前沿導(dǎo)讀

據(jù)《日經(jīng)中文網(wǎng)》新聞指出，在上個(gè)月結(jié)束的上海半導(dǎo)體展會(huì)當(dāng)中，許多中國芯片設(shè)備廠商紛紛發(fā)布了自家新產(chǎn)品以及未來的技術(shù)規(guī)劃。

并且多位中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)領(lǐng)軍人也提出了新時(shí)期的產(chǎn)業(yè)發(fā)展目標(biāo)，力爭(zhēng)到十五五結(jié)束的2030年，將國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的自給率提升至80%，針對(duì)電路線寬為7nm的芯片，建設(shè)全部采用國產(chǎn)設(shè)備制造的生產(chǎn)線并且進(jìn)行試運(yùn)行，同時(shí)還要實(shí)現(xiàn)14nm芯片產(chǎn)業(yè)鏈的國產(chǎn)化穩(wěn)定運(yùn)行。

在被美國卡脖子嚴(yán)重的EUV光刻機(jī)領(lǐng)域，也要實(shí)現(xiàn)技術(shù)進(jìn)步，聯(lián)合所有力量組建屬于中國的ASML公司，解決國產(chǎn)先進(jìn)光刻機(jī)的量產(chǎn)制造問題，全力以赴在芯片產(chǎn)業(yè)上追趕海外強(qiáng)國的腳步。

參考資料：
中國半導(dǎo)體自給率能實(shí)現(xiàn)80%嗎？

• https://mp.weixin.qq.com/s/f0YNg1qP6n62PgTB_DfgLQ

提升自給率

每年一屆的上海半導(dǎo)體展會(huì)，是全中國規(guī)模最大、參展數(shù)量最多、入場(chǎng)觀眾最多的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)盛會(huì)。每當(dāng)展會(huì)開始，各大參展企業(yè)均會(huì)將自家最先進(jìn)的設(shè)備以及最豐富的產(chǎn)品線以微觀模型或者宣傳畫冊(cè)的方式呈獻(xiàn)給參展觀眾。

在超過10萬平方米的展會(huì)面積當(dāng)中，人流量較大、關(guān)注度較高、往來觀眾數(shù)量較多的展臺(tái)就是中國本土企業(yè)的展臺(tái)。

北方華創(chuàng)、中微公司、上海微電子&芯上微裝、盛美半導(dǎo)體等國產(chǎn)設(shè)備廠商紛紛將自家公司所制造的部分設(shè)備以等比例縮小的微觀模型方式呈現(xiàn)在觀眾面前。甚至上海微電子、芯上微裝等中國光刻機(jī)企業(yè)也將國產(chǎn)光刻機(jī)的模型搬到了展臺(tái)上面。

各大企業(yè)在上海半導(dǎo)體展會(huì)當(dāng)中展出設(shè)備，最大的意義就是可以讓觀眾或者從業(yè)者清晰了解中國半導(dǎo)體自主設(shè)備的發(fā)展情況，讓大家對(duì)于中國芯片產(chǎn)業(yè)自主技術(shù)的發(fā)展有一個(gè)較為清晰的認(rèn)知。

作為中國刻蝕機(jī)設(shè)備領(lǐng)軍企業(yè)的中微公司，其公司創(chuàng)始人尹志堯先生在接受媒體采訪時(shí)指出，工欲善其事必先利其器，中微公司堅(jiān)持自主技術(shù)研發(fā)，不去復(fù)制國際層面已有的技術(shù)設(shè)備，走純國產(chǎn)技術(shù)的路線，并且利用自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)對(duì)自家的技術(shù)設(shè)備形成保護(hù)壁壘。

中微公司所制造的半導(dǎo)體設(shè)備已經(jīng)超過了30種款式，覆蓋CCP刻蝕設(shè)備、ICP刻蝕設(shè)備、CDP設(shè)備、EPI設(shè)備（外延沉積）以及MOCVD設(shè)備（氣相沉積）。并且所有設(shè)備均為自主技術(shù)研發(fā)，受到自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的國際法律保護(hù)。

截止2025年，中微公司支持5nm節(jié)點(diǎn)的刻蝕機(jī)已經(jīng)累計(jì)出貨超2000腔，是中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)已量產(chǎn)階段最先進(jìn)的制造設(shè)備。并且公司創(chuàng)始人尹志堯先生表示，中微公司將會(huì)通過自主技術(shù)研發(fā)以及并購的方式，在5至10年后將自家公司所能提供的高性能設(shè)備比例提高至60%以上。

刻蝕機(jī)與沉積設(shè)備在半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)中占據(jù)大約22%的市場(chǎng)份額，這個(gè)份額要比光刻設(shè)備還要高出5個(gè)百分點(diǎn)。

中微公司在尹志堯先生的領(lǐng)導(dǎo)下為中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)開了一個(gè)好頭，拿下了自主刻蝕機(jī)以及沉積設(shè)備這些僅次于光刻機(jī)的高精度產(chǎn)品。

除中微公司之外，北方華創(chuàng)也是最受關(guān)注的設(shè)備廠商之一，同時(shí)也是中國北方地區(qū)規(guī)模最大、營收能力最強(qiáng)、發(fā)展勢(shì)頭最強(qiáng)勁的國產(chǎn)設(shè)備廠商。在2025年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模排名當(dāng)中，北方華創(chuàng)排名第7，是前10名當(dāng)中唯一一個(gè)上榜的中國企業(yè)。

