2015年2月，美國(guó)商務(wù)部悄悄更新了一則聲明，五千多個(gè)單詞重點(diǎn)講了一件事：取消向中國(guó)出口等離子刻蝕機(jī)的限制。

國(guó)人對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備禁令的印象，大多始于2019年聲勢(shì)浩大的科技戰(zhàn)，但早在互聯(lián)網(wǎng)還沒(méi)有記憶的1996年，美國(guó)就集結(jié)了“巴統(tǒng)” 17國(guó)在內(nèi)的33個(gè)國(guó)家，以《瓦森納協(xié)定》的形式確定了密不透風(fēng)的技術(shù)出口管控。

協(xié)定的3.B條款嚴(yán)格限制了芯片制造前、中、后道幾乎所有核心設(shè)備，其中就包括刻蝕機(jī)。

2015年的聲明是美國(guó)迄今唯一一次“讓步”，原因也很樸實(shí)： “有一家非美國(guó)公司已經(jīng)有能力供應(yīng)足夠數(shù)量和同等質(zhì)量的刻蝕機(jī)。”

美國(guó)商務(wù)部的解除限制證明

這家“非美國(guó)公司”名叫中微公司，創(chuàng)始人尹志堯是應(yīng)用材料（AMAT）的刻蝕機(jī)事業(yè)部的一把手，后者是美國(guó)乃至全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備公司。

2003年，尹志堯代表應(yīng)用材料來(lái)中國(guó)參展，遇到高中校友江上舟。江上舟可謂上海半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的“總設(shè)計(jì)師”，主導(dǎo)了大批在美國(guó)工作的華人工程師回國(guó)創(chuàng)業(yè)，上一個(gè)被江上舟請(qǐng)到上海的就是張汝京創(chuàng)辦的中芯國(guó)際。

應(yīng)用材料在展會(huì)上公開(kāi)了其刻蝕機(jī)的內(nèi)部構(gòu)造，江上舟忍不住對(duì)尹志堯感嘆道： “看來(lái)造刻蝕機(jī)比造原子彈還復(fù)雜?！?/p>

一年后，中微公司落戶(hù)上海金橋，成立第三年量產(chǎn)首款刻蝕機(jī)，第七年實(shí)現(xiàn)45nm介質(zhì)刻蝕機(jī)的國(guó)產(chǎn)突破，成為臺(tái)積電5nm產(chǎn)線(xiàn)上唯一一家中國(guó)大陸刻蝕機(jī)供應(yīng)商。

同一時(shí)期，國(guó)內(nèi)規(guī)模最大的半導(dǎo)體設(shè)備公司北方華創(chuàng)在北京成立，由七星電子與北方微電子重組合并而來(lái)。其中七星電子的歷史可以追溯到蘇聯(lián)援建時(shí)期，開(kāi)發(fā)過(guò)中國(guó)第一臺(tái)擴(kuò)散爐和等離子刻蝕機(jī)，繼承了上個(gè)世紀(jì)中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備開(kāi)發(fā)的幾乎全部遺產(chǎn)。

在“卡脖子”這個(gè)詞還沒(méi)普及的年代，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備已經(jīng)開(kāi)始在逆風(fēng)中疾行了。

權(quán)力與秩序

2023年，光刻機(jī)生產(chǎn)商ASML問(wèn)鼎全球最大半導(dǎo)體設(shè)備制造商，蟬聯(lián)榜一大哥三十年的應(yīng)用材料淪為背景板。

經(jīng)歷多年科技戰(zhàn)，光刻機(jī)已然成為“卡脖子”這一概念具體的表征。但作為人類(lèi)迄今為止最復(fù)雜的工程，芯片制造的工序和環(huán)節(jié)極端復(fù)雜。一般來(lái)說(shuō)，半導(dǎo)體制造有光刻、刻蝕、薄膜沉積“三大主設(shè)備”的說(shuō)法，三種設(shè)備占據(jù)整個(gè)市場(chǎng)六成以上的份額。

通俗來(lái)說(shuō)，一顆芯片并不是被“光刻”出來(lái)的，而是“刻蝕”出來(lái)的。拿刻印章類(lèi)比，光刻類(lèi)似在印章上畫(huà)好草圖，刻蝕會(huì)把光刻標(biāo)記的草圖，通過(guò)物理或化學(xué)方法去除，類(lèi)似用刀具刻出具體的圖案。

