昨天刷到央視拍的EXE:5200B光刻機(jī)，真家伙，180噸，四億美元一臺(tái)，要七架747才能運(yùn)完。不是夸張，是實(shí)打?qū)嵉蔫F疙瘩，不是科幻片里的道具。它干的事也實(shí)在：把光線打在硅片上，誤差控制在0.5納米——相當(dāng)于頭發(fā)絲直徑的二十萬(wàn)分之一。

這機(jī)器不是剛造出來(lái)就滿(mǎn)世界賣(mài)的。英特爾搶著第一個(gè)用，臺(tái)積電反而拖著不用，三星砸了5000億韓元還只能靠ASML派人蹲點(diǎn)調(diào)試。為啥？因?yàn)檫@機(jī)器太嬌氣，開(kāi)機(jī)三分鐘，調(diào)試三天，良率開(kāi)頭只有六成，比老款低三十個(gè)點(diǎn)。不是誰(shuí)技術(shù)差，是現(xiàn)在拼的早不是能不能做出來(lái)，而是能不能天天穩(wěn)定開(kāi)工。

光源這塊，ASML用的是幾十米長(zhǎng)的CO?激光器，中科院搞的是固態(tài)激光器，才五米，體積小了九成，效率目前3.42%，實(shí)驗(yàn)室能跑，但還沒(méi)進(jìn)產(chǎn)線。不是抄作業(yè)，是換條路走——繞開(kāi)專(zhuān)利墻，自己搭新灶臺(tái)。

臺(tái)積電財(cái)報(bào)里寫(xiě)得明白：2025年研發(fā)預(yù)算漲了37%，悄悄摸著NA=0.7的路線走。三星一邊喊2nm量產(chǎn)，一邊連EXE:5200B都沒(méi)法全自主維護(hù)，還得靠ASML工程師駐廠。英特爾最急，不是為了快，是要讓蘋(píng)果和高通信它真能代工，不然客戶(hù)全跑光。

晶瑞電材的光刻膠，國(guó)產(chǎn)占比已經(jīng)七成；金宏氣體的特種氣體，八成五不用進(jìn)口；長(zhǎng)春光機(jī)所磨的鏡片，過(guò)了ASML二級(jí)供應(yīng)商認(rèn)證——不是全替代，是關(guān)鍵環(huán)節(jié)不再卡死。

AI芯片火了以后，大家發(fā)現(xiàn)，真正撐起市場(chǎng)的不是3nm手機(jī)芯，而是車(chē)規(guī)、工控、IoT這些7nm到28nm的“老制程”。2023年先進(jìn)制程占全球產(chǎn)能31%，到2025年掉到22%。廠子不全往尖端擠了，有些事，慢一點(diǎn)反而更穩(wěn)。

EXE:5200B還在運(yùn)，還在裝，還在調(diào)。但它的影子，沒(méi)以前那么長(zhǎng)了。