本文來(lái)源：時(shí)代商業(yè)研究院 作者：陸爍宜

潮起東方，科技為帆。在半導(dǎo)體國(guó)產(chǎn)化浪潮奔涌、基礎(chǔ)科研自主可控成為國(guó)家核心戰(zhàn)略的時(shí)代背景下，關(guān)鍵核心設(shè)備的突破，既是產(chǎn)業(yè)升級(jí)的“必答題”，更是國(guó)家競(jìng)爭(zhēng)力的“試金石”。

中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)科學(xué)儀器股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“中科儀”），以中科院七十載科研積淀為基，深耕真空裝備領(lǐng)域數(shù)十載。從打破國(guó)外壟斷到扛起國(guó)產(chǎn)化大旗，從服務(wù)國(guó)家重大專項(xiàng)到賦能半導(dǎo)體核心產(chǎn)業(yè)鏈，其發(fā)展軌跡始終與國(guó)家戰(zhàn)略同頻共振，每一步都精準(zhǔn)踩在時(shí)代需求的關(guān)鍵點(diǎn)上。

這家真空設(shè)備領(lǐng)域的“國(guó)家隊(duì)”，不僅是市場(chǎng)層面的行業(yè)領(lǐng)軍者，更是國(guó)家破解半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主化難題、筑牢關(guān)鍵領(lǐng)域國(guó)產(chǎn)可控根基的戰(zhàn)略支點(diǎn)。

北交所官網(wǎng)顯示，中科儀已于2026年4月10日啟動(dòng)北交所發(fā)行，距正式登陸資本市場(chǎng)僅一步之遙。此次發(fā)行上市，中科儀有望借助資本市場(chǎng)的東風(fēng)淬煉技術(shù)實(shí)力，以硬核科技詮釋中國(guó)智造的力量，在產(chǎn)業(yè)之巔書寫屬于中國(guó)裝備制造的新篇章、為半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈國(guó)產(chǎn)化注入持久動(dòng)能。

使命錨定：國(guó)家戰(zhàn)略澆筑的品牌護(hù)城河與產(chǎn)業(yè)底氣

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的自主可控，離不開半導(dǎo)體制造關(guān)鍵設(shè)備及零部件的技術(shù)突破，而真空泵正是其中的“心臟部件”——集成電路產(chǎn)業(yè)15個(gè)主要工藝環(huán)節(jié)中，11個(gè)需依賴真空泵構(gòu)建潔凈真空環(huán)境，占比超70%。一旦干式真空泵出現(xiàn)故障，將直接導(dǎo)致生產(chǎn)線停擺，其戰(zhàn)略重要性不言而喻。

此前，干式真空泵的研發(fā)、生產(chǎn)技術(shù)一直被歐洲、日本等國(guó)外企業(yè)壟斷，成為制約我國(guó)集成電路供應(yīng)鏈安全的難題之一。而在高端真空設(shè)備領(lǐng)域，中科儀的歷史底色，始終與“打破壟斷、從0到1”的使命緊密相連。

經(jīng)過數(shù)十年的技術(shù)沉淀，2001年，中科儀成功研發(fā)出用于科研領(lǐng)域以實(shí)現(xiàn)清潔真空環(huán)境的渦旋干式真空泵，打破國(guó)外廠商對(duì)干式真空泵市場(chǎng)的長(zhǎng)期壟斷，拉開了該領(lǐng)域國(guó)產(chǎn)化的序幕。

自2005年以來(lái)，中科儀更是連續(xù)13次承擔(dān)“02專項(xiàng)”“863計(jì)劃”“國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃”等國(guó)家級(jí)重大科研專項(xiàng)或課題，在真空科學(xué)儀器設(shè)備的技術(shù)壁壘中持續(xù)突圍。其中，依托國(guó)家“02”重大專項(xiàng)，中科儀研發(fā)出3個(gè)系列9個(gè)型號(hào)干式真空泵（機(jī)組），實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體領(lǐng)域用干式真空泵的技術(shù)壁壘突破，實(shí)現(xiàn)了干式真空泵的產(chǎn)業(yè)化落地，終結(jié)了國(guó)外企業(yè)的壟斷格局。

中科儀前進(jìn)的腳步并未停止，此后仍持續(xù)優(yōu)化干式真空泵的性能、提升產(chǎn)品質(zhì)量，產(chǎn)品得到長(zhǎng)江存儲(chǔ)、長(zhǎng)鑫科技、中芯國(guó)際、華虹宏力等頭部集成電路制造企業(yè)多條產(chǎn)線的大批量應(yīng)用，以極強(qiáng)的戰(zhàn)略必要性與需求剛性，成為產(chǎn)業(yè)鏈不可或缺的核心環(huán)節(jié)。

