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半導體材料突圍!濕電子化學品哪些企業(yè)在布局?

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通用濕電子化學通用濕電子化學品通常指成分相對簡單、標準化程度高、在制造過程中被大量使用的基礎性高純化學品種類,主要包括高純酸類、堿類、有機溶劑以及氧化劑等,主要用于常規(guī)清洗、蝕刻等基礎濕法工藝。

表1 通用濕電子化學品產(chǎn)品分類


資料來源:公開資料,深企投產(chǎn)業(yè)研究院整理。

一、電子級硫酸

電子級硫酸又稱高純硫酸、超純硫酸,是半導體制造過程中用量最大的酸性濕電子化學品之一,廣泛應用于清洗、蝕刻及光刻膠去除等關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)。

目前,全球電子級硫酸領先企業(yè)為德國巴斯夫,其他重點企業(yè)包括日本三菱化學、日本關(guān)東化學、美國艾萬拓Avantor、美國霍尼韋爾、中國臺灣聯(lián)仕電子、中國臺灣廣明實業(yè)等。

表2 內(nèi)資電子級硫酸重點企業(yè)


資料來源:各公司公告,深企投產(chǎn)業(yè)研究院整理。

二、電子級雙氧水

電子級雙氧水(高純雙氧水)是濕電子化學品中用量最大的品類之一,主要作為強氧化劑,廣泛應用于半導體、顯示面板和光伏等領域的清洗工藝。

國際上電子級雙氧水主要企業(yè)包括德國巴斯夫、日本三菱瓦斯化學(MGC)、比利時索爾維、德國贏創(chuàng)工業(yè)、日本關(guān)東化學(關(guān)東鑫林)、美國霍尼韋爾、韓國韓松化工等。

表3 國內(nèi)電子級雙氧水重點企業(yè)



三、電子級氫氟酸

電子級氫氟酸(HF)是通用濕電子化學品中的關(guān)鍵蝕刻與清洗試劑,高純產(chǎn)品(如G5級)已廣泛應用于7nm及以下先進邏輯芯片、3D NAND和DRAM制造,滿足12英寸晶圓先進制程的蝕刻與清洗需求。

全球電子級氫氟酸主導企業(yè)包括日本Stella Chemifa、日本森田化學、中國臺灣僑力化工(臺積電主要供應商)、日本大金工業(yè)等,其他重點企業(yè)包括日本關(guān)東化學、韓國秀博瑞殷、美國霍尼韋爾、比利時索爾維等,集中在半導體用高端產(chǎn)品領域。其中,森田化學、僑力化工等企業(yè)通過合資在中國大陸設立生產(chǎn)基地,滿足中國大陸的半導體市場需求,甚至可出口其他地區(qū),規(guī)避出口管制及貿(mào)易壁壘風險。

表4 國內(nèi)電子級氫氟酸企業(yè)



四、電子級磷酸

電子級磷酸主要應用于芯片的濕法蝕刻和濕法清洗,包括基片涂膠前的清洗,光刻過程中的蝕刻、去膠以及硅片本身制作過程中的清洗和絕緣膜蝕刻、半導體膜蝕刻、導體膜蝕刻、有機材料蝕刻等;在TFT-LCD和OLED面板生產(chǎn)中,用于ITO玻璃蝕刻和像素電極清洗。

全球電子級磷酸主要企業(yè)包括日本RASA、日本磷化工(主要供應日本本土半導體廠商)、德國巴斯夫、韓國OCI(供應三星)、韓國秀博瑞殷SOULBRAIN(氫氟酸為主,同時供應磷酸,主要客戶為三星)、中國臺灣聯(lián)仕電子材料等。興福電子是國內(nèi)電子級磷酸絕對龍頭,產(chǎn)品達到SEMI C36-1121電子級磷酸產(chǎn)品標準最高等級G3等級,興福電子現(xiàn)有產(chǎn)能5萬噸/年,2025年12月擬投資4.8億元新建4萬噸/年項目,建成后總產(chǎn)能將達9萬噸/年。

五、電子級鹽酸

電子級鹽酸作為清洗液、蝕刻液,廣泛用于光伏、顯示面板、集成電路制造等領域,同時在醫(yī)藥、電子材料、高純試劑領域也有廣泛應用。

目前集成電路用電子級鹽酸國際主要廠商包括德國巴斯夫、美國霍尼韋爾、日本東亞合成TOAGO SEI等。

表5 國內(nèi)電子級鹽酸主要企業(yè)



六、電子級硝酸

電子級硝酸具備強氧化性,能高效去除硅片表面的金屬雜質(zhì)(如銅、鐵、鋁等)和有機污染物,同時通過氧化作用在硅片表面形成一層均勻的氧化膜,為后續(xù)的光刻、蝕刻等工藝提供潔凈、穩(wěn)定的基底。

全球電子級硝酸主要企業(yè)包括德國巴斯夫、日本三菱化學等。

表6 國內(nèi)電子級硝酸重點企業(yè)



七、電子級氨水

電子級氨水是集成電路制造過程中常用的濕電子化學品之一,主要作為堿性清洗劑用于去除硅片表面的顆粒物及部分金屬離子雜質(zhì)(如鋁、鐵等),電子級氨水還可作為制備電子級氟化銨等復配化學品的重要原料,并在化學機械拋光(CMP)后清洗、部分光刻工藝輔助處理等環(huán)節(jié)中使用,廣泛應用于集成電路、先進封裝及顯示面板等領域。

表7 國內(nèi)電子級氨水主要企業(yè)



八、電子級氫氧化鉀

電子級氫氧化鉀(KOH)是半導體及泛半導體制造中的堿性濕電子化學品,主要作為各向異性腐蝕劑與清洗劑應用于特定工藝環(huán)節(jié)。

國際市場上電子級氫氧化鉀主要企業(yè)包括美國KMG Electronic Chemicals、韓國UNID、日本關(guān)東化學等。

表8 國內(nèi)電子級氫氧化鉀主要企業(yè)



九、電子級異丙醇

電子級異丙醇(IPA)是濕電子化學品中用量最大的有機溶劑,主要作為脫水干燥劑、通用清洗劑及光刻輔助溶劑廣泛應用于半導體及泛半導體制造的核心環(huán)節(jié)。

全球電子級異丙醇核心廠商包括韓國LG化學、日本德山化工、日本住友化學、中國臺灣李長榮化工、美國陶氏化學等。

表9 國內(nèi)電子級異丙醇主要企業(yè)


資料來源:各公司公告,深企投產(chǎn)業(yè)研究院整理。

來源:深企投產(chǎn)業(yè)研究院

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