芯片制造的原理并不復(fù)雜，但高端制造業(yè)的核心在于對(duì)精度和誤差的控制。生產(chǎn)1厘米直徑的鋼管和生產(chǎn)1.00001厘米直徑的鋼管，后者的難度與利潤(rùn)比前者大上百倍千倍。

一塊硅晶圓變成芯片，所有的流程精度都在納米計(jì)量的區(qū)間游走，工匠精神含量遠(yuǎn)非搓壽司能望其項(xiàng)背。與光刻機(jī)類(lèi)似，全球刻蝕設(shè)備由泛林、應(yīng)用材料和東京電子分而治之，三者幾乎壟斷了整個(gè)市場(chǎng)。

相比之下，薄膜沉積設(shè)備奮起多年，國(guó)產(chǎn)化率尚且爬升到35%，刻蝕機(jī)在20%徘徊，光刻機(jī)甚至不到3%。

芯片制程會(huì)跟隨摩爾定律進(jìn)步，但生產(chǎn)芯片的設(shè)備卻不受摩爾定律支配，很容易形成強(qiáng)者恒強(qiáng)的局面。因此，美國(guó)制造業(yè)雖然日常衰落，但在半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)，美國(guó)公司都快站不下了。

另一方面，芯片制造是一個(gè)非常年輕的產(chǎn)業(yè)，在各個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備公司不斷出清整合的過(guò)程中，幸存者所積累的Know How會(huì)成為某種意義上的“標(biāo)準(zhǔn)”，進(jìn)一步提高了后來(lái)者的入場(chǎng)門(mén)檻。

俗話(huà)說(shuō)“一流企業(yè)做標(biāo)準(zhǔn)”，但標(biāo)準(zhǔn)并不是被“制定”出來(lái)的，而是在漫長(zhǎng)的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)中不斷磨合推敲，最終成為行業(yè)心照不宣的標(biāo)準(zhǔn)。

上世紀(jì)90年代，伴隨電子設(shè)備小型化和消費(fèi)電子市場(chǎng)的繁榮，芯片制造開(kāi)始從垂直整合走向水平分工。

當(dāng)芯片公司不斷將生產(chǎn)環(huán)節(jié)外包出去，芯片制造流程不斷標(biāo)準(zhǔn)化，上游的設(shè)備制造商被動(dòng)或主動(dòng)地參與了標(biāo)準(zhǔn)的確立。

ASML創(chuàng)辦于1984年，光刻機(jī)已經(jīng)在美日廠(chǎng)商之間打了個(gè)來(lái)回。尼康的首臺(tái)商用步進(jìn)式光刻機(jī)NSR-1010G與“銷(xiāo)冠”GCA的DSW-4800針尖對(duì)麥芒，市場(chǎng)份額開(kāi)始平起平坐。

上圖NSR-1010G，下圖DSW-4800

泛林80年代初發(fā)明了等離子刻蝕機(jī)，確立了刻蝕機(jī)的頭把交椅；應(yīng)用材料憑借劃時(shí)代的CVD（化學(xué)氣象沉積）Precision 5000和PVD（物理氣相沉積）Endura 5500，在薄膜沉積一統(tǒng)江湖。

這個(gè)過(guò)程中，設(shè)備生產(chǎn)商會(huì)根據(jù)晶圓廠(chǎng)的生產(chǎn)方法確定投資方向，晶圓廠(chǎng)也會(huì)自發(fā)依照生產(chǎn)設(shè)備調(diào)整生產(chǎn)流程，大家心照不宣的“標(biāo)準(zhǔn)”就會(huì)逐漸形成。基于標(biāo)準(zhǔn)的強(qiáng)綁定關(guān)系，是一堵密不透風(fēng)的幕墻。

因此，半導(dǎo)體“后進(jìn)國(guó)”很容易淪為買(mǎi)票進(jìn)場(chǎng)的看客，直接引進(jìn)國(guó)外設(shè)備變成建立芯片產(chǎn)線(xiàn)最具性?xún)r(jià)比的方案，但也會(huì)為前者澆筑越來(lái)越厚的技術(shù)壁壘。

