在微電子封裝領(lǐng)域，金（Au）與鋁（Al）是兩種常用的鍵合金屬。它們?cè)诟邷鼗蜷L(zhǎng)期使用過(guò)程中會(huì)發(fā)生相互擴(kuò)散，形成一系列金屬間化合物。這些化合物既可能增強(qiáng)鍵合強(qiáng)度，也可能成為失效的“元兇”。今天科準(zhǔn)測(cè)控小編將從相圖、生長(zhǎng)機(jī)制與材料特性三方面，系統(tǒng)解析Au-Al金屬間化合物的形成與影響。

一、Au-Al相圖：五種關(guān)鍵化合物

根據(jù)經(jīng)典的Au-Al相圖，體系中存在五種主要金屬間化合物：Au?Al?（現(xiàn)多稱為Au?Al?）、Au?Al、Au?Al、AuAl、AuAl?

其中，AuAl?呈紫色，是“紫斑”現(xiàn)象的來(lái)源；其余多為褐色或白色。這些化合物在鍵合界面中常混合存在，宏觀上表現(xiàn)為灰、棕或黑色。

二、生長(zhǎng)動(dòng)力學(xué)：拋物線規(guī)律與活化能

觀察表明，金屬間化合物的初始生長(zhǎng)通常遵循拋物線關(guān)系：

其中x為金屬間化合物層厚度，t為時(shí)間，K為生長(zhǎng)速率常數(shù)：

式中，C是常數(shù);E是金屬層生長(zhǎng)的活化能(單位為eV):k是玻爾茲曼(Boltzmann)常數(shù);T是絕對(duì)溫度(單位為K)一。

其中，Au?Al?生長(zhǎng)最快，是導(dǎo)致Kirkendall空洞和鍵合失效的主要相。

400℃下各金屬間相層厚隨時(shí)間的變化

三、材料特性：硬度、膨脹系數(shù)與晶格失配

如下表顯示，這些化合物普遍比純Au或Al更硬、更脆，且熱膨脹系數(shù)更低。晶格常數(shù)差異顯著，例如Au?Al?為六方密排結(jié)構(gòu)，晶格參數(shù)遠(yuǎn)大于Au或Al，導(dǎo)致體積膨脹，易引發(fā)界面應(yīng)力與裂紋。

四、可靠性影響：Kirkendall空洞與失效機(jī)制

當(dāng)Au與Al擴(kuò)散速率不匹配時(shí)，會(huì)在界面處形成Kirkendall空洞?？斩炊喑霈F(xiàn)在富Au側(cè)（Au?Al?界面），在高溫（>300℃）或長(zhǎng)時(shí)間使用下逐漸累積，最終導(dǎo)致鍵合斷裂。此外，溫度循環(huán)會(huì)因熱膨脹系數(shù)不匹配而加劇裂紋擴(kuò)展。

五、現(xiàn)代封裝中的應(yīng)對(duì)策略

雖然經(jīng)典Kirkendall空洞在正常使用中較少出現(xiàn)，但雜質(zhì)、焊接不良、氫脆等問(wèn)題仍可能引發(fā)類似失效。因此，現(xiàn)代封裝中常采用：控制鍵合溫度與時(shí)間，使用中間層（如Ni）阻擋擴(kuò)散，優(yōu)化Al層厚度與成分（如添加Cu、Si）等方法來(lái)預(yù)防此類問(wèn)題。

Au-Al金屬間化合物是微電子鍵合中不可忽視的材料現(xiàn)象。理解其形成機(jī)制與特性，有助于優(yōu)化封裝工藝，提升器件可靠性。在實(shí)際生產(chǎn)中，可通過(guò)科準(zhǔn)測(cè)控的微力拉伸測(cè)試系統(tǒng)與高精度熱循環(huán)試驗(yàn)機(jī)，對(duì)鍵合強(qiáng)度與界面可靠性進(jìn)行定量評(píng)估，實(shí)現(xiàn)工藝參數(shù)優(yōu)化與早期失效預(yù)警?？茰?zhǔn)測(cè)控致力于為微電子封裝行業(yè)提供從材料分析到可靠性驗(yàn)證的全流程解決方案，助力企業(yè)提升產(chǎn)品良率與服役壽命。