2023年夏天，荷蘭那邊出了新規(guī)定，說從9月1日起，高端的光刻機不能賣給中國了，具體指的是ASML的NXT:2000i和更高級的型號都不行，但像1980Di、1970i這樣的中端設備，還有老款的干式DUV還能繼續(xù)賣，這些機器雖然做不了5nm芯片，處理45nm以上的制程沒問題，而且中國自己已經能造這類光刻機了，美國其實也知道，限制這些設備基本起不了作用。

消息公布后，中國企業(yè)馬上行動起來，6月30日政策發(fā)布，9月1日正式實施，中間只有兩個月準備時間，大家忙著簽合同、催發(fā)貨，后來海關數(shù)據顯示，2023年中國大陸進口的光刻機數(shù)量超過2022年全年，ASML對中國的銷售額占比從14%上升到41%，

中國成了它全球最大市場，到了8月底，華為突然推出Mate 60系列，其中搭載的芯片被外界推測是采用7納米工藝制造的，用的不是EUV設備，而是DUV配合多重曝光技術，這讓很多人意識到原來用DUV也能實現(xiàn)這樣的制程水平。

很多人都覺得,沒有EUV機器就造不出先進芯片,美國人也這么想,他們認定多重圖案化技術成本太高良率又差,中國人肯定搞不定,可中國企業(yè)一邊買ASML的DUV光刻機,一邊下單美國應用材料的薄膜沉積設備和泛林公司的刻蝕機,整條生產線都是用美國設備搭起來的,

有業(yè)內人士透露國內企業(yè)手里囤積了有800多臺光刻機,其中一半是國產機或DUV機型,結果到2023年底7納米芯片真的做出來了,還裝進手機里上市銷售,技術封鎖這堵墻就這么被繞過去了。

到了2024年9月6日，荷蘭又出招了，這次更厲害，他們把1980i和1970i也給禁了，而且只針對那些有FinFET生產線的工廠，規(guī)定從發(fā)布當天就開始執(zhí)行，沒給一點緩沖時間，很多訂單直接作廢，已經在路上運輸?shù)脑O備被攔下來退了回去，

美國在背后推了一把，想徹底堵死最后一條路，好在中國早有準備，之前搶購的那些DUV設備經過不斷維護和改進工藝，已經可以獨立支持量產，國家給了補貼，本土團隊也有維修能力，讓這些老設備一直能正常運轉。

有意思的是，美國對技術的錯誤認知，美國原本想卡中國的脖子，結果卻幫中國把設備都配齊了，應用材料和科磊這些公司賺得特別多，訂單一個接一個，中國用他們的設備做出芯片后，又反過來逼他們繼續(xù)供貨，制裁越嚴格，買賣反而越紅火，

荷蘭夾在中間最難受，政府要聽美國的，企業(yè)又想賺錢，兩邊拉扯不清，ASML的高層私下抱怨過好幾次，現(xiàn)在回頭看，2023年搶下的那些光刻機，就像一場無聲的預備戰(zhàn)，沒人喊口號，但每臺機器都在默默運轉。

有些設備看著舊,可只要有人會用、敢改、愿意試,它就能干活,技術不是單靠買新機器堆出來的,有時候是靠一堆還能用的設備,一點一點磨出來,現(xiàn)在廠子里那些DUV,已經跑了三年多,零件換了幾輪,軟件打過補丁,連操作員都養(yǎng)成自己的習慣動作,它們沒名字,不顯眼,但確實撐起了一個新階段。

2026年初，行業(yè)里傳出一個說法，中國晶圓廠的DUV產線平均利用率比某些用EUV的還高，這不是因為技術先進，而是因為沒有退路，必須高效運轉，只能把現(xiàn)有設備用到極致，

一臺光刻機每天運行22小時，工程師們輪流監(jiān)控參數(shù)，連清洗液的配方都調整了十幾遍，這種土辦法反而練出了扎實的本事。