前段時(shí)間，工信部部長(zhǎng)李樂成宣布：中國已成功攻克光刻膠專用玻璃瓶技術(shù)，徹底終結(jié)100%進(jìn)口依賴歷史。

很多人好奇，一個(gè)瓶子能有多大技術(shù)含量？

還真有。

這得從光刻膠說起。

大家都知道，光刻機(jī)的工作原理，就是把指甲蓋大小的晶圓上，“刻”上幾十億個(gè)電路圖案。

但是，晶圓本身是硅做的“石頭”，既不感光，也沒法直接被激光“刻”出圖案。

這個(gè)時(shí)候，就要用上光刻膠。

簡(jiǎn)單的說，就是先在晶圓表面均勻涂一層薄薄的光刻膠，光刻機(jī)的激光按照事先設(shè)計(jì)的電路圖案照射光刻膠。

光刻工藝流程

被激光照過后，光刻膠的性質(zhì)發(fā)生改變，特別容易被洗掉，沒被照過的地方會(huì)留下來，在晶圓表面形成和電路圖案一模一樣的“膠膜花紋”。

此時(shí)再用高密度等離子體順著“膠膜花紋”蝕刻晶圓，把剩下的光刻膠洗掉后，晶圓表面就出現(xiàn)了和電路圖案完全一致的凹槽，后續(xù)再往凹槽里填金屬，就能形成導(dǎo)電的電路。

打個(gè)比方，光刻機(jī)制造芯片，就像你在玻璃上刻一個(gè)“人”字，直接拿刻刀劃不僅費(fèi)勁，還刻不出。

在刻之前，先在玻璃上貼一張“人”字的剪紙，就好刻多了。

光刻膠就是“剪紙”，是光刻機(jī)“雕刻”芯片電路的“畫筆墨水”。

沒有光刻膠，光刻機(jī)的光束無法在晶圓上留下任何有效圖案，芯片制造就會(huì)中斷。

可以說，光刻膠的特性，決定了光刻機(jī)的精度。

如果光刻膠的分辨率很低，無法清晰還原掩模上微小圖案，那么，光刻機(jī)的制程再先進(jìn)，再無用武之地。

總結(jié)來說，光刻膠是一種極其敏感、高純度的化學(xué)液體，具有超高光敏性、極致純度、強(qiáng)化學(xué)活性、高揮發(fā)性等特性。

這些特性，又對(duì)存儲(chǔ)光刻膠的瓶子提出了極高的要求。

下面是一個(gè)光刻膠專用瓶。

光刻膠專用瓶

從外表看，瓶身采用近乎黑色的深棕色設(shè)計(jì)，作用是阻擋紫外線，隔絕自然光中的紫外成分，保護(hù)內(nèi)部光刻膠的化學(xué)穩(wěn)定性。

頂部還設(shè)計(jì)了一個(gè)提手，方便工人在無塵環(huán)境中搬運(yùn)，滿足潔凈操作要求。

看不見的是，瓶子的材質(zhì)為高純度中性硼硅玻璃。

與我們生活中常用的玻璃瓶（鈉鈣玻璃、低硼硅玻璃）不同，中性硼硅玻璃含有極少的鈉、鉀等易遷移金屬離子，避免離子污染光刻膠。

為了保險(xiǎn)起見，瓶子內(nèi)壁還會(huì)進(jìn)行深度脫堿、硅烷化鍍膜處理，形成5-10nm的致密惰性層，既鎖住玻璃中的金屬離子，又避免光刻膠成分被瓶壁吸附。

瓶蓋也有講究，通常采用PTFE密封圈+惰性橡膠墊+螺旋蓋的三重密封結(jié)構(gòu)，徹底隔絕空氣和水汽，防止光刻膠氧化、水解，維持其粘度和成像性能穩(wěn)定。

光刻膠專用瓶看似是光刻膠的“容器”，實(shí)則是保障光刻膠性能穩(wěn)定、芯片良率達(dá)標(biāo)的關(guān)鍵一環(huán)。

一旦儲(chǔ)存不善，即便是混入了一?；覊m，就可能在光刻圖案上形成“亮點(diǎn)”或“暗點(diǎn)”缺陷，導(dǎo)致晶圓報(bào)廢。

小小瓶子，大有講究。

中國是全球最大的玻璃生產(chǎn)國，僅平板玻璃年總產(chǎn)量超10億重量箱，占比50%以上。

對(duì)中國企業(yè)來說，光刻膠專用瓶難在哪里？

從生產(chǎn)角度看，光刻膠專用瓶確實(shí)有極高的技術(shù)門檻。

僅拿所用的中性硼硅玻璃來說，全球前三大企業(yè)（肖特、康寧、NEG）就掌控了全球75%的產(chǎn)能。

2024年中性硼硅玻璃主要國家及核心企業(yè)產(chǎn)量對(duì)比

光刻膠專用瓶所需的工藝與核心設(shè)備需要進(jìn)口，也帶來了阻礙。

在商言商，光刻膠專用瓶雖屬關(guān)鍵耗材，卻是典型的“小而精”細(xì)分市場(chǎng)，市場(chǎng)規(guī)模有限，對(duì)企業(yè)的吸引力本就不高。

更為關(guān)鍵的是，這款專用瓶絕非普通包裝容器，而是與光刻膠配方、供膠系統(tǒng)、晶圓廠生產(chǎn)工藝深度耦合的核心配套件，圖案失真，直接沖擊晶圓良率。日本光刻膠巨頭推行“膠瓶一體”的強(qiáng)綁定銷售策略。

更為重要的是，光刻膠專用瓶通常需與光刻膠配方、供膠系統(tǒng)、晶圓廠工藝深度適配。

日本光刻膠巨頭正是看準(zhǔn)這一點(diǎn)，推行“膠瓶一體”的銷售策略構(gòu)建起“膠廠-瓶廠”深度協(xié)同的封閉供應(yīng)鏈體系。

客戶采購光刻膠必須同步選用其原裝專用瓶，專用瓶產(chǎn)能則優(yōu)先供給體系內(nèi)企業(yè)。

非體系內(nèi)的光刻膠企業(yè)，即便突破配方難關(guān)，也會(huì)因難以獲得穩(wěn)定、合規(guī)的專用瓶供應(yīng)而受限。

非體系內(nèi)的專用瓶企業(yè)，因缺乏與光刻膠配方、晶圓工藝的聯(lián)合驗(yàn)證渠道，更無從敲開上游供應(yīng)鏈的大門。

這一雙重壁壘，大幅抬高了新入局者的技術(shù)與市場(chǎng)門檻，直接壓降了投資回報(bào)預(yù)期，最終令不少企業(yè)望而卻步。

此次光刻膠專用瓶國產(chǎn)化，既是國內(nèi)玻璃企業(yè)攻堅(jiān)克難的硬核成果，更是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上下游協(xié)同攻關(guān)、補(bǔ)鏈強(qiáng)鏈的必然結(jié)果。

專用瓶的國產(chǎn)化，讓國產(chǎn)光刻膠徹底走出“有膠無瓶”的困境；而半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對(duì)高端專用瓶的剛性需求，又為本土企業(yè)提供了穩(wěn)定的回報(bào)預(yù)期。

從單點(diǎn)突破邁向系統(tǒng)突圍，中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的正向循環(huán)，開始了！