如果上不去牌桌，贏(yíng)錢(qián)就是空談。

關(guān)關(guān)難過(guò)關(guān)關(guān)過(guò)

每個(gè)壟斷市場(chǎng)的設(shè)備巨頭的背后，都對(duì)應(yīng)著一個(gè)擁有絕對(duì)話(huà)語(yǔ)權(quán)的供應(yīng)鏈帝國(guó)。

2012年，ASML拿出一半的營(yíng)收，收購(gòu)了一家名叫Cymer的美國(guó)公司。后者是ASML的光源供應(yīng)商——通過(guò)每秒5萬(wàn)次二氧化碳激光轟擊液態(tài)錫，產(chǎn)生強(qiáng)度足夠大的EUV光源，通過(guò)多次鏡面反射，在晶圓上刻畫(huà)電路。這是美國(guó)限制EUV光刻機(jī)出口的技術(shù)源頭。

2016年，ASML再接再厲，收購(gòu)鏡片供應(yīng)商蔡司25%的股權(quán)。后者為ASML提供的鏡片是地球上最光滑的東西，負(fù)責(zé)為光源創(chuàng)造光路。

High-NA EUV光刻機(jī)鏡片，蔡司將其形容為“世界上最精確的鏡子”，圖片來(lái)源：蔡司

通過(guò)類(lèi)似“讓利、共同研發(fā)、獨(dú)家供應(yīng)”三板斧[4]，ASML將一家家零部件供應(yīng)商綁上戰(zhàn)船。時(shí)至今日，ASML EUV光刻機(jī)零部件個(gè)數(shù)已經(jīng)超過(guò)了10萬(wàn)，背后是5100多個(gè)供應(yīng)商。

中微公司第一款刻蝕機(jī)的設(shè)計(jì)在2004年就已定稿，但尹智堯發(fā)現(xiàn)，量產(chǎn)的最大困難在于找不到趁手的零部件供應(yīng)商[1]。

當(dāng)時(shí)，中微刻蝕機(jī)采用了兩個(gè)反應(yīng)臺(tái)同時(shí)加工的設(shè)計(jì)，刻蝕效率成倍提高，但這種設(shè)計(jì)意味著必須對(duì)零部件進(jìn)行重新設(shè)計(jì)，問(wèn)題由此產(chǎn)生。

一是經(jīng)過(guò)漫長(zhǎng)的整合，供應(yīng)商與設(shè)備生產(chǎn)商往往緊密綁定，類(lèi)似ASML與Cymer的關(guān)系。這也是眾多“后進(jìn)生”遇到的共同問(wèn)題：供應(yīng)商都與設(shè)備生產(chǎn)商緊密綁定，封死了后來(lái)者的路徑。

二是即便供應(yīng)上不受限制，也天然缺乏參與意愿。半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)高度集中，一家供應(yīng)商很可能90%的產(chǎn)品都對(duì)應(yīng)一個(gè)客戶(hù)。在這種情況下，供應(yīng)商為新客戶(hù)定制零部件，在商業(yè)上存在極大的不確定性。

2007年，中微的首臺(tái)刻蝕機(jī)歷時(shí)三年終于量產(chǎn)，但直到2023年，也尚未實(shí)現(xiàn)零部件100%的國(guó)產(chǎn)化。

供應(yīng)鏈問(wèn)題還沒(méi)解決完，還得應(yīng)付另一座大山壓頂：專(zhuān)利。

中微的首臺(tái)刻蝕機(jī)量產(chǎn)后，很快收到了來(lái)自“前同事”們的問(wèn)候。應(yīng)用材料、泛林先后向中微提起專(zhuān)利訴訟。雖然因?yàn)橐緢蛱崆白隽藴?zhǔn)備，最終兩起訴訟分別以證據(jù)不足和專(zhuān)利無(wú)效結(jié)案[1]。但中微并非毫發(fā)無(wú)傷。

與應(yīng)用材料的訴訟歷時(shí)兩年半，律師費(fèi)就高達(dá)2500萬(wàn)美元[2]；泛林?jǐn)≡V后又上訴，前后糾纏整整七年。緊接著又陷入和Veeco關(guān)于石墨盤(pán)的專(zhuān)利糾紛。尹智堯后來(lái)坦言，相對(duì)于勝訴的欣喜，感受到更多的是壓力。

