(shù)支撐。

這種"重資產(chǎn)、高產(chǎn)能"的模式，恰恰契合了中國(guó)在特高壓、高鐵等領(lǐng)域證明過的系統(tǒng)集成能力。就像當(dāng)年建設(shè)高鐵網(wǎng)絡(luò)時(shí)那樣，中國(guó)不追求每個(gè)零部件都從零研發(fā)，而是在關(guān)鍵環(huán)節(jié)集中突破，再通過系統(tǒng)集成形成整體優(yōu)勢(shì)。

唐傳祥教授在接受采訪時(shí)謹(jǐn)慎表示："EUV光刻機(jī)的自主研發(fā)還有很長(zhǎng)的路要走，但SSMB光源為突破核心瓶頸提供了全新思路。"

這種謹(jǐn)慎背后是清醒的認(rèn)知——光刻工廠確實(shí)面臨挑戰(zhàn)，巨額的初始投資、漫長(zhǎng)的建設(shè)周期、對(duì)運(yùn)營(yíng)模式的嚴(yán)格要求，都考驗(yàn)著中國(guó)的產(chǎn)業(yè)耐力。

但這些挑戰(zhàn)在國(guó)家戰(zhàn)略需求面前，反而成了發(fā)揮制度優(yōu)勢(shì)的舞臺(tái)。國(guó)家層面，今年2月11日，中國(guó)投370億歐元，支持本土極紫外光刻系統(tǒng)開發(fā)。

系統(tǒng)計(jì)劃2025年第三季度試生產(chǎn)，2026年批量制造。華為在東莞測(cè)試部件，結(jié)合自研芯片推進(jìn)。

模式超越

與ASML的EUV光刻機(jī)不同，SSMB方案不是把復(fù)雜系統(tǒng)壓縮到一臺(tái)機(jī)器里，而是通過大型加速器設(shè)施產(chǎn)生穩(wěn)定的極紫外光，用規(guī)模化、集中化的思路解決光源難題。

今年7月，清華大學(xué)在極紫外光刻膠材料聚碲酮上取得新突破，補(bǔ)上了產(chǎn)業(yè)鏈中的又一塊短板。這一進(jìn)展讓整個(gè)方案的商業(yè)化前景更加明朗。

整個(gè)思路就是把最難的光源部分集中解決，下游曝光站簡(jiǎn)單多了，成本降一大截，還適合中國(guó)搞大基地的那套工程化打法。

從成本對(duì)比看，ASML一臺(tái)EUV光刻機(jī)要1.2億美元，維護(hù)一次就得幾百萬。而光刻工廠是"流水線作業(yè)"，把曝光、顯影等步驟整合在一起，連續(xù)生產(chǎn)，紹興的配套項(xiàng)目投產(chǎn)后，批量生產(chǎn)能大幅降低成本，適合大規(guī)模制造。

更重要的是，ASML的光源功率已經(jīng)快到極限了，再提升難度極大。而SSMB技術(shù)的光源，波長(zhǎng)能覆蓋到極紫外波段，光強(qiáng)還能提升，未來造更先進(jìn)的芯片也有空間。

這就好比傳統(tǒng)光刻機(jī)是"手動(dòng)擋"，光刻工廠是"自動(dòng)擋"，越往后優(yōu)勢(shì)越明顯。我們的光刻工廠，核心技術(shù)是自己的，配套設(shè)備也在國(guó)產(chǎn)化。

產(chǎn)業(yè)鏈正在協(xié)同推進(jìn)，比如光刻膠，以前高端產(chǎn)品全靠進(jìn)口，現(xiàn)在湖北有家公司的ArF/KrF光刻膠已經(jīng)通過評(píng)估，拿到了晶圓廠訂單，實(shí)現(xiàn)了全流程國(guó)產(chǎn)化。

恒坤新材更厲害，募資15億建生產(chǎn)基地，它的KrF光刻膠已經(jīng)批量供應(yīng)12英寸產(chǎn)線，能覆蓋7nm工藝，2025年底產(chǎn)能就能到500噸/年。

設(shè)備方面，上海微電子的600系列光刻機(jī)，已經(jīng)實(shí)現(xiàn)90nm工藝批量生產(chǎn)，打破了國(guó)外限制。2024年9月，他們還公布了極紫外光刻設(shè)備的發(fā)明專利，說明在EUV技術(shù)上也沒掉隊(duì)。

