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荷蘭半導體專家:ASML花費40年鉆研光刻機,中國企業(yè)竟比ASML還狠

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大家都知道,ASML花了40年才把光刻機做到全球頂尖,幾乎壟斷了高端市場。

但最近一位荷蘭半導體專家坦言,中國企業(yè)在光刻機上的投入,比當年的ASML還要拼、還要狠。

沒有捷徑可走,就埋頭一點點攻堅,不聲不響推進技術突破。



可讓人好奇的是,中國企業(yè)這番“死磕”,真能打破ASML的壟斷,闖出一條屬于自己的路嗎?

ASML的40年

很多人以為ASML一開始就是行業(yè)巨頭,其實不是。

1984年,荷蘭的飛利浦和ASMI兩家公司聯手,湊錢成立了ASML,剛開始就幾十號員工,擠在荷蘭埃因霍溫一個簡陋的廠房里,條件差到下雨天還會漏雨。

信息來源:荷蘭光刻巨頭,+誕生于一個4.5萬人的小鎮(zhèn)



那時候的光刻機市場,根本沒ASML的位置,美國的GCA、日本的尼康和佳能,三分天下,占據了幾乎所有市場份額。

ASML早期做出來的產品,性能很一般,連一些小廠家都不愿意用,只能靠飛利浦的內部訂單勉強維持運轉,好幾次都差點撐不下去。

從成立到真正站穩(wěn)腳跟,ASML熬了十幾年,1991年,他們推出了PAS5500系列光刻機,靠著精準的對準技術,才從尼康、佳能手里搶下第一批客戶。



1995年公司上市,募集到的所有資金,他們沒用來擴張,全砸進了研發(fā)。

2000年,ASML收購了美國的硅谷集團,整合出193納米掃描技術,這才拿到了給英特爾供貨的資格,真正在行業(yè)里站穩(wěn)了腳。

最耗時的是EUV光刻機的研發(fā),從1997年立項,到2013年第一臺能用于生產的機器出貨,整整花了16年。



這期間,光源系統(tǒng)反復出問題,炸了上百次,德國蔡司的工程師,為了打磨出納米級精度的鏡片,在無塵室里一待就是十幾個小時,吃飯睡覺都在實驗室附近。

40年下來,ASML熬死了很多競爭對手,也整合了全球的供應鏈。

一臺光刻機有10萬個零件,鏡片來自德國蔡司,光源來自美國,傳感器來自日本,需要上百家供應商一起配合。



到現在,全球7納米以下芯片制造的光刻機,基本都被ASML壟斷,沒有它,很多高端芯片就造不出來。

那位荷蘭專家說,他們的成功,沒有捷徑,就是慢功夫磨出來的,每一個零件都做到極致。

中國企業(yè)的困境

中國企業(yè)涉足光刻機領域,比ASML晚了整整30多年,起步的時候,面臨的困難比當年的ASML還大。



2002年上海微電子成立的時候,中國在光刻機領域幾乎是一片空白,沒有核心技術,沒有成熟的供應鏈,甚至連相關的人才都很稀缺。

更難的是,美國聯合荷蘭、日本,對中國實施技術封鎖,最先進的EUV光刻機,明確禁止賣給中國。

就連相對普通的DUV光刻機,也層層受限,核心零件買不到,技術資料查不到,甚至有國外專家直言:“中國永遠造不出高端光刻機,給你們全套圖紙,你們也造不出合格的零件?!?/strong>



那時候,很多人不看好中國能搞出光刻機,覺得我們起步太晚,差距太大,再加上封鎖,根本沒有機會。

但中國企業(yè)沒有放棄,越是被限制,越要咬牙堅持,這份狠勁,不是喊口號,是實打實的投入和堅守。

可能有人會問,為什么一定要自己搞光刻機?因為核心技術靠別人,永遠沒有主動權。



別人一旦斷供,我們的芯片產業(yè)就會陷入停滯,手機、電腦、新能源汽車等很多行業(yè),都會受到影響。

所以,搞自主研發(fā),不是為了爭第一,是為了不被別人“卡脖子”。



三中國企業(yè)的狠

荷蘭專家說,ASML的成功,是靠全球供應鏈“搭積木”,整合各國的核心技術,而中國企業(yè),是自己“造積木”,從最基礎的零件開始,一步步自主研發(fā),這種狠勁,很少見。