有備而來(lái)的公司是少數(shù)，死于專(zhuān)利擠兌的是多數(shù)。追逐者們即使排除萬(wàn)難量產(chǎn)了產(chǎn)品，大部分都會(huì)倒在這里，不是被賠款壓破了產(chǎn)，就是打不過(guò)就加入——被巨頭收購(gòu)。

最后一個(gè)難關(guān)是說(shuō)服芯片制造商“試試”。設(shè)備關(guān)系到產(chǎn)線(xiàn)良率和單顆芯片成本，是芯片制造商的生殺線(xiàn)，因此在設(shè)備的選擇上沒(méi)有感情全是技術(shù)，講了技術(shù)還得論可靠和穩(wěn)定性。

然而，當(dāng)“斷供”的屠刀襲來(lái)，一切標(biāo)準(zhǔn)都得從長(zhǎng)計(jì)議。

遲到的禁令

2021年，全球半導(dǎo)體設(shè)備Top10迎來(lái)一位新面孔——韓國(guó)公司SEMES。

SEMES異軍突起的核心因素是日本的制裁：2019年，日本宣布限制向韓國(guó)出口光刻膠等芯片制造核心材料，設(shè)備雖然不在打擊范圍內(nèi)，但不足20%的國(guó)產(chǎn)化率，成為韓國(guó)人的心腹大患。

此后三年，韓國(guó)巨頭開(kāi)始緊急補(bǔ)課。以三星為代表，通過(guò)存儲(chǔ)芯片龐大的產(chǎn)能扶持本土設(shè)備廠(chǎng)，輻射范圍從CVD、測(cè)試機(jī)、清洗機(jī)到供氣系統(tǒng)、刻蝕機(jī)用的真空泵[5]。SEMES作為三星的全資子公司，自然是訂單管飽。

將SEMES的營(yíng)收堆進(jìn)Top10的訂單大多來(lái)自清洗機(jī)——一個(gè)僅占據(jù)整體市場(chǎng)5%的偏門(mén)領(lǐng)域。但三星壟斷全球的存儲(chǔ)芯片產(chǎn)能，硬生生催熟了SEMES的技術(shù)水平。

正在清洗晶圓的清洗機(jī)；圖片來(lái)源：TDK

一年后，相似的劇情在中國(guó)上演。三大刻蝕設(shè)備生產(chǎn)商連夜將設(shè)備撤出中國(guó)工廠(chǎng)，恐慌情緒開(kāi)始蔓延。這種情況下，沒(méi)有被制裁的企業(yè)，也會(huì)形成一種“早晚被制裁”的預(yù)期，從而動(dòng)力尋求備選方案。

同時(shí)，迅速增長(zhǎng)的芯片產(chǎn)能，恰好給國(guó)產(chǎn)設(shè)備提供了參與市場(chǎng)驗(yàn)證的空間。

一條先進(jìn)制程產(chǎn)線(xiàn)，設(shè)備并不一定全得先進(jìn)。被應(yīng)用在多個(gè)步驟的刻蝕機(jī)，根據(jù)刻蝕對(duì)象（硅、金屬等）、線(xiàn)寬、厚度的不同，對(duì)設(shè)備的要求存在很大差異。一條14nm的產(chǎn)線(xiàn)可以與28nm產(chǎn)線(xiàn)共用一部分設(shè)備，這就給國(guó)產(chǎn)替代留出了空間。

而長(zhǎng)周期的驗(yàn)證過(guò)程，在代工廠(chǎng)“時(shí)間緊、任務(wù)重”的產(chǎn)能規(guī)劃面前，也變得不再難以逾越。截至2023年底，中國(guó)大陸在建12英寸晶圓廠(chǎng)24座，規(guī)劃興建或改造13座[7]；據(jù)SEMI，2024年全球有42座晶圓廠(chǎng)投產(chǎn)，中國(guó)大陸占了其中18個(gè)。

耐人尋味的是，“撤離中國(guó)工廠(chǎng)”后，涉事三巨頭在中國(guó)大陸的營(yíng)收占比不降反增，普遍從30%左右增長(zhǎng)到如今的40%以上，ASML和東京電子甚至直逼50%。

競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的武器從封鎖變成了傾銷(xiāo)，不失為一種褒獎(jiǎng)。