如今，中科儀已經(jīng)成為集成電路領(lǐng)域出貨量最大的國(guó)產(chǎn)干式真空泵制造企業(yè)——既是唯一在集成電路先進(jìn)制程實(shí)現(xiàn)批量應(yīng)用的國(guó)產(chǎn)企業(yè)，也是唯一在清潔、中等、苛刻全工藝場(chǎng)景均實(shí)現(xiàn)批量應(yīng)用的國(guó)產(chǎn)企業(yè)，其產(chǎn)品可滿足14nm先進(jìn)邏輯芯片及128層以上3DNAND工藝需求，有效保障了我國(guó)集成電路制造設(shè)備關(guān)鍵零部件的自主可控與供應(yīng)鏈安全，奠定了其在高端真空設(shè)備領(lǐng)域不可替代的行業(yè)地位。

這份底氣，更源于其“中科院系”的獨(dú)特基因與頂級(jí)資源加持。股權(quán)結(jié)構(gòu)顯示，中國(guó)科學(xué)院控股有限公司持有國(guó)科科儀控股有限公司100%股權(quán)，并通過國(guó)科科儀控制中科儀35.21%股份，是中科儀的實(shí)際控制人。中科院的強(qiáng)力背書，為中科儀賦予了頂尖的人才引力、前瞻的科研洞察與深厚的信譽(yù)資產(chǎn)，構(gòu)成了國(guó)內(nèi)競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手難以逾越的戰(zhàn)略安全墊。

更值得關(guān)注的是，國(guó)家集成電路基金的戰(zhàn)略持股，進(jìn)一步將中科儀的品牌優(yōu)勢(shì)推向新高度。國(guó)家大基金的入股，絕非單純的資金支持，更向市場(chǎng)傳遞了強(qiáng)烈信號(hào)——中科儀已被納入國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的核心梯隊(duì)，其技術(shù)實(shí)力與發(fā)展?jié)摿Φ玫絿?guó)家層面的高度認(rèn)可。

創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)：技術(shù)飛輪轉(zhuǎn)動(dòng)的成長(zhǎng)動(dòng)能與市場(chǎng)格局

如果說國(guó)家使命與頂級(jí)資源加持是中科儀的“外部護(hù)城河”，那么以持續(xù)創(chuàng)新構(gòu)筑技術(shù)壁壘、以龍頭地位撬動(dòng)市場(chǎng)增長(zhǎng)的內(nèi)生發(fā)展邏輯，則是其將戰(zhàn)略稀缺性轉(zhuǎn)化為可持續(xù)商業(yè)成功的核心動(dòng)能。

要實(shí)現(xiàn)從“跟跑”到“領(lǐng)跑”的跨越，離不開從0到1的原始創(chuàng)新突破，而這正是中科儀始終堅(jiān)守的發(fā)展內(nèi)核。作為誕生之初就肩負(fù)著服務(wù)國(guó)家科研使命的企業(yè)，中科儀早已將創(chuàng)新基因深深植入企業(yè)發(fā)展的血脈之中。

在干式真空泵技術(shù)探索這條充滿未知與挑戰(zhàn)的道路上，中科儀依托真空技術(shù)裝備國(guó)家工程研究中心、國(guó)家真空儀器裝置工程技術(shù)研究中心、國(guó)家企業(yè)技術(shù)中心三個(gè)國(guó)家級(jí)研發(fā)平臺(tái)的強(qiáng)大支撐，在干式真空泵領(lǐng)域不斷實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵技術(shù)突破，逐步構(gòu)建起高端技術(shù)壁壘。

集成電路行業(yè)由于對(duì)干式真空泵真空壓力穩(wěn)定性、抗大氣載沖擊能力、抗特氣腐蝕、無(wú)故障運(yùn)行時(shí)間以及占地尺寸等性能指標(biāo)要求更高，而呈現(xiàn)較高的技術(shù)壁壘。在該領(lǐng)域，羅茨干泵憑借其獨(dú)特的轉(zhuǎn)子型線設(shè)計(jì)、氣體流通通道設(shè)計(jì)、動(dòng)密封結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)等，在集成電路行業(yè)呈現(xiàn)更好的適配性。在技術(shù)原理方面，中科儀與Edwards等國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手基本均采用羅茨技術(shù)，技術(shù)原理不存在重大差異。

從產(chǎn)品性能上看，無(wú)論是清潔工藝（如量測(cè)、光刻等）、中等工藝（如去

膠、刻蝕等）、還是苛刻工藝（如金屬刻蝕、CVD），中科儀典型產(chǎn)品關(guān)鍵指標(biāo)均與國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手處于同一水平。這也意味著，中科儀的產(chǎn)品已經(jīng)具備與國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手同臺(tái)“掰手腕”的硬核實(shí)力。

這份實(shí)力，與中科儀對(duì)研發(fā)創(chuàng)新的高度重視密不可分。作為中科院下屬企業(yè)，長(zhǎng)期以來(lái)中科儀高度重視技術(shù)創(chuàng)新。財(cái)務(wù)數(shù)據(jù)顯示，2023年公司研發(fā)費(fèi)用達(dá)8465.08萬(wàn)元，2024年研發(fā)費(fèi)用增至1.10億元，近年來(lái)，中科儀長(zhǎng)期保持高比例研發(fā)投入，研發(fā)費(fèi)用率達(dá)到10%左右。