芯片制造端，中芯國(guó)際2025年3月17日官宣，F(xiàn)inFET第一代技術(shù)已經(jīng)量產(chǎn)。這些突破和光刻工廠相互配合，形成了完整的產(chǎn)業(yè)閉環(huán)。

整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈2000多家企業(yè)抱團(tuán)，成本能壓到ASML六成左右。國(guó)家層面把這當(dāng)重大基礎(chǔ)設(shè)施推，選址雄安之類的地方，目標(biāo)就是千瓦級(jí)裝置。

格局重塑

ASML新任CEO富凱現(xiàn)在面臨著比溫寧克更棘手的局面。美國(guó)不僅要求限制設(shè)備出口，還試圖干預(yù)在華設(shè)備的維修服務(wù)。富凱無奈地指出："如果我們不在那里，我們就會(huì)失去控制。"

這種失控感正在變成現(xiàn)實(shí)——當(dāng)中國(guó)客戶不再依賴ASML的設(shè)備和服務(wù)，當(dāng)光刻工廠開始穩(wěn)定輸出極紫外光，全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的格局將被重新定義。

ASML的焦慮本質(zhì)上是所有依賴中國(guó)市場(chǎng)的西方高科技企業(yè)的縮影：政治力量強(qiáng)行切斷商業(yè)紐帶，最終只會(huì)倒逼被封鎖者走出一條更具韌性的道路。

從溫寧克2023年的警告到富凱2024年的焦慮，ASML的態(tài)度轉(zhuǎn)變折射出一個(gè)簡(jiǎn)單的事實(shí)：在高科技領(lǐng)域，封鎖從來不是長(zhǎng)久之計(jì)。

中國(guó)沒有選擇復(fù)制ASML的技術(shù)路線，而是用自己擅長(zhǎng)的系統(tǒng)工程思維另辟蹊徑。光刻工廠的建設(shè)過程或許充滿挑戰(zhàn)，但它承載的不僅是打破技術(shù)封鎖的希望，更是一種產(chǎn)業(yè)發(fā)展模式的創(chuàng)新。

當(dāng)ASML還在政治與市場(chǎng)之間艱難平衡時(shí)，中國(guó)的科研團(tuán)隊(duì)已經(jīng)在雄安的土地上埋下了突破的種子。這場(chǎng)較量的結(jié)局或許還需要時(shí)間驗(yàn)證，但有一點(diǎn)已經(jīng)清晰——試圖用限制來遏制創(chuàng)新，最終只會(huì)加速被超越的進(jìn)程。

10月15日，ASML報(bào)告凈銷售75億歐元，全年預(yù)計(jì)增長(zhǎng)15%，靠先進(jìn)芯片和AI投資頂著，但中國(guó)部分會(huì)顯著下滑，到2026年更明顯。

富凱2025年講，中國(guó)需求比預(yù)期強(qiáng)，但2026年肯定大降，因?yàn)榭蛻舭涯苜I的都買完了，再加上管制越收越緊。

短期ASML還賺服務(wù)錢，長(zhǎng)期呢，中國(guó)這條集中式工廠一旦跑通，先進(jìn)芯片生產(chǎn)就從"買機(jī)器"變成"建電站"，規(guī)則全變了。

ASML壟斷單機(jī)模式的日子，怕是要到頭了。說白了，封鎖把路堵死，反而逼出新路子。

中國(guó)不硬抄ASML老路，玩系統(tǒng)工程這一套，接地氣又狠。2025年這些樣機(jī)、測(cè)試、參數(shù)圖一出來，ASML股價(jià)波動(dòng)得厲害，高層講話也越來越謹(jǐn)慎。

巨頭慌不慌？數(shù)據(jù)擺在那，中國(guó)市場(chǎng)占比從36%掉到20%，服務(wù)還能撐多久，誰也不知道。反正半導(dǎo)體這盤棋，現(xiàn)在越來越有意思了。

結(jié)語

從單機(jī)追趕到工廠超越，中國(guó)的成功證明了模式創(chuàng)新的力量。

未來全球科技競(jìng)爭(zhēng)將呈現(xiàn)多元化格局，開放合作優(yōu)于封閉對(duì)抗。

在你看來，還有哪些領(lǐng)域可以通過模式創(chuàng)新實(shí)現(xiàn)跨越式發(fā)展？

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