而在高端沉積設(shè)備ALD（原子層沉積）的追趕上，國(guó)內(nèi)設(shè)備公司也取得了不錯(cuò)的進(jìn)展。ALD的特點(diǎn)是將材料以單層原子的形式，一層一層沉積在襯底表面，在28nm以下制程不可或缺。

2022年，微導(dǎo)納米宣布量產(chǎn)國(guó)內(nèi)第一臺(tái)High-K ALD，并應(yīng)用于國(guó)內(nèi)某代工廠(chǎng)28nm產(chǎn)線(xiàn)。2024年，北方華創(chuàng)一口氣推出三款A(yù)LD。直到去年9月，美國(guó)政府開(kāi)始將ALD視為重點(diǎn)打擊對(duì)象，但顯然為時(shí)已晚。

時(shí)至今日，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備在全球市場(chǎng)的份額仍然以個(gè)位數(shù)計(jì)量，諸多設(shè)備種類(lèi)的國(guó)產(chǎn)化率依然還處于偏低水平。

但看似微小的突破，在二十年前也被視作難以逾越的高山。

尾聲

2021年，時(shí)任ASML總裁溫寧克被問(wèn)及地緣政治對(duì)中國(guó)自主設(shè)備的影響，他表示： “物理規(guī)則是一樣的，封鎖只會(huì)加速中國(guó)自主研發(fā)的速度?！?/p>

半導(dǎo)體設(shè)備雖然是一個(gè)先發(fā)者壟斷的市場(chǎng)，但它同時(shí)也是一個(gè)極端成熟的市場(chǎng)。市場(chǎng)規(guī)模、工藝流程、技術(shù)原理與技術(shù)實(shí)現(xiàn)路徑都非常確定，能限制后發(fā)者的不是政府文件，而是物理學(xué)。

人工智能這類(lèi)前沿技術(shù)，反倒處處彌漫著“戰(zhàn)爭(zhēng)迷霧”，因?yàn)槠浼夹g(shù)發(fā)展路線(xiàn)、應(yīng)用落地方向、市場(chǎng)規(guī)模與投資回報(bào)率都不甚清晰，市場(chǎng)參與者反而需要面對(duì)極大的不確定性。

另一方面，芯片制造的分工極端復(fù)雜，各個(gè)環(huán)節(jié)相互依存，彼此依賴(lài)。這也是為什么江上舟會(huì)說(shuō)， “我們不一定要樣樣精通，只要有幾樣走在國(guó)外前面，就可以走出我們的發(fā)展道路?！?/p>

可惜江上舟在2011年因癌癥辭世，并未看到自己播撒的種子在夾縫中生長(zhǎng)萌芽。去年7月，80歲的尹志堯做客央視節(jié)目[9]，依然保持著樂(lè)觀(guān)： “我并沒(méi)有看到技術(shù)上有越不過(guò)去的坎?！?/p>

參考資料

[1] 年輕的挑戰(zhàn)者：中微公司的天時(shí)、地利、人和，橙子不糊涂

[2] 專(zhuān)訪(fǎng)中微公司創(chuàng)始人、董事長(zhǎng)尹志堯：花甲再創(chuàng)業(yè)，只為不再“芯”痛，上財(cái)商學(xué)評(píng)論

[3] 光刻巨人：ASML崛起之路，瑞尼·雷吉梅克/金捷幡譯

[4] 光刻機(jī)之戰(zhàn)，尼康輸給ASML的真相解析，Monoist

[5] 日本“斷供”兩年后，三星猛砸3800億，布局14家半導(dǎo)體設(shè)備和材料公司，芯東西

[6] 美系半導(dǎo)體設(shè)備廠(chǎng)商撤離中國(guó)，工程師“連客戶(hù)電話(huà)都不能接！”電子工程專(zhuān)輯

[7] 2023年中國(guó)晶圓制造產(chǎn)線(xiàn)和產(chǎn)能情況，芯思想研究院

[8] 未曾忘卻的記憶：回旋在酒仙橋地區(qū)的集成電路夢(mèng)，朱貽瑋

[9] 中微公司尹志堯：從設(shè)備角度我沒(méi)看到瓶頸，技術(shù)上沒(méi)啥過(guò)不去的坎兒，央廣網(wǎng)

編輯：李墨天

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責(zé)任編輯：李墨天