持續(xù)的研發(fā)投入，結(jié)出了豐碩的知識(shí)產(chǎn)權(quán)成果。通過多年的研發(fā)積累和工藝創(chuàng)新，中科儀自主研發(fā)形成了8大核心技術(shù)，截至2025年底，該公司已經(jīng)獲得授權(quán)的發(fā)明專利103項(xiàng)、實(shí)用新型專利20項(xiàng)，并取得軟件著作權(quán)登記37項(xiàng)。同時(shí)，中科儀還負(fù)責(zé)或作為主要參與方起草了13項(xiàng)真空技術(shù)相關(guān)的國(guó)家、行業(yè)及團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)，引領(lǐng)行業(yè)技術(shù)規(guī)范發(fā)展；2022年承擔(dān)攻關(guān)任務(wù)，研發(fā)應(yīng)用于先進(jìn)制程苛刻工藝的干式真空泵；公司先后獲國(guó)家科學(xué)技術(shù)進(jìn)步特等、一等、二等、三等獎(jiǎng)共6項(xiàng)，中國(guó)科學(xué)院及省部級(jí)科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎(jiǎng)20余項(xiàng)，彰顯了其深厚的科研實(shí)力。

技術(shù)硬實(shí)力穩(wěn)步落地，最終轉(zhuǎn)化為產(chǎn)品市場(chǎng)影響力與客戶認(rèn)可度。公司中科儀的產(chǎn)品廣泛支持國(guó)內(nèi)主流晶圓廠，以及國(guó)內(nèi)主流集成電路設(shè)備制造企業(yè)。

截至目前，中科儀各類干式真空泵的出貨量已累計(jì)超過4萬(wàn)臺(tái)，其中集成電路領(lǐng)域出貨量超3萬(wàn)臺(tái)。根據(jù)市場(chǎng)預(yù)計(jì)數(shù)據(jù)測(cè)算，2024年該公司干式真空泵在集成電路領(lǐng)域國(guó)內(nèi)市占率約為12.72%，不僅成功打破歐美及日本企業(yè)在國(guó)內(nèi)市場(chǎng)長(zhǎng)期壟斷，而且公司憑借優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品質(zhì)量和持續(xù)不斷的研發(fā)創(chuàng)新，現(xiàn)已居于行業(yè)頭部領(lǐng)先地位。放眼國(guó)際市場(chǎng)，中科儀的競(jìng)爭(zhēng)力同樣凸顯。該公司產(chǎn)品已通過臺(tái)積電、SK海力士的測(cè)試驗(yàn)證并實(shí)現(xiàn)小批量出貨，標(biāo)志著其技術(shù)水平獲得全球頂尖企業(yè)認(rèn)可。

從市場(chǎng)前景來(lái)看，受益于近年來(lái)集成電路產(chǎn)業(yè)的穩(wěn)定增長(zhǎng)，干式真空泵產(chǎn)業(yè)也保持著良好的發(fā)展態(tài)勢(shì)。根據(jù)SEMI預(yù)計(jì)數(shù)據(jù)及測(cè)算結(jié)果，2024年全球集成電路領(lǐng)域干式真空泵的市場(chǎng)規(guī)模約125.74億元。我國(guó)是全球集成電路產(chǎn)業(yè)最主要的市場(chǎng)之一，受益于我國(guó)政府大力支持相關(guān)領(lǐng)域發(fā)展，近年來(lái)我國(guó)集成電路制造能力迅速提升，根據(jù)SEMI預(yù)計(jì)數(shù)據(jù)及測(cè)算結(jié)果，2024年中國(guó)內(nèi)地集成電路領(lǐng)域干式真空泵的市場(chǎng)規(guī)模約52.11億元，市場(chǎng)空間廣闊。

作為國(guó)內(nèi)龍頭，中科儀不僅將成為行業(yè)增長(zhǎng)的受益者，更是國(guó)產(chǎn)化率提升這一結(jié)構(gòu)性變革的主導(dǎo)者之一。雙重動(dòng)能的加持，為其未來(lái)的增長(zhǎng)提供了極具彈性的想象空間。

從國(guó)家實(shí)驗(yàn)室走向全球晶圓廠，中科儀的旅程印證了一個(gè)道理：真正的自主可控，源于持之以恒的創(chuàng)新，成于市場(chǎng)嚴(yán)苛的錘煉。這不僅僅是一家公司的成功，更象征著中國(guó)高端制造如何憑借戰(zhàn)略定力與創(chuàng)新韌勁，在曾被牢牢封鎖的領(lǐng)域打開缺口，并建立起屬于自己的護(hù)城河。在資本市場(chǎng)的助力下，這家真空領(lǐng)域的“國(guó)家隊(duì)”有望以更快的速度轉(zhuǎn)動(dòng)技術(shù)與商業(yè)的飛輪，持續(xù)強(qiáng)化核心競(jìng)爭(zhēng)力，在中國(guó)乃至全球的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)地圖上，刻下更深的中國(guó)印記。