（中國上海，2025年2月6日）全球領(lǐng)先的機床和激光技術(shù)方案提供商德國通快集團（TRUMPF）將在慕尼黑上海光博會（3月18-20日）上展示超快激光技術(shù)TruMicro系列及其相關(guān)應(yīng)用領(lǐng)域（展位號：N2 館2406），并分享其在紫外飛秒激光、能量輸出調(diào)控與可拓展技術(shù)平臺等方面的領(lǐng)先優(yōu)勢。目前，該系列產(chǎn)品已獲得多家面板與半導(dǎo)體行業(yè)頭部廠商的量產(chǎn)應(yīng)用認(rèn)可。通快在超短脈沖激光領(lǐng)域的技術(shù)實力早已備受肯定——其超短脈沖激光技術(shù)曾榮獲“德國未來獎”，其技術(shù)實力貫穿從前沿探索到量產(chǎn)應(yīng)用的全過程。

明星產(chǎn)品：為量產(chǎn)而生的TruMicro 6320紫外飛秒激光器

通快TruMicro 6320專為全天候連續(xù)生產(chǎn)打造的紫外飛秒激光器，擁有全球范圍內(nèi)量產(chǎn)級紫外飛秒激光器中最高的出貨記錄。其穩(wěn)定的高功率輸出、超短脈寬與領(lǐng)先的紫外倍頻技術(shù)，將熱影響降到極低并實現(xiàn)無崩邊加工，特別適用于晶圓表面劃片與先進(jìn)封裝材料的精密切割，顯著提高產(chǎn)能與良率。

圖一：通快TruMicro 6320紫外飛秒激光器

核心技術(shù)：智能能量輸出調(diào)控與精準(zhǔn)光束整形

通快的核心競爭力之一在于其先進(jìn)的能量輸出控制策略。在時域控制方面，通快基于先進(jìn)的激光器設(shè)計與控制系統(tǒng)，可實現(xiàn)最優(yōu)化的能量施布策略。例如，在幾十納秒內(nèi)快速激發(fā)多個脈沖，通過能量疊加效應(yīng)實現(xiàn)高效加工；同時在空間層面，配合強大的光束整形技術(shù)，將激光能量集中并轉(zhuǎn)化為符合工藝需求的光斑形態(tài)。例如，在玻璃芯封裝基板成孔中，TruMicro將高斯光斑整形成細(xì)長“針狀”光斑，從而在玻璃表面高效、精確地加工出納米級孔洞，工藝穩(wěn)定性與重復(fù)性出色。

圖二：晶圓切割

強大支撐：可拓展平臺

TruMicro系列涵蓋光纖、碟片與板條放大等多種先進(jìn)激光技術(shù)平臺，具備高度可拓展性，可快速響應(yīng)市場與客戶不斷發(fā)展的應(yīng)用需求。通快還提供多種波長轉(zhuǎn)換模塊：倍頻模塊可將紅外飛秒轉(zhuǎn)換為綠光、紫外乃至深紫外；結(jié)合脈寬壓縮與高次諧波（HHG）模塊，更能生成13.5 nm極紫外光，適用于晶圓檢測、光掩模檢測等前沿應(yīng)用領(lǐng)域。

關(guān)于通快

通快是一家高科技公司，為機床和激光技術(shù)領(lǐng)域提供制造解決方案。公司通過咨詢、平臺產(chǎn)品和軟件推動制造業(yè)的數(shù)字化連接，通快是柔性板材加工機床和工業(yè)激光器領(lǐng)域的技術(shù)和市場的領(lǐng)導(dǎo)者之一。

在2024/25財年，公司員工人數(shù)為18303名，銷售額43億歐元。通快集團旗下約90家子公司遍布?xì)W洲各國、北美、南美及亞洲地區(qū)，公司在德國、法國、英國、意大利、奧地利、瑞士、波蘭、捷克、美國、墨西哥和中國都設(shè)有生產(chǎn)基地。