北方華創(chuàng)的產(chǎn)品線覆蓋范圍廣泛，除了前端光刻機(jī)之外，幾乎涉及了后續(xù)所有制造設(shè)備，刻蝕、沉積、熱處理、外延、清洗等設(shè)備均有涉足。甚至中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)此前較為落后，高度依賴于美國應(yīng)用材料的離子注入設(shè)備，北方華創(chuàng)也在2025年宣布旗下首款離子注入設(shè)備研發(fā)完成，開始進(jìn)入市場(chǎng)化階段。

北方華創(chuàng)董事長趙晉榮先生對(duì)媒體指出，要始終將客戶的需求放在首位，通過與供應(yīng)鏈伙伴的緊密協(xié)作，將客戶需求有效傳遞至供應(yīng)鏈的每個(gè)環(huán)節(jié)。趙董這種注重客戶服務(wù)的理念，也是北方華創(chuàng)能持續(xù)爆發(fā)出頑強(qiáng)生命力的核心力量。

此前國產(chǎn)制造設(shè)備較為落后，很大原因是因?yàn)閲獾募夹g(shù)設(shè)備成熟，許多本土企業(yè)考慮經(jīng)濟(jì)因素選擇使用海外的制造設(shè)備，這導(dǎo)致國產(chǎn)設(shè)備缺乏市場(chǎng)空間，進(jìn)而無法持續(xù)性優(yōu)化產(chǎn)品，時(shí)間長了就變得越來越落后。

想要提升國產(chǎn)設(shè)備的技術(shù)水平，擁有與海外設(shè)備競(jìng)爭(zhēng)的機(jī)會(huì)，首先需要將設(shè)備用起來，然后在使用的過程中一點(diǎn)點(diǎn)解決問題以提升國產(chǎn)設(shè)備的技術(shù)水平，從而在后續(xù)的發(fā)展中開發(fā)出足以替代進(jìn)口設(shè)備的國產(chǎn)設(shè)備。

純國產(chǎn)供應(yīng)鏈

2026年2月13日，由北方華創(chuàng)董事長趙晉榮、長江存儲(chǔ)董事長&中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)第八屆理事長陳南翔、清華大學(xué)微電子研究所教授魏少軍、中芯國際聯(lián)合創(chuàng)始人王陽元、華大九天董事長劉偉平等人在內(nèi)的13位中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)專家學(xué)者聯(lián)合撰寫了《構(gòu)建自主可控的集成電路產(chǎn)業(yè)體系》報(bào)告。

各位企業(yè)領(lǐng)導(dǎo)以及相關(guān)學(xué)者在報(bào)告中提議，十五五期間要繼續(xù)推動(dòng)中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)自主技術(shù)的快速發(fā)展，大力度解決卡脖子的困境。聯(lián)合國內(nèi)的技術(shù)力量組建類似于荷蘭ASML一樣的公司，去解決國產(chǎn)先進(jìn)光刻機(jī)的量產(chǎn)問題。

然后依靠自主可控的國產(chǎn)設(shè)備，先將14nm產(chǎn)業(yè)鏈實(shí)現(xiàn)純國產(chǎn)化穩(wěn)定制造，隨后向7nm等先進(jìn)技術(shù)節(jié)點(diǎn)發(fā)起自主產(chǎn)業(yè)鏈攻關(guān)，力爭(zhēng)在2030年實(shí)現(xiàn)純國產(chǎn)7nm生產(chǎn)線的試運(yùn)行，同時(shí)將國內(nèi)半導(dǎo)體的整體提給率提升至80%。

美國國際商務(wù)戰(zhàn)略公司對(duì)此分析稱，根據(jù)中國設(shè)備企業(yè)在中國市場(chǎng)的供貨額進(jìn)行推算，中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在2024年的自給率為33%。想要實(shí)現(xiàn)規(guī)劃的目標(biāo)，必須要面臨的問題是如何提升中國國產(chǎn)光刻機(jī)的技術(shù)競(jìng)爭(zhēng)力。

在2026年上海半導(dǎo)體展會(huì)中，尼康、佳能、ASML這三家光刻機(jī)企業(yè)均進(jìn)行了參展。

ASML在展會(huì)當(dāng)中只有一個(gè)非常簡單的宣傳展臺(tái)，而尼康和佳能則是在展臺(tái)當(dāng)中表示要深耕中國市場(chǎng)，甚至尼康還針對(duì)中國市場(chǎng)推出了特殊扶持政策，其中包括銷售二手光刻機(jī)、提供翻新服務(wù)、提供技術(shù)維護(hù)、提供安裝移機(jī)服務(wù)等行動(dòng)，并且尼康在展會(huì)中還強(qiáng)調(diào)要依靠中國市場(chǎng)重返產(chǎn)業(yè)巔峰。

在面對(duì)自主技術(shù)難題與日本企業(yè)的技術(shù)“誘惑”時(shí)，中國企業(yè)需要付出更多的努力、下更大的決心朝著自主可控的產(chǎn)業(yè)目標(biāo)前進(jìn)。