在電子工業(yè)尤其是微電子產(chǎn)品制造領(lǐng)域，防微振技術(shù)直接決定產(chǎn)品品質(zhì)與生產(chǎn)效益，其核心相關(guān)要點(diǎn)可梳理為以下三點(diǎn)：

一、防微振技術(shù)的核心重要性：防微振技術(shù)是微電子產(chǎn)品制造的關(guān)鍵控制技術(shù)，核心關(guān)聯(lián)晶圓加工、光刻等核心工序的成品率。晶圓加工需經(jīng)數(shù)百道精密工序，對(duì)環(huán)境穩(wěn)定性要求極高，微振動(dòng)引發(fā)的細(xì)微偏差會(huì)直接影響產(chǎn)品性能、降低成品率，甚至無法產(chǎn)出合格產(chǎn)品；尤其光刻工序，潔凈廠房微振動(dòng)超標(biāo)會(huì)導(dǎo)致對(duì)焦偏移、曝光線條模糊，因此微振控制是集成電路潔凈廠房設(shè)計(jì)建造的核心內(nèi)容。

二、微振動(dòng)的主要來源與影響：外界環(huán)境中無處不在的微小振動(dòng)（人類難以察覺），是精密設(shè)備的“隱形干擾源”，會(huì)對(duì)電子制造精密儀器造成不可逆影響。其中人類活動(dòng)產(chǎn)生的干擾振動(dòng)主要分為兩類：一是線振源振動(dòng)，來自汽車、火車、飛機(jī)等移動(dòng)設(shè)備，呈線性傳播；二是點(diǎn)振源振動(dòng)，源于鍛錘、壓縮機(jī)等固定機(jī)械運(yùn)轉(zhuǎn)，頻率和振幅覆蓋廣，對(duì)近距離潔凈廠房、精密設(shè)備影響最為顯著。

三、核心隔振措施及相關(guān)設(shè)備優(yōu)勢(shì)：針對(duì)潔凈廠房微振控制，行業(yè)主要采用主動(dòng)與被動(dòng)兩種隔振措施，適配不同振動(dòng)干擾場(chǎng)景。主動(dòng)隔振用于減小動(dòng)力設(shè)備振動(dòng)對(duì)外部環(huán)境的影響，我們的主動(dòng)控制隔振器極靜環(huán)境下指標(biāo)可達(dá)VCL，能從源頭抑制振源傳導(dǎo)；被動(dòng)隔振用于隔絕環(huán)境振動(dòng)對(duì)精密設(shè)備的侵襲，我們的薄膜式氣浮減振器隔振率可達(dá)99%，可有效隔離外界振動(dòng)干擾，契合精密工序的嚴(yán)苛要求。

隨著微電子技術(shù)向精密化發(fā)展，防微振技術(shù)愈發(fā)重要。做好微振控制，才能守住產(chǎn)品品質(zhì)底線、提升效益，助力電子制造企業(yè)在競(jìng)爭(zhēng)中站穩(wěn)腳跟，實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量發(fā)展。