四(二甲氨基)鈦（TDMAT）是鈦基薄膜前驅(qū)體 我國產(chǎn)能規(guī)劃建設(shè)規(guī)模不斷擴(kuò)大

四(二甲氨基)鈦，也稱四(二甲胺基)鈦，英文簡稱TDMAT，分子式為C8H24N4Ti，分子量為224.17，CAS號為3275-24-9，常溫下外觀為黃色透明液體狀，對眼睛與皮膚有刺激性，吸入有害，密度0.947g/cm3，熔點(diǎn)4℃，沸點(diǎn)50℃，可溶于醇、苯、四氯化碳等有機(jī)溶劑，高度易燃，遇水劇烈反應(yīng)釋放出易燃?xì)怏w，需密封存儲并遠(yuǎn)離火種、熱源、氧化劑。

四(二甲氨基)鈦是鈦基薄膜前驅(qū)體。四(二甲氨基)鈦在穩(wěn)定性、蒸氣壓、反應(yīng)性等方面表現(xiàn)良好，是熱門的原子層沉積（ALD）工藝前驅(qū)體材料。原子層沉積工藝可以沉積單原子薄膜，操作簡單、參數(shù)易于控制、沉積均勻性高，在半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用價值大，主要應(yīng)用領(lǐng)域包括晶體管柵極介電層。

根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《2025年中國四（二甲氨基）鈦（TDMAT）市場專項調(diào)研及企業(yè)“十五五規(guī)劃”建議報告》顯示，以四(二甲氨基)鈦為前驅(qū)體，利用原子層沉積技術(shù)在襯底表面可以沉積得到二氧化鈦（TiO2）薄膜。二氧化鈦薄膜具有高介電常數(shù)特征，可以替代傳統(tǒng)的二氧化硅薄膜，應(yīng)用在晶體管柵極介電層制備中，能夠進(jìn)一步縮小晶體管尺寸并保持晶體管性能。在芯片尺寸不斷縮小背景下，四(二甲氨基)鈦市場前景廣闊。四(二甲氨基)鈦的薄膜沉積工藝也可以采用化學(xué)氣相沉積法（CVD），也可以沉積得到氮化鈦（TiN）薄膜。

近年來，我國企業(yè)在四(二甲氨基)鈦生產(chǎn)工藝方面申請的專利數(shù)量不斷增多，主要有浙江博瑞電子科技有限公司的“一種四(二甲氨基)鈦的制備方法”、“一種四(二甲氨基)鈦的新型制備方法”、“一種四(二甲氨基)鈦的精制方法”，蘇州欣溪源新材料科技有限公司的“四(二甲氨基)鈦的合成方法”等。

2025年，我國四(二甲氨基)鈦產(chǎn)能規(guī)劃建設(shè)規(guī)模還在擴(kuò)大。浙江先導(dǎo)微電子科技有限公司集成電路關(guān)鍵材料基地產(chǎn)業(yè)化擴(kuò)建項目中，第二批次將建設(shè)形成金屬前驅(qū)體220.6t/a生產(chǎn)能力，其中包括四(二甲氨基)鈦產(chǎn)能30噸/年；江西華特電子化學(xué)品有限公司華特電子永修半導(dǎo)體新材料中試基地項目中，一期建設(shè)項目17個，包括四(二甲氨基)鈦生產(chǎn)線。

新思界行業(yè)分析人士表示，現(xiàn)階段我國市場中，在官網(wǎng)中展示有四(二甲氨基)鈦產(chǎn)品的機(jī)構(gòu)與企業(yè)主要有南京大學(xué)材料MO源研究開發(fā)中心、江蘇南大光電材料股份有限公司、合肥安德科銘半導(dǎo)體科技有限公司、安徽博泰電子材料有限公司、蘇州源展材料科技有限公司等。

2025年中國四（二甲氨基）鈦（TDMAT）市場專項調(diào)研及企業(yè)“十五五規(guī)劃”建議報告

解讀分析：新思界

四章 中國四(二甲氨基)鈦（TDMAT）競爭情況分析

第一節(jié) 中國四(二甲氨基)鈦（TDMAT）競爭情況

一、市場集中度分析（市場占有率）

二、進(jìn)入壁壘分析

第二節(jié) 中國四(二甲氨基)鈦（TDMAT）競爭格局分析

一、四(二甲氨基)鈦（TDMAT）競爭程度

二、產(chǎn)品替代性分析

第三節(jié) 中國四(二甲氨基)鈦（TDMAT）競爭策略分析

第五章 重點(diǎn)產(chǎn)品——A市場分析

第一節(jié) A產(chǎn)品分類及主要應(yīng)用

第二節(jié) 2020-2024年中國A市場容量及增長率分析

第三節(jié) 2020-2024年中國A供給情況分析

一、產(chǎn)能（含部分?jǐn)M在建項目整理）

二、產(chǎn)量

三、產(chǎn)能利用率

第四節(jié) 2020-2024年中國A需求情況分析

第五節(jié) 中國A產(chǎn)品消費(fèi)結(jié)構(gòu)（按產(chǎn)品類型）

第六節(jié) 中國A價格走勢分析

第七節(jié) 中國A主要應(yīng)用領(lǐng)域及需求趨勢

一、主要應(yīng)用領(lǐng)域示意圖

二、主要應(yīng)用領(lǐng)域?qū)需求情況

三、主要應(yīng)用領(lǐng)域?qū)需求趨勢

第八節(jié) A產(chǎn)品市場競爭格局

一、現(xiàn)有企業(yè)間競爭

二、潛在進(jìn)入者

三、替代品威脅

四、上游議價能力

五、下游議價能力

第九節(jié) A技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀及趨勢分析

第十節(jié) A市場發(fā)展趨勢

第六章 重點(diǎn)產(chǎn)品——B市場分析

第一節(jié) B產(chǎn)品分類及主要應(yīng)用

第二節(jié) 2020-2024年中國B市場容量及增長率分析

第三節(jié) 2020-2024年中國B供給情況分析

一、產(chǎn)能（含部分?jǐn)M在建項目整理）

二、產(chǎn)量

三、產(chǎn)能利用率

第四節(jié) 2020-2024年中國B需求情況分析

第五節(jié) 中國B產(chǎn)品消費(fèi)結(jié)構(gòu)（按產(chǎn)品類型）

第六節(jié) 中國B價格走勢分析

第七節(jié) 中國B主要應(yīng)用領(lǐng)域及需求趨勢

一、主要應(yīng)用領(lǐng)域示意圖

二、主要應(yīng)用領(lǐng)域?qū)需求情況

三、主要應(yīng)用領(lǐng)域?qū)需求趨勢

第八節(jié) B產(chǎn)品市場競爭格局

一、現(xiàn)有企業(yè)間競爭

二、潛在進(jìn)入者

三、替代品威脅

四、上游議價能力

五、下游議價能力

第九節(jié) B技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀及趨勢分析

第十節(jié) B市場發(fā)展趨勢