先說說上海微電子,這家2002年成立的公司,早期其實就是一個科研項目組,人不多,資金也有限,他們沒有盲目跟風ASML的技術路線,而是從成熟制程開始,一步步摸索。

信息來源:中國機會|ASML:半導體產業(yè)開放合作是主流



2023年,他們推出了SSA800浸沒式光刻機,能生產28納米芯片,已經交付給中芯國際使用。

現在,上海微電子的系統(tǒng)能支持90納米以上的芯片制造,在國內的市場份額達到90%,全球占比35%。

要知道,ASML花了20年才達到這個滲透率,而上海微電子只用了20年左右,速度已經很快了,而且他們的零部件國產化率超過75%,不用再完全依賴進口。



再說說華為,2019年,華為跨界組建了光刻機研發(fā)團隊,很多人覺得,華為是做通信設備的,搞光刻機就是“不務正業(yè)”,肯定搞不成。

但華為沒有在意這些質疑,2023年在上海建了研發(fā)中心,投入16.6億美元,還挖來了前ASML的工程師,一點點逆向攻關。

2025年初,華為真的搞出了EUV原型機,雖然還沒有實現量產,但極紫外光已經能穩(wěn)定運行。



而且華為還找到了一條繞開EUV的路,利用成熟的DUV光刻設備,結合多重曝光技術,實現了更先進制程芯片的制造,這在沒有EUV的情況下,已經是很大的突破了。

除此之外,中國還有很多機構和企業(yè),一起參與到光刻機研發(fā)中,中科院、上海光機所等幾十家機構,從光源到鏡片,全鏈條自主攻關,不依賴國外的技術和零件。

我們沒有走ASML“全球整合”的路,因為別人不賣給我們,我們只能自己造,這種“被逼出來”的狠勁,就是中國企業(yè)的底氣。



不吹不黑

說實話,現在中國的光刻機,和ASML還有差距,ASML的EUV光刻機,能制造7納米以下的高端芯片。

已經實現大規(guī)模量產,而中國的EUV原型機還在試產階段,預計2026年三季度才能完成量產驗證。

有人說,既然還有差距,有什么好驕傲的?其實,我們驕傲的不是現在有多厲害,而是在被封鎖、從零起步的情況下,沒有放棄,一步步追趕。



ASML有40年的積累,有全球供應鏈加持,而我們,是在別人的封鎖下,自己摸索、自己研發(fā),每一步都走得很艱難,但也很堅定。

現在,中國在光刻機領域的進步越來越快,EUV專利申請量三年增長200%,光源、鏡片相關的技術論文數量,位居全球第一。

在封裝光刻機領域,上海芯上微裝半年就交付了500臺,全球市占率達到35%。



28納米光刻機已經實現量產,能滿足汽車、家電、5G基站等領域的芯片需求,而28納米也是全球芯片市場的“常青樹”,占據近三成的市場份額。

那位荷蘭專家最后說:“我們曾經以為,壟斷就是技術的終點,可中國企業(yè)讓我們明白,真正的競爭,是讓技術回歸服務產業(yè)的本質?!?/p>

其實,中國研發(fā)光刻機,不是為了取代ASML,而是為了打破壟斷,擁有自己的核心技術,不再被別人“卡脖子”。



今天跟大家說這些,不是為了吹中國有多厲害,而是想告訴大家,中國科技的進步,從來都不是一蹴而就的,是無數工程師日復一日的堅守,是中國企業(yè)實打實的投入換來的。

或許我們現在還沒有完全追上ASML,但請相信,只要我們一直堅持,不放棄,總有一天,我們會在全球半導體領域,擁有屬于自己的話語權。

最后想問大家,你們覺得中國光刻機多久能追上ASML?評論區(qū)留下你的看法,一起為中國科技加油。

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